ឧស្ម័នពិសេស
-
ស្ពាន់ធ័រ Tetrafluoride (SF4)
លេខ EINECS: 232-013-4
លេខ CAS: 7783-60-0 -
អុកស៊ីដអាសូត (N2O)
Nitrous oxide ត្រូវបានគេស្គាល់ថាជាឧស្ម័នសើច គឺជាសារធាតុគីមីគ្រោះថ្នាក់ដែលមានរូបមន្តគីមី N2O ។វាជាឧស្ម័នគ្មានពណ៌ និងក្លិនផ្អែម។N2O គឺជាសារធាតុអុកស៊ីតកម្មដែលអាចទ្រទ្រង់ការដុតនៅក្រោមលក្ខខណ្ឌជាក់លាក់ ប៉ុន្តែមានស្ថេរភាពនៅសីតុណ្ហភាពបន្ទប់ និងមានប្រសិទ្ធិភាពថ្នាំស្ពឹកបន្តិច។និងអាចធ្វើឱ្យមនុស្សសើច។ -
កាបូន Tetrafluoride (CF4)
កាបូន tetrafluoride ដែលត្រូវបានគេស្គាល់ថាជា tetrafluoromethane គឺជាឧស្ម័នគ្មានពណ៌នៅសីតុណ្ហភាព និងសម្ពាធធម្មតា មិនរលាយក្នុងទឹក។បច្ចុប្បន្នឧស្ម័ន CF4 គឺជាឧស្ម័នផ្លាស្មាដែលត្រូវបានប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយបំផុតនៅក្នុងឧស្សាហកម្មមីក្រូអេឡិចត្រូនិច។វាក៏ត្រូវបានគេប្រើជាឧស្ម័នឡាស៊ែរ ទូរទឹកកក cryogenic សារធាតុរំលាយ សារធាតុរំអិល សម្ភារៈអ៊ីសូឡង់ និងសារធាតុ coolant សម្រាប់បំពង់ឧបករណ៍ចាប់អ៊ីនហ្វ្រារ៉េដ។ -
ហ្វ្លុយអូរីលស៊ុលហ្វួរីល (F2O2S)
Sulfuryl fluoride SO2F2 ដែលជាឧស្ម័នពុល ត្រូវបានគេប្រើជាចម្បងជាថ្នាំសម្លាប់សត្វល្អិត។ដោយសារតែស៊ុលហ្វួរីលហ្វ្លុយអូរីមានលក្ខណៈនៃការសាយភាយខ្លាំង និងអាចជ្រាបចូលបាន ថ្នាំសម្លាប់សត្វល្អិតដែលមានវិសាលគមទូលំទូលាយ កម្រិតទាប បរិមាណសំណល់ទាប ល្បឿនសម្លាប់សត្វល្អិតលឿន ពេលវេលាបែកខ្ញែកឧស្ម័នខ្លី ការប្រើប្រាស់ងាយស្រួលនៅសីតុណ្ហភាពទាប មិនប៉ះពាល់ដល់អត្រាដំណុះ និងការពុលទាប។ វាត្រូវបានគេប្រើកាន់តែទូលំទូលាយនៅក្នុងឃ្លាំង កប៉ាល់ទំនិញ អគារ ទំនប់អាងស្តុកទឹក ការការពារកម្ចាត់មេរោគជាដើម។ -
ស៊ីលីន (SiH4)
Silane SiH4 គឺជាឧស្ម័នបង្ហាប់ដែលគ្មានពណ៌ គ្មានជាតិពុល និងសកម្មខ្លាំងនៅសីតុណ្ហភាព និងសម្ពាធធម្មតា។Silane ត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងការលូតលាស់ epitaxial នៃស៊ីលីកូន វត្ថុធាតុដើមសម្រាប់ប៉ូលីស៊ីលីកុន ស៊ីលីកុនអុកស៊ីដ ស៊ីលីកុននីត្រាត ជាដើម កោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យ សរសៃអុបទិក ការផលិតកញ្ចក់ពណ៌ និងការទម្លាក់ចំហាយគីមី។ -
