ឡាស៊ែរលាយឧស្ម័នសំដៅលើឧបករណ៍ផ្ទុកការងារដែលបង្កើតឡើងដោយការលាយឧស្ម័នច្រើនក្នុងសមាមាត្រជាក់លាក់មួយ ដើម្បីសម្រេចបាននូវលក្ខណៈជាក់លាក់នៃទិន្នផលឡាស៊ែរក្នុងអំឡុងពេលបង្កើតឡាស៊ែរ និងដំណើរការកម្មវិធី។ ប្រភេទផ្សេងគ្នានៃឡាស៊ែរតម្រូវឱ្យមានការប្រើប្រាស់ឧស្ម័នចម្រុះឡាស៊ែរដែលមានសមាសធាតុផ្សេងគ្នា។ ខាងក្រោម​នេះ​ជា​ការណែនាំ​លម្អិត​សម្រាប់​អ្នក៖

ប្រភេទ និងកម្មវិធីទូទៅ

ឧស្ម័នចម្រុះឡាស៊ែរ CO2

ផ្សំឡើងជាចម្បងនៃកាបូនឌីអុកស៊ីត (CO2) អាសូត (N2) និងអេលីយ៉ូម (HE) ។ នៅក្នុងវិស័យកែច្នៃឧស្សាហកម្មដូចជាការកាត់ ការផ្សារ និងការព្យាបាលលើផ្ទៃ ឡាស៊ែរកាបូនឌីអុកស៊ីតត្រូវបានប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយ។ ក្នុងចំណោមពួកវា កាបូនឌីអុកស៊ីតគឺជាសារធាតុសំខាន់សម្រាប់បង្កើតឡាស៊ែរ អាសូតអាចបង្កើនល្បឿនការផ្លាស់ប្តូរកម្រិតថាមពលនៃម៉ូលេគុលកាបូនឌីអុកស៊ីត និងបង្កើនថាមពលបញ្ចេញឡាស៊ែរ ហើយអេលីយ៉ូមជួយបញ្ចេញកំដៅ និងរក្សាស្ថេរភាពនៃការបញ្ចេញឧស្ម័ន ដោយហេតុនេះធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវគុណភាពនៃកាំរស្មីឡាស៊ែរ។

ឧស្ម័នចម្រុះឡាស៊ែរ Excimer

លាយពីឧស្ម័នដ៏កម្រ (ដូចជា អាហ្គុន (AR))គ្រីបតុន (KR), xenon (XE)) និងធាតុ halogen (ដូចជា fluorine (F), chlorine (CL)) ដូចជាARF, KRF, XeCl,ល. ប្រភេទឡាស៊ែរនេះត្រូវបានគេប្រើជាញឹកញាប់នៅក្នុងបច្ចេកវិទ្យា photolithography ។ នៅក្នុងការផលិតបន្ទះឈីប semiconductor វាអាចសម្រេចបាននូវការផ្ទេរក្រាហ្វិកដែលមានគុណភាពបង្ហាញខ្ពស់; វាត្រូវបានគេប្រើផងដែរនៅក្នុងការវះកាត់ភ្នែកដូចជា excimer laser in situ keratomileusis (LASIK) ដែលអាចកាត់ជាលិកាកែវភ្នែកបានត្រឹមត្រូវ និងកែតម្រូវការមើលឃើញ។

អេលីយ៉ូម-អ៊ីយ៉ូនឧស្ម័នឡាស៊ែរល្បាយ

វាគឺជាល្បាយនៃអេលីយ៉ូមនិងអ៊ីយូតានៅក្នុងសមាមាត្រជាក់លាក់មួយ ជាធម្មតានៅចន្លោះ 5:1 និង 10:1។ ឡាស៊ែរ Helium-neon គឺជាឡាស៊ែរឧស្ម័នដំបូងបំផុតមួយដែលមានរលកទិន្នផល 632.8 nanometers ដែលជាពន្លឺដែលអាចមើលឃើញពណ៌ក្រហម។ វាត្រូវបានគេប្រើជាញឹកញាប់នៅក្នុងការបង្ហាញអុបទិក ហូឡូក្រាម ការចង្អុលឡាស៊ែរ និងផ្នែកផ្សេងទៀត ដូចជាការតម្រឹម និងទីតាំងក្នុងការសាងសង់ ហើយក៏នៅក្នុងម៉ាស៊ីនស្កេនបាកូដនៅក្នុងផ្សារទំនើបផងដែរ។

ការប្រុងប្រយ័ត្នក្នុងការប្រើប្រាស់

តម្រូវការភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់៖ ភាពមិនបរិសុទ្ធនៅក្នុងល្បាយឧស្ម័នឡាស៊ែរនឹងប៉ះពាល់ដល់ថាមពលទិន្នផលឡាស៊ែរ ស្ថេរភាព និងគុណភាពនៃធ្នឹម។ ឧទាហរណ៍ សំណើមនឹងបំផ្លាញសមាសធាតុខាងក្នុងនៃឡាស៊ែរ ហើយអុកស៊ីសែននឹងកត់សុីសមាសធាតុអុបទិក និងកាត់បន្ថយដំណើរការរបស់វា។ ដូច្នេះ ភាពបរិសុទ្ធនៃឧស្ម័នជាធម្មតាត្រូវការលើសពី 99.99% ហើយកម្មវិធីពិសេសថែមទាំងត្រូវការច្រើនជាង 99.999% ទៀតផង។

សមាមាត្រត្រឹមត្រូវ៖ សមាមាត្រនៃសមាសធាតុឧស្ម័ននីមួយៗមានឥទ្ធិពលយ៉ាងសំខាន់លើដំណើរការឡាស៊ែរ ហើយសមាមាត្រពិតប្រាកដត្រូវតែមានភាពតឹងរ៉ឹងស្របតាមតម្រូវការនៃការរចនាឡាស៊ែរ។ ឧទាហរណ៍ នៅក្នុងឡាស៊ែរកាបូនឌីអុកស៊ីត ការផ្លាស់ប្តូរសមាមាត្រនៃអាសូតទៅកាបូនឌីអុកស៊ីតនឹងប៉ះពាល់ដល់ថាមពល និងប្រសិទ្ធភាពនៃទិន្នផលឡាស៊ែរ។

ការផ្ទុក និងការប្រើប្រាស់ប្រកបដោយសុវត្ថិភាព៖ មួយចំនួនឧស្ម័នចម្រុះឡាស៊ែរមានជាតិពុល ច្រេះ ឬងាយឆេះ និងផ្ទុះ។ ឧទហរណ៍ ឧស្ម័ន fluorine នៅក្នុង excimer laser គឺពុលខ្លាំង និងច្រេះ។ វិធានការសុវត្ថិភាពតឹងរ៉ឹងត្រូវតែធ្វើឡើងក្នុងអំឡុងពេលផ្ទុក និងប្រើប្រាស់ ដូចជាការប្រើធុងផ្ទុកដែលបិទជិតល្អ បំពាក់ដោយឧបករណ៍ខ្យល់ និងឧបករណ៍រាវរកលេចធ្លាយឧស្ម័ន។ល។