Boron trichloride (BCl3)គឺជាសមាសធាតុអសរីរាង្គដែលប្រើជាទូទៅក្នុងដំណើរការ etching ស្ងួត និងចំហាយគីមី (CVD) នៅក្នុងការផលិត semiconductor ។ វាជាឧស្ម័នគ្មានពណ៌ដែលមានក្លិនស្អុយខ្លាំងនៅសីតុណ្ហភាពបន្ទប់ ហើយងាយនឹងខ្យល់សើមព្រោះវា hydrolyzes ដើម្បីបង្កើតអាស៊ីត hydrochloric និងអាស៊ីត boric ។

ការប្រើប្រាស់ Boron Trichloride

នៅក្នុងឧស្សាហកម្ម semiconductor,បូរុនទ្រីក្លរីតត្រូវបានប្រើជាចម្បងសម្រាប់ការ etching ស្ងួតនៃអាលុយមីញ៉ូម និងជា dopant ដើម្បីបង្កើតតំបន់ P-type នៅលើ wafers ស៊ីលីកូន។ វាក៏អាចត្រូវបានប្រើដើម្បីឆ្លាក់វត្ថុធាតុដូចជា GaAs, Si, AlN និងជាប្រភព boron នៅក្នុងកម្មវិធីជាក់លាក់មួយចំនួន។ លើសពីនេះទៀត Boron trichloride ត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងដំណើរការលោហៈ ឧស្សាហកម្មកញ្ចក់ ការវិភាគគីមី និងការស្រាវជ្រាវមន្ទីរពិសោធន៍។

សុវត្ថិភាពនៃ Boron Trichloride

បូរុនទ្រីក្លរីតវាមានជាតិពុល និងអាចបំផ្លាញភ្នែក និងស្បែកយ៉ាងធ្ងន់ធ្ងរ។ វា hydrolyzes នៅក្នុងខ្យល់សើមដើម្បីបញ្ចេញឧស្ម័នអ៊ីដ្រូសែនក្លរួពុល។ ដូច្នេះ​វិធានការ​សុវត្ថិភាព​សមស្រប​ចាំបាច់​ត្រូវ​ធ្វើ​នៅពេល​ដោះស្រាយបូរុនទ្រីក្លរីតរួមទាំងការពាក់សម្លៀកបំពាក់ការពារ វ៉ែនតា និងឧបករណ៍ការពារផ្លូវដង្ហើម និងប្រតិបត្តិការក្នុងបរិយាកាសដែលមានខ្យល់ចេញចូលបានល្អ។