ឧស្ម័នទាំងអស់ដំណើរការជាសម្ភារៈនៃឡាស៊ែរ ហៅថាឧស្ម័នឡាស៊ែរ។ វាជាប្រភេទនៅលើពិភពលោកបំផុតដែលអភិវឌ្ឍលឿនបំផុតប្រើឡាស៊ែរធំបំផុត។ លក្ខណៈសំខាន់បំផុតមួយនៃឧស្ម័នឡាស៊ែរគឺសម្ភារៈការងារឡាស៊ែរគឺឧស្ម័នល្បាយ ឬឧស្ម័នសុទ្ធតែមួយ។
សារធាតុដែលប្រើដោយឡាស៊ែរឧស្ម័នអាចជាឧស្ម័នអាតូម ឧស្ម័នម៉ូលេគុល ឧស្ម័នអ៊ីយ៉ុងអ៊ីយ៉ុង និងចំហាយលោហធាតុ ជាដើម ដូច្នេះវាអាចត្រូវបានគេហៅថាឧស្ម័នឡាស៊ែរអាតូមិក (ដូចជាឡាស៊ែរអេលីយ៉ូម-អ៊ីយ៉ូត) និងឧស្ម័នឡាស៊ែរម៉ូលេគុល (ដូចជាកាបូនឌីអុកស៊ីត។ ) ឡាស៊ែរ) ឧស្ម័នឡាស៊ែរអ៊ីយ៉ុង (ដូចជាឡាស៊ែរ argon) ឡាស៊ែរចំហាយលោហៈ (ដូចជាឡាស៊ែរចំហាយទង់ដែង)។ និយាយជាទូទៅដោយសារតែលក្ខណៈធម្មជាតិនៃឧស្ម័នឡាស៊ែរមានលក្ខណៈមួយចំនួនដែលបណ្តាលមកពីវា; គុណសម្បត្តិគឺ៖ ម៉ូលេគុលឧស្ម័នត្រូវបានចែកចាយស្មើៗគ្នា ហើយកម្រិតថាមពលមានលក្ខណៈសាមញ្ញ ដូច្នេះគុណភាពពន្លឺនៃឧស្ម័នឡាស៊ែរគឺឯកសណ្ឋាន និងស៊ីសង្វាក់គ្នា។ កាន់តែប្រសើរ; លើសពីនេះ ម៉ូលេគុលឧស្ម័ន convection និងចរាចរកាន់តែលឿន ហើយងាយនឹងត្រជាក់។ លក្ខណៈសំខាន់បំផុតមួយនៃឧស្ម័នឡាស៊ែរគឺថា សម្ភារៈធ្វើការដោយឡាស៊ែរ គឺជាឧស្ម័នចម្រុះ ឬឧស្ម័នសុទ្ធតែមួយ។ ភាពបរិសុទ្ធនៃសមាសធាតុឧស្ម័ននៅក្នុងឧស្ម័នចម្រុះឡាស៊ែរប៉ះពាល់ដោយផ្ទាល់ដល់ដំណើរការនៃឡាស៊ែរ។ ជាពិសេស វត្តមានរបស់សារធាតុមិនបរិសុទ្ធដូចជា អុកស៊ីហ្សែន ទឹក និងអ៊ីដ្រូកាបូននៅក្នុងឧស្ម័ននឹងបណ្តាលឱ្យបាត់បង់ថាមពលបញ្ចេញឡាស៊ែរនៅលើកញ្ចក់ (ផ្ទៃ) និងអេឡិចត្រូត ហើយក៏បណ្តាលឱ្យឡាស៊ែរចាប់ផ្តើមដំណើរការមិនស្ថិតស្ថេរផងដែរ។ លក្ខណៈសំខាន់មួយនៃឧស្ម័នឡាស៊ែរ សារធាតុការងាររបស់ឡាស៊ែរគឺជាឧស្ម័នចម្រុះ ឬឧស្ម័នសុទ្ធតែមួយ។ ដូច្នេះមានតម្រូវការពិសេសសម្រាប់ភាពបរិសុទ្ធនៃសមាសធាតុឧស្ម័នចម្រុះឡាស៊ែរ។ ស៊ីឡាំងសម្រាប់វេចខ្ចប់ឧស្ម័នចំរុះក៏ត្រូវស្ងួតហួតហែងផងដែរមុនពេលបំពេញដើម្បីការពារការចម្លងរោគនៃឧស្ម័នចម្រុះ។ ប្រសិនបើឡាស៊ែរអេលីយ៉ូម (ហេ) អ៊ីយ៉ូត (Ne) ត្រូវបានប្រើជាឡាស៊ែរឧស្ម័នជំនាន់ទី 1 ហើយឡាស៊ែរកាបូនឌីអុកស៊ីតគឺជាឡាស៊ែរឧស្ម័នជំនាន់ទី 