បូរ៉ុនទ្រីក្លរីត (BCl3)គឺជាសមាសធាតុអសរីរាង្គដែលត្រូវបានគេប្រើជាទូទៅនៅក្នុងដំណើរការឆ្លាក់ស្ងួត និងដំណើរការដាក់ចំហាយគីមី (CVD) ក្នុងការផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រ។ វាគឺជាឧស្ម័នគ្មានពណ៌ដែលមានក្លិនស្អុយខ្លាំងនៅសីតុណ្ហភាពបន្ទប់ ហើយងាយនឹងប៉ះពាល់នឹងខ្យល់សើម ពីព្រោះវាបំបែកដោយទឹកដើម្បីបង្កើតអាស៊ីតអ៊ីដ្រូក្លរីក និងអាស៊ីតបូរិក។

ការអនុវត្តនៃបូរ៉ុនទ្រីក្លរីត

នៅក្នុងឧស្សាហកម្មស៊ីមីកុងដុកទ័របូរ៉ុន ទ្រីក្លរីតត្រូវបានប្រើជាចម្បងសម្រាប់ការឆ្លាក់អាលុយមីញ៉ូមស្ងួត និងជាសារធាតុបន្ថែមដើម្បីបង្កើតតំបន់ប្រភេទ P លើបន្ទះស៊ីលីកុន។ វាក៏អាចត្រូវបានប្រើដើម្បីឆ្លាក់វត្ថុធាតុដូចជា GaAs, Si, AlN និងជាប្រភពបូរ៉ុននៅក្នុងកម្មវិធីជាក់លាក់មួយចំនួន។ លើសពីនេះ បូរ៉ុនទ្រីក្លរីតត្រូវបានគេប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយក្នុងការកែច្នៃលោហៈ ឧស្សាហកម្មកញ្ចក់ ការវិភាគគីមី និងការស្រាវជ្រាវមន្ទីរពិសោធន៍។

សុវត្ថិភាពនៃបូរ៉ុនទ្រីក្លរីត

បូរ៉ុន ទ្រីក្លរីតមានសភាពกัดกร่อน និងមានជាតិពុល ហើយអាចបណ្តាលឱ្យខូចខាតយ៉ាងធ្ងន់ធ្ងរដល់ភ្នែក និងស្បែក។ វារលាយក្នុងខ្យល់សើម ដើម្បីបញ្ចេញឧស្ម័នអ៊ីដ្រូសែនក្លរួពុល។ ដូច្នេះ វិធានការសុវត្ថិភាពសមស្របត្រូវអនុវត្តនៅពេលដោះស្រាយ។បូរ៉ុន ទ្រីក្លរីតរួមទាំងការស្លៀកសម្លៀកបំពាក់ការពារ វ៉ែនតាការពារកម្ដៅថ្ងៃ និងឧបករណ៍ការពារផ្លូវដង្ហើម និងប្រតិបត្តិការក្នុងបរិយាកាសដែលមានខ្យល់ចេញចូលល្អ។