Boron trichloride (BCL3)គឺជាសមាសធាតុបែបសរីរាង្គដែលត្រូវបានប្រើជាទូទៅនៅក្នុងដំណើរការនៃការធ្វើឱ្យមានជាតិចំហរស្ងួត (CVD) ក្នុងការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក។ វាគឺជាឧស្ម័នដែលគ្មានពណ៌ដែលមានក្លិនឈ្ងុយឆ្ងាញ់ខ្លាំងនៅសីតុណ្ហភាពបន្ទប់ហើយងាយនឹងខ្យល់សើមព្រោះវាមានជាតិអ៊ីដ្រូលីសដើម្បីផលិតអាស៊ីតអ៊ីដ្រូក្លូរីនិងអាស៊ីត boric ។

ពាក្យសុំរបស់ Boron Trichloride

នៅក្នុងឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិក,Boron trichlorideត្រូវបានប្រើជាចម្បងសម្រាប់ការបញ្ចូលអាលុយមីញ៉ូមស្ងួតនិងជាដាប់ធ័រដើម្បីបង្កើតជាតំបន់ P ប្រភេទនៅលើ Silicon Wafers ។ វាក៏អាចត្រូវបានប្រើដើម្បីភ្ជាប់វត្ថុធាតុដើមដូចជាហ្គាសា, ស៊ី, អាល់និងជាប្រភពបូរូនៅក្នុងកម្មវិធីជាក់លាក់មួយចំនួន។ លើសពីនេះលោក Boron Trichloride ត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយក្នុងការកែច្នៃលោហៈឧស្សាហកម្មឧស្សាហកម្មកញ្ចក់ការវិភាគគីមីនិងការស្រាវជ្រាវមន្ទីរពិសោធន៍។

សុវត្ថិភាពរបស់ Boron Trichloride

Boron trichlorideគឺច្រេះនិងពុលហើយអាចបណ្តាលឱ្យខូចខាតធ្ងន់ធ្ងរដល់ភ្នែកនិងស្បែក។ វាមានជាតិអ៊ីដ្រូក្លាសក្នុងខ្យល់សើមដើម្បីបញ្ចេញឧស្ម័នក្លរអ៊ីដរ៉ោះជាតិអ៊ីដ្រូហ្សែន។ ដូច្នេះវិធានការណ៍សុវត្ថិភាពសមស្របចាំបាច់ត្រូវយកនៅពេលដោះស្រាយBoron trichloride, រួមទាំងការពាក់សម្លៀកបំពាក់ការពារ, វ៉ាក់សាំង, វ៉ាក់សាំងនិងឧបករណ៍ការពារផ្លូវដង្ហើមនិងប្រតិបត្តិការនៅក្នុងបរិយាកាសដែលមានខ្យល់ចេញចូលបានល្អ។