កាបូន Tetrafluoride (CF4)

ការពិពណ៌នាសង្ខេប៖

កាបូន tetrafluoride ដែលត្រូវបានគេស្គាល់ថាជា tetrafluoromethane គឺជាឧស្ម័នគ្មានពណ៌នៅសីតុណ្ហភាព និងសម្ពាធធម្មតា មិនរលាយក្នុងទឹក។បច្ចុប្បន្នឧស្ម័ន CF4 គឺជាឧស្ម័នផ្លាស្មាដែលត្រូវបានប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយបំផុតនៅក្នុងឧស្សាហកម្មមីក្រូអេឡិចត្រូនិច។វាក៏ត្រូវបានគេប្រើជាឧស្ម័នឡាស៊ែរ ទូរទឹកកក cryogenic សារធាតុរំលាយ សារធាតុរំអិល សម្ភារៈអ៊ីសូឡង់ និងសារធាតុ coolant សម្រាប់បំពង់ឧបករណ៍ចាប់អ៊ីនហ្វ្រារ៉េដ។


ព័ត៌មានលម្អិតអំពីផលិតផល

ស្លាកផលិតផល

ប៉ារ៉ាម៉ែត្របច្ចេកទេស

ការបញ្ជាក់ 99.999%
អុកស៊ីហ្សែន + អាហ្គុន ≤1ppm
អាសូត ≤4 ppm
សំណើម (H2O) ≤ 3 ppm
HF ≤0.1 ppm
CO ≤0.1 ppm
ឧស្ម័នកាបូនិក ≤1 ppm
SF6 ≤1 ppm
ហាឡូកាប៊ីន ≤1 ppm
ភាពមិនបរិសុទ្ធសរុប ≤10 ppm

កាបូន tetrafluoride គឺជាអ៊ីដ្រូកាបូន halogenated ជាមួយនឹងរូបមន្តគីមី CF4 ។វាអាចត្រូវបានចាត់ទុកថាជាអ៊ីដ្រូកាបូន halogenated methane halogenated perfluorocarbon ឬជាសមាសធាតុអសរីរាង្គ។កាបូន tetrafluoride គឺជាឧស្ម័នគ្មានពណ៌ និងគ្មានក្លិន មិនរលាយក្នុងទឹក រលាយក្នុង benzene និង chloroform ។មានស្ថេរភាពនៅក្រោមសីតុណ្ហភាព និងសម្ពាធធម្មតា ជៀសវាងសារធាតុអុកស៊ីតកម្មខ្លាំង វត្ថុងាយឆេះ ឬងាយឆេះ។ឧស្ម័នដែលមិនអាចឆេះបាន សម្ពាធខាងក្នុងនៃធុងនឹងកើនឡើងនៅពេលដែលប៉ះនឹងកំដៅខ្ពស់ ហើយមានគ្រោះថ្នាក់នៃការប្រេះ និងផ្ទុះ។វាមានស្ថេរភាពគីមីនិងមិនងាយឆេះ។មានតែអាម៉ូញាក់រាវ - សូដ្យូម ដែកប្រតិកម្មអាចដំណើរការនៅសីតុណ្ហភាពបន្ទប់។កាបូន tetrafluoride គឺជាឧស្ម័នដែលបណ្តាលឱ្យមានផលប៉ះពាល់ផ្ទះកញ្ចក់។វាមានស្ថេរភាពខ្លាំង អាចស្ថិតនៅក្នុងបរិយាកាសបានយូរ និងជាឧស្ម័នផ្ទះកញ្ចក់ដ៏មានឥទ្ធិពលខ្លាំង។កាបូន tetrafluoride ត្រូវ​បាន​ប្រើ​នៅ​ក្នុង​ដំណើរ​ការ etching ប្លាស្មា​នៃ​សៀគ្វី​បញ្ចូល​គ្នា​ផ្សេង​គ្នា​។វាក៏ត្រូវបានគេប្រើជាឧស្ម័នឡាស៊ែរផងដែរ ហើយត្រូវបានគេប្រើនៅក្នុងទូរទឹកកកដែលមានសីតុណ្ហភាពទាប សារធាតុរំលាយ ប្រេងរំអិល សម្ភារៈអ៊ីសូឡង់ និងសារធាតុត្រជាក់សម្រាប់ឧបករណ៍ចាប់អ៊ីនហ្វ្រារ៉េដ។វាគឺជាឧស្ម័នផ្លាស្មាដែលប្រើច្រើនបំផុតក្នុងឧស្សាហកម្មមីក្រូអេឡិចត្រូនិច។វាគឺជាល្បាយនៃឧស្ម័ន tetrafluoromethane ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ និងឧស្ម័ន tetrafluoromethane ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ និងអុកស៊ីសែនបរិសុទ្ធខ្ពស់។វាអាចត្រូវបានប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងស៊ីលីកុនឌីអុកស៊ីតស៊ីលីកុននីត្រាតនិងកញ្ចក់ផូស្វ័រ។ការឆ្លាក់វត្ថុធាតុហ្វីលស្តើង ដូចជា តង់ស្តែន និង តង់ស្តែន ក៏ត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយក្នុងការសម្អាតផ្ទៃនៃឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក ការផលិតកោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យ បច្ចេកវិទ្យាឡាស៊ែរ ទូរទឹកកកសីតុណ្ហភាពទាប ការត្រួតពិនិត្យលេចធ្លាយ និងសារធាតុសាប៊ូក្នុងការផលិតសៀគ្វីបោះពុម្ព។ប្រើជាម៉ាស៊ីនត្រជាក់សីតុណ្ហភាពទាប និងប្លាស្មា ប្លាស្មា ប្លាស្មា ប្លាស្មា ប្លាស្មា បច្ចេកវិជ្ជាសម្រាប់សៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នា។ការប្រុងប្រយ័ត្នសម្រាប់ការស្តុកទុក៖ រក្សាទុកក្នុងកន្លែងត្រជាក់ដែលមានខ្យល់ចេញចូល ឃ្លាំងហ្គាសដែលមិនងាយឆេះ។ទុកឱ្យឆ្ងាយពីប្រភពភ្លើងនិងកំដៅ។សីតុណ្ហាភាពផ្ទុកមិនគួរលើសពី 30 ° C ។វាគួរតែត្រូវបានរក្សាទុកដាច់ដោយឡែកពីវត្ថុងាយឆេះ (ងាយឆេះ) និងសារធាតុអុកស៊ីតកម្ម ហើយជៀសវាងការផ្ទុកចម្រុះ។កន្លែងស្តុកទុកគួរតែត្រូវបានបំពាក់ដោយឧបករណ៍ព្យាបាលបន្ទាន់ដែលលេចធ្លាយ។

