និយមន័យ និងស្តង់ដារភាពបរិសុទ្ធនៃភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់មេតាន

ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់មេតានសំដៅលើឧស្ម័នមេតានដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់។ ជាទូទៅ មេតានដែលមានភាពបរិសុទ្ធ 99.99% ឬខ្ពស់ជាងនេះអាចត្រូវបានចាត់ទុកថាមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់។មេតាននៅក្នុងកម្មវិធីដ៏តឹងរ៉ឹងមួយចំនួន ដូចជាឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិច តម្រូវការភាពបរិសុទ្ធអាចឡើងដល់ 99.999% ឬខ្ពស់ជាងនេះ។ ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់នេះត្រូវបានសម្រេចតាមរយៈបច្ចេកវិទ្យាបន្សុទ្ធ និងបំបែកឧស្ម័នស្មុគស្មាញ ដើម្បីយកភាពមិនបរិសុទ្ធចេញដូចជាសំណើម កាបូនឌីអុកស៊ីត កាបូនម៉ូណូអុកស៊ីត អ៊ីដ្រូសែន និងសមាសធាតុឧស្ម័នផ្សេងទៀត។

តំបន់អនុវត្តនៃមេតានដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់

នៅក្នុងឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិច,មេតាន​បរិសុទ្ធ​ខ្ពស់ត្រូវបានប្រើជាឧស្ម័នឆ្លាក់ និងជាវត្ថុធាតុដើមសម្រាប់ការដាក់ចំហាយគីមី (CVD) ក្នុងការផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រ។ ឧទាហរណ៍ ក្នុងការឆ្លាក់ប្លាស្មា មេតានត្រូវបានលាយជាមួយឧស្ម័នផ្សេងទៀតដើម្បីឆ្លាក់សម្ភារៈស៊ីមីកុងដុកទ័រយ៉ាងជាក់លាក់ ដោយបង្កើតជាលំនាំសៀគ្វីតូចៗ។ នៅក្នុង CVD,មេតានផ្តល់ប្រភពកាបូនសម្រាប់ការលូតលាស់ខ្សែភាពយន្តស្តើងដែលមានមូលដ្ឋានលើកាបូន ដូចជាខ្សែភាពយន្តស៊ីលីកុនកាប៊ីត ដែលដើរតួនាទីយ៉ាងសំខាន់ក្នុងការធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវដំណើរការ និងស្ថេរភាពនៃឧបករណ៍ស៊ីមីកុងដុកទ័រ។

វត្ថុធាតុដើមគីមី៖មេតាន​បរិសុទ្ធ​ខ្ពស់គឺជាវត្ថុធាតុដើមសំខាន់មួយសម្រាប់ការសំយោគសារធាតុគីមីដែលមានតម្លៃបន្ថែមខ្ពស់ជាច្រើន។ ឧទាហរណ៍ វាអាចមានប្រតិកម្មជាមួយក្លរីន ដើម្បីផលិតសមាសធាតុក្លរ៉ូមេតាន ដូចជាក្លរ៉ូហ្វម ឌីក្លរ៉ូមេតាន ទ្រីក្លរ៉ូមេតាន និងកាបូនតេត្រាក្លរីត។ ក្លរ៉ូមេតាន គឺជាវត្ថុធាតុដើមសម្រាប់ផលិតសមាសធាតុសរីរាង្គស៊ីលីកុន ឌីក្លរ៉ូមេតាន និងទ្រីក្លរ៉ូមេតាន ត្រូវបានគេប្រើជាទូទៅជាសារធាតុរំលាយ ហើយកាបូនតេត្រាក្លរីត ធ្លាប់ត្រូវបានគេប្រើជាសារធាតុពន្លត់អគ្គីភ័យ ប៉ុន្តែការប្រើប្រាស់របស់វាឥឡូវនេះត្រូវបានកំណត់យ៉ាងតឹងរ៉ឹង ដោយសារតែឥទ្ធិពលបំផ្លាញស្រទាប់អូហ្សូនរបស់វា។ លើសពីនេះមេតានអាចត្រូវបានបំប្លែងទៅជាស៊ីងហ្គាស (ល្បាយនៃកាបូនម៉ូណូអុកស៊ីត និងអ៊ីដ្រូសែន) តាមរយៈប្រតិកម្មកែទម្រង់ ហើយស៊ីងហ្គាសគឺជាវត្ថុធាតុដើមជាមូលដ្ឋានសម្រាប់ផលិតមេតាណុល អាម៉ូញាក់សំយោគ និងផលិតផលគីមីជាច្រើនទៀត។

ក្នុងវិស័យថាមពល៖ ខណៈពេលដែលមេតានធម្មតា (ឧស្ម័នធម្មជាតិ) គឺជាធនធានថាមពលចម្បងមេតាន​បរិសុទ្ធ​ខ្ពស់ក៏ដើរតួនាទីក្នុងការអនុវត្តថាមពលឯកទេសមួយចំនួនផងដែរ។ ឧទាហរណ៍ នៅក្នុងកោសិកាឥន្ធនៈ មេតានដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់អាចត្រូវបានប្រើជាឥន្ធនៈ ដោយឆ្លងកាត់ការកែច្នៃដើម្បីផលិតអ៊ីដ្រូសែន ដែលផ្តល់ថាមពលដល់កោសិកាឥន្ធនៈ។ បើប្រៀបធៀបទៅនឹងឥន្ធនៈហ្វូស៊ីលប្រពៃណី កោសិកាឥន្ធនៈដែលប្រើមេតានដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់សម្រេចបានប្រសិទ្ធភាពថាមពលខ្ពស់ និងការបញ្ចេញឧស្ម័នពុលទាប។

ការរៀបចំឧស្ម័នស្តង់ដារ៖មេតាន​បរិសុទ្ធ​ខ្ពស់អាចត្រូវបានប្រើជាឧស្ម័នស្តង់ដារសម្រាប់ការក្រិតតាមខ្នាតឧបករណ៍វិភាគឧស្ម័ន។ ឧទាហរណ៍ នៅក្នុងក្រូម៉ាតូក្រាហ្វឧស្ម័ន ដោយប្រើមេតាន​បរិសុទ្ធ​ខ្ពស់ឧស្ម័នស្តង់ដារដែលមានកំហាប់ដែលគេស្គាល់អាចក្រិតតាមខ្នាតភាពរសើប និងភាពត្រឹមត្រូវនៃការរកឃើញរបស់ឧបករណ៍ ដោយធានាបាននូវលទ្ធផលវិភាគត្រឹមត្រូវ និងអាចទុកចិត្តបានសម្រាប់ឧស្ម័នផ្សេងទៀត។