ឧស្ម័នឡាស៊ែរ

ឧស្ម័នឡាស៊ែរភាគច្រើនត្រូវបានប្រើសម្រាប់ការដុតឡាស៊ែរ និងឧស្ម័នលីចូក្រាហ្វីនៅក្នុងឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិច។ ដោយទទួលបានអត្ថប្រយោជន៍ពីការច្នៃប្រឌិតនៃអេក្រង់ទូរស័ព្ទចល័ត និងការពង្រីកតំបន់កម្មវិធី ទំហំនៃទីផ្សារប៉ូលីស៊ីលីកុនសីតុណ្ហភាពទាបនឹងត្រូវបានពង្រីកបន្ថែមទៀត ហើយដំណើរការដុតឡាស៊ែរបានធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវដំណើរការរបស់ TFTs យ៉ាងច្រើន។ ក្នុងចំណោមឧស្ម័នណេអុង ហ្វ្លុយអូរីន និងអាហ្គុនដែលប្រើក្នុងឡាស៊ែរ ArF excimer សម្រាប់ផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក ណេអុងមានចំនួនជាង 96% នៃល្បាយឧស្ម័នឡាស៊ែរ។ ជាមួយនឹងការកែលម្អបច្ចេកវិទ្យាឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក ការប្រើប្រាស់ឡាស៊ែរ excimer បានកើនឡើង ហើយការណែនាំអំពីបច្ចេកវិទ្យាប៉ះពាល់ទ្វេដងបាននាំឱ្យមានការកើនឡើងយ៉ាងខ្លាំងនៃតម្រូវការឧស្ម័នណេអុងដែលប្រើប្រាស់ដោយឡាស៊ែរ ArF excimer។ ដោយទទួលបានអត្ថប្រយោជន៍ពីការលើកកម្ពស់ការធ្វើមូលដ្ឋានីយកម្មនៃឧស្ម័នឯកទេសអេឡិចត្រូនិច ក្រុមហ៊ុនផលិតក្នុងស្រុកនឹងមានកន្លែងកំណើនទីផ្សារកាន់តែប្រសើរឡើងនាពេលអនាគត។

ម៉ាស៊ីន​បោះពុម្ព​លីថូក្រាហ្វី គឺជាឧបករណ៍ស្នូលនៃការផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រ។ លីថូក្រាហ្វីកំណត់ទំហំនៃត្រង់ស៊ីស្ទ័រ។ ការអភិវឌ្ឍសម្របសម្រួលនៃខ្សែសង្វាក់ឧស្សាហកម្មលីថូក្រាហ្វី គឺជាគន្លឹះនៃភាពជោគជ័យនៃម៉ាស៊ីនបោះពុម្ពលីថូក្រាហ្វី។ សម្ភារៈស៊ីមីកុងដុកទ័រដែលត្រូវគ្នាដូចជា ហ្វូតូរីស ឧស្ម័នហ្វីតូលីថូក្រាហ្វី ហ្វូតូម៉ាស និងឧបករណ៍ថ្នាំកូត និងអភិវឌ្ឍន៍ មានខ្លឹមសារបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់។ ឧស្ម័នលីថូក្រាហ្វី គឺជាឧស្ម័នដែលម៉ាស៊ីនបោះពុម្ពលីថូក្រាហ្វីបង្កើតឡាស៊ែរអ៊ុលត្រាវីយូឡេជ្រៅ។ ឧស្ម័នលីថូក្រាហ្វីផ្សេងៗគ្នាអាចបង្កើតប្រភពពន្លឺនៃរលកពន្លឺផ្សេងៗគ្នា ហើយរលកពន្លឺរបស់វាប៉ះពាល់ដោយផ្ទាល់ទៅលើគុណភាពបង្ហាញរបស់ម៉ាស៊ីនបោះពុម្ពលីថូក្រាហ្វី ដែលជាស្នូលមួយនៃម៉ាស៊ីនបោះពុម្ពលីថូក្រាហ្វី។ នៅឆ្នាំ ២០២០ ការលក់ម៉ាស៊ីនបោះពុម្ពលីថូក្រាហ្វីសរុបទូទាំងពិភពលោកនឹងមានចំនួន ៤១៣ គ្រឿង ដែលក្នុងនោះការលក់ ASML ចំនួន ២៥៨ គ្រឿងមានចំនួន ៦២% ការលក់ Canon ចំនួន ១២២ គ្រឿងមានចំនួន ៣០% និងការលក់ Nikon ចំនួន ៣៣ គ្រឿងមានចំនួន ៨%។