កម្មវិធី៖

① ទូទឹកកក៖

ជួនកាល Tetrafluoromethane ត្រូវបានគេប្រើជាឧបករណ៍ត្រជាក់សីតុណ្ហភាពទាប។

  fdrgr ហ្គ្រេហ្គ

② ការឆ្លាក់៖

វាត្រូវបានគេប្រើនៅក្នុង microfabrication អេឡិចត្រូនិចតែម្នាក់ឯង ឬរួមបញ្ចូលគ្នាជាមួយអុកស៊ីហ៊្សែនជាសារធាតុប្លាស្មាសម្រាប់ស៊ីលីកុន ស៊ីលីកុនឌីអុកស៊ីត និងស៊ីលីកុននីត្រាត។

dsgre rgg

កញ្ចប់ធម្មតា៖

ផលិតផល កាបូន TetrafluorideCF4
ទំហំកញ្ចប់ ស៊ីឡាំង 40 លីត្រ ស៊ីឡាំង 50 លីត្រ  
ការបំពេញទំងន់សុទ្ធ/Cyl 30Kgs ៣៨ គីឡូក្រាម  
QTY ផ្ទុកក្នុង 20'Container ២៥០ ស៊ី ២៥០ ស៊ី
ទំងន់សុទ្ធសរុប ៧.៥ តោន ៩.៥ តោន
ទំងន់ស៊ីឡាំង 50 គីឡូក្រាម 55 គីឡូក្រាម
វ៉ាល់ CGA 580

អត្ថប្រយោជន៍៖

① ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ គ្រឿងបរិក្ខារចុងក្រោយបង្អស់

② ក្រុមហ៊ុនផលិតវិញ្ញាបនបត្រ ISO;

③ការដឹកជញ្ជូនលឿន

④ ប្រព័ន្ធវិភាគលើបណ្តាញសម្រាប់ការត្រួតពិនិត្យគុណភាពនៅគ្រប់ជំហាន។

⑤ តម្រូវការខ្ពស់ និងដំណើរការល្អិតល្អន់សម្រាប់ការគ្រប់គ្រងស៊ីឡាំងមុនពេលបំពេញ។


  • មុន៖
  • បន្ទាប់៖

  • សរសេរសាររបស់អ្នកនៅទីនេះ ហើយផ្ញើវាមកយើង