2 នោះ ឡាស៊ែរ គ្រីបតុនហ្វ្លុយអូរី (KrF) ដែលនឹងត្រូវបានប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយក្នុងវិស័យផលិតសារធាតុ semiconductor អាចត្រូវបានគេហៅថាឡាស៊ែរជំនាន់ទីបី។ ល្បាយឧស្ម័នឡាស៊ែរត្រូវបានប្រើនៅក្នុងផលិតកម្មឧស្សាហកម្ម ការស្រាវជ្រាវវិទ្យាសាស្ត្រ និងសំណង់ការពារជាតិ ការវះកាត់ផ្នែកវេជ្ជសាស្រ្ត និងវិស័យផ្សេងៗទៀត។
ប្រភេទ | សមាសភាគ (%) | តុល្យភាពឧស្ម័ន |
He-Ne Laser Mixture Gas | ២~៨.៣ នេ | He |
ឧស្ម័នលាយឡាស៊ែរ CO2 | 0.4H2+ 13.5CO2+ 4.5Kr | / |
0.4 H2+ 13CO2+ 7Kr+ 2CO | ||
0.4 H2+ 8CO2+ 8Kr+ 4CO | ||
0.4 H2+ 6CO2+ 8Kr+ 2CO | ||
0.4 H2+ 16CO2+ 16Kr+ 4CO | ||
0.4 H2+ 8~12CO2+ 8~12Kr | ||
ឧស្ម័នលាយឡាស៊ែរ Kr-F2 | 5 Kr+ 10 F2 | / |
5Kr+ 1~0.2 F2 | ||
ហ្គាសឡាស៊ែរដែលបិទជិត | 18.5N2+ 3Xe+ 2.5CO | / |
ឡាស៊ែរ Excimer | 25.8Ne+ 9.8Ar+ 0.004N2+ 1F2 | Ar |
25.8Ne+ 9.8Ar+ 0.004N2+ 5F2 | He | |
25.8Ne+ 9.8Ar+ 0.004N2+ 0.2F2 | He | |
25.8Ne+ 9.8Ar+ 0.004N2+ 5HCl | Ar |
①ផលិតកម្មកសិកម្មឧស្សាហកម្ម៖
វាត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងផលិតកម្មកសិកម្មឧស្សាហកម្ម ការស្រាវជ្រាវវិទ្យាសាស្ត្រ និងការការពារជាតិ។
② ការវះកាត់ផ្នែកវេជ្ជសាស្រ្ត៖
វាត្រូវបានប្រើសម្រាប់ការវះកាត់ផ្នែកវេជ្ជសាស្រ្ត។
③ ដំណើរការឡាស៊ែរ៖
វាត្រូវបានប្រើសម្រាប់ការកែច្នៃឡាស៊ែរ ដូចជាការកាត់សេរ៉ាមិចដែក ការផ្សារ និងការខួង។
ពេលវេលាដឹកជញ្ជូន: 15-30 ថ្ងៃធ្វើការបន្ទាប់ពីទទួលបានប្រាក់កក់
កញ្ចប់ស្តង់ដារ: 10L, 47L ឬ 50L ស៊ីឡាំង។
① ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ គ្រឿងបរិក្ខារចុងក្រោយបង្អស់
② ក្រុមហ៊ុនផលិតវិញ្ញាបនបត្រ ISO;
③ការដឹកជញ្ជូនលឿន
④ ប្រព័ន្ធវិភាគលើបណ្តាញសម្រាប់ការត្រួតពិនិត្យគុណភាពនៅគ្រប់ជំហាន។
⑤ តម្រូវការខ្ពស់ និងដំណើរការល្អិតល្អន់សម្រាប់ការគ្រប់គ្រងស៊ីឡាំងមុនពេលបំពេញ។