Octafluorocyclobutane (C4F8)
Octafluorocyclobutane C4F8, ភាពបរិសុទ្ធនៃឧស្ម័ន: 99.999%, ជាញឹកញាប់ត្រូវបានគេប្រើជាអាហារ aerosol propellant និងឧស្ម័នមធ្យម។វាត្រូវបានគេប្រើជាញឹកញាប់នៅក្នុងដំណើរការ semiconductor PECVD (Plasma Enhance. Chemical Vapor deposition) ដំណើរការ C4F8 ត្រូវបានគេប្រើជំនួស CF4 ឬ C2F6 ប្រើជាឧស្ម័នសំអាត និងឧស្ម័ន etching process semiconductor។ -
នីទ្រីកអុកស៊ីដ (NO)
ឧស្ម័ននីទ្រីកអុកស៊ីដគឺជាសមាសធាតុនៃអាសូតដែលមានរូបមន្តគីមី NO ។វាជាឧស្ម័នពុល គ្មានពណ៌ គ្មានក្លិន ដែលមិនរលាយក្នុងទឹក។នីត្រាតអុកស៊ីតមានប្រតិកម្មគីមីខ្លាំង ហើយមានប្រតិកម្មជាមួយអុកស៊ីសែនដើម្បីបង្កើតជាឧស្ម័នអាសូតឌីអុកស៊ីត (NO₂)។ -
អ៊ីដ្រូសែនក្លរ (HCl)
ឧស្ម័នអ៊ីដ្រូសែនក្លរួ HCL គឺជាឧស្ម័នគ្មានពណ៌ដែលមានក្លិនស្អុយ។ដំណោះស្រាយ aqueous របស់វាត្រូវបានគេហៅថាអាស៊ីត hydrochloric ដែលត្រូវបានគេស្គាល់ថាជាអាស៊ីត hydrochloric ។អ៊ីដ្រូសែនក្លរីត ត្រូវបានប្រើជាចម្បងដើម្បីធ្វើថ្នាំជ្រលក់ គ្រឿងទេស ថ្នាំពេទ្យ សារធាតុក្លរួផ្សេងៗ និងសារធាតុទប់ស្កាត់ការច្រេះ។ -
Hexafluoropropylene (C3F6)
Hexafluoropropylene រូបមន្តគីមី៖ C3F6 គឺជាឧស្ម័នគ្មានពណ៌នៅសីតុណ្ហភាព និងសម្ពាធធម្មតា។វាត្រូវបានគេប្រើជាចម្បងដើម្បីរៀបចំផលិតផលគីមីល្អិតៗដែលមានផ្ទុកហ្វ្លុយអូរីន អន្តរការីឱសថ ភ្នាក់ងារពន្លត់អគ្គីភ័យ។ល។ ហើយវាក៏អាចប្រើដើម្បីរៀបចំវត្ថុធាតុ polymer ដែលមានផ្ទុកហ្វ្លុយអូរីនផងដែរ។ -
អាម៉ូញាក់ (NH3)
អាម៉ូញាក់រាវ / អាម៉ូញាក់ anhydrous គឺជាវត្ថុធាតុដើមគីមីដ៏សំខាន់ជាមួយនឹងកម្មវិធីដ៏ធំទូលាយមួយ។អាម៉ូញាក់រាវអាចប្រើជាទូរទឹកកក។វាត្រូវបានគេប្រើជាចម្បងដើម្បីផលិតអាស៊ីតនីទ្រីក អ៊ុយ និងជីគីមីផ្សេងទៀត ហើយក៏អាចប្រើប្រាស់ជាវត្ថុធាតុដើមសម្រាប់ថ្នាំ និងថ្នាំសម្លាប់សត្វល្អិតផងដែរ។នៅក្នុងឧស្សាហកម្មការពារជាតិ វាត្រូវបានប្រើប្រាស់សម្រាប់ផលិតម៉ាស៊ីនបាញ់គ្រាប់រ៉ុក្កែត និងកាំជ្រួច។
