ឧស្ម័នចម្រុះឡាស៊ែរសំដៅលើឧបករណ៍ផ្ទុកដែលបង្កើតឡើងដោយការលាយឧស្ម័នច្រើនក្នុងសមាមាត្រជាក់លាក់មួយ ដើម្បីសម្រេចបាននូវលក្ខណៈទិន្នផលឡាស៊ែរជាក់លាក់ក្នុងអំឡុងពេលបង្កើតឡាស៊ែរ និងដំណើរការអនុវត្ត។ ឡាស៊ែរប្រភេទផ្សេងៗគ្នាតម្រូវឱ្យប្រើប្រាស់ឧស្ម័នចម្រុះឡាស៊ែរជាមួយនឹងសមាសធាតុផ្សេងៗគ្នា។ ខាងក្រោមនេះគឺជាការណែនាំលម្អិតសម្រាប់អ្នក៖

ប្រភេទនិងកម្មវិធីទូទៅ

ឧស្ម័នចម្រុះឡាស៊ែរ CO2

ភាគច្រើនផ្សំឡើងពីកាបូនឌីអុកស៊ីត (CO2) អាសូត (N2) និងអេលីយ៉ូម (HE)។ នៅក្នុងវិស័យកែច្នៃឧស្សាហកម្ម ដូចជាការកាត់ ការផ្សារ និងការព្យាបាលផ្ទៃ ឡាស៊ែរកាបូនឌីអុកស៊ីតត្រូវបានគេប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយ។ ក្នុងចំណោមនោះ កាបូនឌីអុកស៊ីតគឺជាសារធាតុសំខាន់សម្រាប់បង្កើតឡាស៊ែរ អាសូតអាចពន្លឿនការផ្លាស់ប្តូរកម្រិតថាមពលនៃម៉ូលេគុលកាបូនឌីអុកស៊ីត និងបង្កើនថាមពលទិន្នផលឡាស៊ែរ ហើយអេលីយ៉ូមជួយបញ្ចេញកំដៅ និងរក្សាស្ថេរភាពនៃការបញ្ចេញឧស្ម័ន ដោយហេតុនេះធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវគុណភាពនៃធ្នឹមឡាស៊ែរ។

ឧស្ម័នចម្រុះឡាស៊ែរ Excimer

លាយបញ្ចូលគ្នាពីឧស្ម័នដ៏កម្រ (ដូចជាអារហ្គុន (AR))គ្រីបតុន (KR), សេណុន (XE)) និងធាតុហាឡូហ្សែន (ដូចជាហ្វ្លុយអូរីន (F) ក្លរីន (CL)) ដូចជាARF, KRF, XeCl,ល។ ឡាស៊ែរប្រភេទនេះត្រូវបានគេប្រើជាញឹកញាប់នៅក្នុងបច្ចេកវិទ្យា photolithography។ នៅក្នុងការផលិតបន្ទះឈីប semiconductor វាអាចសម្រេចបាននូវការផ្ទេរក្រាហ្វិកដែលមានគុណភាពបង្ហាញខ្ពស់។ វាក៏ត្រូវបានគេប្រើនៅក្នុងការវះកាត់ភ្នែកផងដែរ ដូចជាឡាស៊ែរ excimer នៅក្នុងកន្លែង keratomileusis (LASIK) ដែលអាចកាត់ជាលិកាកញ្ចក់ភ្នែកបានយ៉ាងត្រឹមត្រូវ និងកែតម្រូវការមើលឃើញ។

អេលីយ៉ូម-ណេអុងឧស្ម័នឡាស៊ែរល្បាយ

វាជាល្បាយនៃហេលីយ៉ូមនិងណេអុងក្នុងសមាមាត្រជាក់លាក់មួយ ជាធម្មតារវាង 5:1 និង 10:1។ ឡាស៊ែរអេលីយ៉ូម-នីអុង គឺជាឡាស៊ែរឧស្ម័នដំបូងបំផុតមួយ ដែលមានរលកពន្លឺទិន្នផល 632.8 ណាណូម៉ែត្រ ដែលជាពន្លឺពណ៌ក្រហមដែលអាចមើលឃើញ។ វាត្រូវបានគេប្រើជាញឹកញាប់នៅក្នុងការបង្ហាញអុបទិក ហូឡូក្រាហ្វី ការចង្អុលឡាស៊ែរ និងវិស័យផ្សេងទៀត ដូចជាការតម្រឹម និងការកំណត់ទីតាំងក្នុងការសាងសង់ ហើយក៏នៅក្នុងម៉ាស៊ីនស្កេនបាកូដនៅក្នុងផ្សារទំនើបផងដែរ។

ការប្រុងប្រយ័ត្នសម្រាប់ការប្រើប្រាស់

តម្រូវការភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់៖ ភាពមិនបរិសុទ្ធនៅក្នុងល្បាយឧស្ម័នឡាស៊ែរនឹងប៉ះពាល់ដល់ថាមពលទិន្នផលឡាស៊ែរ ស្ថេរភាព និងគុណភាពធ្នឹម។ ឧទាហរណ៍ សំណើមនឹងกัดกร่อนសមាសធាតុខាងក្នុងនៃឡាស៊ែរ ហើយអុកស៊ីសែននឹងកត់សុីសមាសធាតុអុបទិក និងកាត់បន្ថយដំណើរការរបស់វា។ ដូច្នេះ ភាពបរិសុទ្ធនៃឧស្ម័នជាធម្មតាត្រូវឈានដល់ច្រើនជាង 99.99% ហើយកម្មវិធីពិសេសថែមទាំងត្រូវការច្រើនជាង 99.999% ទៀតផង។

សមាមាត្រត្រឹមត្រូវ៖ សមាមាត្រនៃសមាសធាតុឧស្ម័ននីមួយៗមានឥទ្ធិពលគួរឱ្យកត់សម្គាល់ទៅលើដំណើរការឡាស៊ែរ ហើយសមាមាត្រពិតប្រាកដត្រូវតែអនុលោមតាមតម្រូវការរចនាឡាស៊ែរយ៉ាងតឹងរ៉ឹង។ ឧទាហរណ៍ នៅក្នុងឡាស៊ែរកាបូនឌីអុកស៊ីត ការផ្លាស់ប្តូរសមាមាត្រនៃអាសូតទៅនឹងកាបូនឌីអុកស៊ីតនឹងប៉ះពាល់ដល់ថាមពលទិន្នផល និងប្រសិទ្ធភាពឡាស៊ែរ។

ការផ្ទុក និងការប្រើប្រាស់ដោយសុវត្ថិភាព៖ ខ្លះឧស្ម័នចម្រុះឡាស៊ែរមានជាតិពុល ច្រេះ ឬងាយឆេះ និងផ្ទុះ។ ឧទាហរណ៍ ឧស្ម័នហ្វ្លុយអូរីននៅក្នុងឡាស៊ែរ excimer មានជាតិពុល និងច្រេះខ្ពស់។ វិធានការសុវត្ថិភាពយ៉ាងតឹងរ៉ឹងត្រូវតែអនុវត្តក្នុងអំឡុងពេលផ្ទុក និងប្រើប្រាស់ ដូចជាការប្រើប្រាស់ធុងផ្ទុកដែលបិទជិតល្អ បំពាក់ដោយឧបករណ៍ខ្យល់ចេញចូល និងឧបករណ៍រកឃើញការលេចធ្លាយឧស្ម័នជាដើម។