ស៊ីលីន (SiH4)

ប៉ារ៉ាម៉ែត្របច្ចេកទេស

Silane គឺជាសមាសធាតុនៃស៊ីលីកុន និងអ៊ីដ្រូសែន។វាគឺជាពាក្យទូទៅសម្រាប់ស៊េរីនៃសមាសធាតុរួមមាន monosilane (SiH4), disilane (Si2H6) និងសមាសធាតុស៊ីលីកុន-អ៊ីដ្រូសែនកម្រិតខ្ពស់មួយចំនួន។ក្នុងចំនោមពួកគេ monosilane គឺជារឿងធម្មតាបំផុតដែលជួនកាលត្រូវបានគេហៅថា silane ក្នុងរយៈពេលខ្លី។ស៊ីលីនគឺជាឧស្ម័នគ្មានពណ៌ដែលមានក្លិនខ្ទឹមគួរឱ្យស្អប់ខ្ពើម។រលាយក្នុងទឹកស្ទើរតែមិនរលាយក្នុងអេតាណុល អេធើរ បេនហ្សេន ក្លរ៉ូហ្វម ស៊ីលីកុន ក្លរ៉ូហ្វម និងស៊ីលីកុនតេត្រាក្លរ។លក្ខណៈគីមីរបស់ស៊ីលែនគឺសកម្មជាងអាល់កាន ហើយងាយកត់សុី។ការឆេះដោយឯកឯងអាចកើតឡើងនៅពេលដែលមានទំនាក់ទំនងជាមួយខ្យល់។វា​មិន​មាន​ប្រតិកម្ម​ជាមួយ​អាសូត​ក្រោម 25°C ហើយ​មិន​មាន​ប្រតិកម្ម​ជាមួយ​សមាសធាតុ​អ៊ីដ្រូកាបូន​នៅ​សីតុណ្ហភាព​បន្ទប់។ភ្លើង និង​ការ​ផ្ទុះ​នៃ​សារធាតុ silane គឺជា​លទ្ធផល​នៃ​ប្រតិកម្ម​ជាមួយ​អុកស៊ីហ្សែន។Silane មានប្រតិកម្មខ្លាំងចំពោះអុកស៊ីសែន និងខ្យល់។Silane ដែលមានកំហាប់ជាក់លាក់មួយក៏នឹងមានប្រតិកម្មផ្ទុះជាមួយនឹងអុកស៊ីសែននៅសីតុណ្ហភាព -180°C។Silane បានក្លាយជាឧស្ម័នពិសេសដ៏សំខាន់បំផុតដែលប្រើក្នុងដំណើរការមីក្រូអេឡិចត្រូនិច semiconductor ហើយត្រូវបានគេប្រើក្នុងការរៀបចំខ្សែភាពយន្តមីក្រូអេឡិចត្រូនិចផ្សេងៗ រួមទាំងខ្សែភាពយន្តគ្រីស្តាល់តែមួយ មីក្រូគ្រីស្តាល់ ប៉ូលីគ្រីស្តាលីន ស៊ីលីកុនអុកស៊ីដ ស៊ីលីកុននីត្រាត និងសារធាតុស៊ីលីនដែក។កម្មវិធីមីក្រូអេឡិចត្រូនិចនៃ silane នៅតែអភិវឌ្ឍយ៉ាងស៊ីជម្រៅ៖ អេពីតាស៊ីសីតុណ្ហភាពទាប អេពីតាស៊ីជ្រើសរើស និងអេពីតាស៊ីអេពីតាស៊ី។មិនត្រឹមតែសម្រាប់ឧបករណ៍ស៊ីលីកុន និងសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នាស៊ីលីកុនប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែវាក៏សម្រាប់ឧបករណ៍ semiconductor សមាសធាតុ (gallium arsenide, silicon carbide ជាដើម)។វាក៏មានកម្មវិធីក្នុងការរៀបចំ superlattice quantum well materials ផងដែរ។វាអាចនិយាយបានថាស៊ីលីនត្រូវបានប្រើប្រាស់នៅក្នុងខ្សែផលិតកម្មសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នាកម្រិតខ្ពស់ស្ទើរតែទាំងអស់នៅក្នុងសម័យទំនើប។ការប្រើប្រាស់សារធាតុស៊ីលីនជាខ្សែភាពយន្ត និងថ្នាំកូតដែលមានសារធាតុស៊ីលីកុនបានពង្រីកពីឧស្សាហកម្មមីក្រូអេឡិចត្រូនិកបែបប្រពៃណីទៅកាន់វិស័យផ្សេងៗដូចជាដែកថែប គ្រឿងម៉ាស៊ីន គីមី និងអុបទិក។កម្មវិធីដ៏មានសក្តានុពលមួយទៀតនៃសារធាតុ silane គឺការផលិតគ្រឿងបន្លាស់ម៉ាស៊ីនសេរ៉ាមិចដែលមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់ ជាពិសេសការប្រើប្រាស់ស៊ីលីនដើម្បីផលិតសារធាតុស៊ីលីន (Si3N4, SiC ។ល។) បច្ចេកវិទ្យាមីក្រូម្សៅបានទាក់ទាញការយកចិត្តទុកដាក់កាន់តែច្រើនឡើង។

កម្មវិធី៖

① អេឡិចត្រូនិក៖

Silane ត្រូវបានអនុវត្តទៅស្រទាប់ស៊ីលីកុន polycrystalline នៅលើ wafers ស៊ីលីកូននៅពេលផលិត semiconductors និង sealants ។

②ពន្លឺព្រះអាទិត្យ៖

Silane ត្រូវបានប្រើនៅក្នុងការផលិតម៉ូឌុល photovoltaic ពន្លឺព្រះអាទិត្យ។

③ឧស្សាហកម្ម៖

វា​ត្រូវ​បាន​ប្រើ​នៅ​ក្នុង​កញ្ចក់​បៃតង​ដែល​សន្សំ​សំចៃ​ថាមពល និង​បាន​អនុវត្ត​ទៅ​នឹង​ដំណើរការ​ខ្សែភាពយន្ត​ស្តើង​ដែល​បញ្ចេញ​ចំហាយ​ទឹក​។

កញ្ចប់ធម្មតា៖

អត្ថប្រយោជន៍៖

①ជាងដប់ឆ្នាំនៅលើទីផ្សារ;

② ក្រុមហ៊ុនផលិតវិញ្ញាបនបត្រ ISO;

③ការដឹកជញ្ជូនលឿន

④ ប្រភពវត្ថុធាតុដើមមានស្ថេរភាព;

⑤ប្រព័ន្ធវិភាគលើបណ្តាញសម្រាប់ការត្រួតពិនិត្យគុណភាពនៅគ្រប់ជំហាន។

⑥ តម្រូវការខ្ពស់ និងដំណើរការល្អិតល្អន់សម្រាប់ការគ្រប់គ្រងស៊ីឡាំងមុនពេលបំពេញ។

⑦ ភាពបរិសុទ្ធ៖ ថ្នាក់អេឡិចត្រូនិចដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់;

⑧ ការប្រើប្រាស់៖ សម្ភារៈកោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យ;ផលិតប៉ូលីស៊ីលីកុន អុកស៊ីដស៊ីលីកុន និងសរសៃអុបទិក ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់;ការផលិតកញ្ចក់ពណ៌។