និយមន័យនិងភាពបរិសុទ្ធស្តង់ដារនៃភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់។មេតាន

ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់។មេតានសំដៅលើឧស្ម័នមេតានដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់។ ជាទូទៅ មេតានដែលមានភាពបរិសុទ្ធ 99.99% ឬខ្ពស់ជាងនេះ អាចចាត់ទុកថាមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់មេតាន. នៅក្នុងកម្មវិធីដ៏តឹងរ៉ឹងមួយចំនួន ដូចជាឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិច តម្រូវការនៃភាពបរិសុទ្ធអាចឈានដល់ 99.999% ឬខ្ពស់ជាងនេះ។ ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់នេះត្រូវបានសម្រេចតាមរយៈបច្ចេកវិជ្ជាបន្សុតឧស្ម័នដ៏ស្មុគស្មាញ និងបច្ចេកវិជ្ជាបំបែកចេញ ដើម្បីលុបភាពមិនបរិសុទ្ធដូចជាសំណើម កាបូនឌីអុកស៊ីត កាបូនម៉ូណូអុកស៊ីត អ៊ីដ្រូសែន និងសមាសធាតុឧស្ម័នផ្សេងទៀត។

តំបន់អនុវត្តនៃមេតានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់។

នៅក្នុងឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិច,មេតានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់។ត្រូវ​បាន​គេ​ប្រើ​ជា​ឧស្ម័ន etching និង​ជា​វត្ថុ​ធាតុ​ដើម​សម្រាប់​ការ​ចោល​ចំហាយ​គីមី (CVD) ក្នុង​ការ​ផលិត semiconductor ។ ជាឧទាហរណ៍ ក្នុងការឆ្លាក់ប្លាស្មា ឧស្ម័នមេតានត្រូវបានលាយឡំជាមួយឧស្ម័នផ្សេងទៀត ដើម្បីបង្កើតជាបន្ទះសៀគ្វីតូចៗយ៉ាងជាក់លាក់។ នៅក្នុង CVD,មេតានផ្តល់នូវប្រភពកាបូនសម្រាប់ការរីកលូតលាស់ខ្សែភាពយន្តស្តើងដែលមានមូលដ្ឋានលើកាបូន ដូចជាខ្សែភាពយន្តស៊ីលីកុនកាបែត ដែលដើរតួយ៉ាងសំខាន់ក្នុងការកែលម្អដំណើរការ និងស្ថេរភាពនៃឧបករណ៍ semiconductor ។

វត្ថុធាតុដើមគីមី៖មេតានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់។គឺជាវត្ថុធាតុដើមដ៏សំខាន់សម្រាប់ការសំយោគសារធាតុគីមីដែលមានតម្លៃបន្ថែមខ្ពស់។ ជាឧទាហរណ៍ វាអាចប្រតិកម្មជាមួយក្លរីនដើម្បីផលិតសមាសធាតុ chloromethane ដូចជា chloroform, dichloromethane, trichloromethane និង carbon tetrachloride ។ Chloromethane គឺជាវត្ថុធាតុដើមសម្រាប់ផលិតសមាសធាតុ organosilicon, dichloromethane និង trichloromethane ត្រូវបានគេប្រើជាទូទៅជាសារធាតុរំលាយ ហើយកាបូន tetrachloride ធ្លាប់ត្រូវបានគេប្រើជាភ្នាក់ងារពន្លត់អគ្គីភ័យ ប៉ុន្តែការប្រើប្រាស់របស់វាឥឡូវនេះមានកម្រិតយ៉ាងតឹងរ៉ឹង ដោយសារឥទ្ធិពលបំផ្លាញអូហ្សូនរបស់វា។ លើសពីនេះមេតានអាចត្រូវបានបំប្លែងទៅជា syngas (ល្បាយនៃកាបូនម៉ូណូអុកស៊ីត និងអ៊ីដ្រូសែន) តាមរយៈប្រតិកម្មកំណែទម្រង់ ហើយ syngas គឺជាវត្ថុធាតុដើមជាមូលដ្ឋានសម្រាប់ផលិតមេតាណុល អាម៉ូញាក់សំយោគ និងផលិតផលគីមីជាច្រើនទៀត។

នៅក្នុងវិស័យថាមពល៖ ខណៈពេលដែលមេតានធម្មតា (ឧស្ម័នធម្មជាតិ) គឺជាធនធានថាមពលចម្បង។មេតានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់។ក៏ដើរតួក្នុងកម្មវិធីថាមពលឯកទេសមួយចំនួនផងដែរ។ ជាឧទាហរណ៍ នៅក្នុងកោសិកាឥន្ធនៈ មេតានដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់អាចប្រើជាឥន្ធនៈ ដោយកំពុងធ្វើការកែទម្រង់ដើម្បីផលិតអ៊ីដ្រូសែន ដែលផ្តល់ថាមពលដល់កោសិកាឥន្ធនៈ។ បើប្រៀបធៀបទៅនឹងឥន្ធនៈហ្វូស៊ីលប្រពៃណី កោសិកាឥន្ធនៈដែលប្រើប្រាស់មេតានដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ទទួលបានប្រសិទ្ធភាពថាមពលខ្ពស់ និងការបញ្ចេញជាតិពុលទាប។

ការរៀបចំឧស្ម័នស្តង់ដារ៖មេតានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់។អាចត្រូវបានប្រើជាឧស្ម័នស្តង់ដារសម្រាប់ការក្រិតឧបករណ៍វិភាគឧស្ម័ន។ ឧទាហរណ៍នៅក្នុង chromatograph ឧស្ម័នដោយប្រើមេតានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់។ឧស្ម័នស្តង់ដារនៃកំហាប់ដែលគេស្គាល់អាចក្រិតតាមខ្នាតភាពរសើប និងភាពត្រឹមត្រូវនៃការរកឃើញរបស់ឧបករណ៍ ដោយធានាបាននូវលទ្ធផលវិភាគត្រឹមត្រូវ និងអាចទុកចិត្តបានសម្រាប់ឧស្ម័នផ្សេងទៀត។