ឧស្ម័នឡាស៊ែរ

ឧស្ម័នឡាស៊ែរត្រូវបានប្រើប្រាស់ជាចម្បងសម្រាប់ការកាត់ឡាស៊ែរ និងឧស្ម័ន lithography នៅក្នុងឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិក។ ដោយទទួលបានអត្ថប្រយោជន៍ពីការច្នៃប្រឌិតនៃអេក្រង់ទូរសព្ទចល័ត និងការពង្រីកតំបន់កម្មវិធី មាត្រដ្ឋាននៃទីផ្សារប៉ូលីស៊ីលីកុនដែលមានសីតុណ្ហភាពទាបនឹងត្រូវបានពង្រីកបន្ថែមទៀត ហើយដំណើរការកាត់ឡាស៊ែរបានធ្វើឱ្យដំណើរការ TFTs ប្រសើរឡើងយ៉ាងខ្លាំង។ ក្នុងចំណោមឧស្ម័ន neon, fluorine និង argon ដែលប្រើក្នុងឡាស៊ែរ ArF excimer សម្រាប់ផលិត semiconductors អ៊ីយូតាមានច្រើនជាង 96% នៃល្បាយឧស្ម័នឡាស៊ែរ។ ជាមួយនឹងការចម្រាញ់នៃបច្ចេកវិទ្យា semiconductor ការប្រើប្រាស់ឡាស៊ែរ excimer បានកើនឡើង ហើយការដាក់ឱ្យប្រើប្រាស់នូវបច្ចេកវិទ្យា double exposure បាននាំឱ្យមានការកើនឡើងយ៉ាងខ្លាំងនៃតម្រូវការសម្រាប់ឧស្ម័ន neon ដែលប្រើប្រាស់ដោយឡាស៊ែរ ArF excimer ។ ទទួលបានអត្ថប្រយោជន៍ពីការលើកកម្ពស់ការធ្វើមូលដ្ឋានីយកម្មនៃឧស្ម័នឯកទេសអេឡិចត្រូនិច ក្រុមហ៊ុនផលិតក្នុងស្រុកនឹងមានកន្លែងរីកចម្រើនទីផ្សារកាន់តែប្រសើរនាពេលអនាគត។

ម៉ាស៊ីន Lithography គឺជាឧបករណ៍ស្នូលនៃការផលិត semiconductor ។ Lithography កំណត់ទំហំនៃត្រង់ស៊ីស្ទ័រ។ ការអភិវឌ្ឍន៍ដោយសំរបសំរួលនៃខ្សែសង្វាក់ឧស្សាហកម្ម lithography គឺជាគន្លឹះនៃរបកគំហើញនៃម៉ាស៊ីន lithography ។ សមា្ភារៈ semiconductor ដែលផ្គូផ្គងដូចជា photoresist, photolithography gas, photomask, និង coating and developing equipment មានមាតិកាបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់។ ឧស្ម័ន Lithography គឺជាឧស្ម័នដែលម៉ាស៊ីន lithography បង្កើតឡាស៊ែរអ៊ុលត្រាវីយូឡេជ្រៅ។ ឧស្ម័ន lithography ផ្សេងគ្នាអាចបង្កើតប្រភពពន្លឺនៃរលកពន្លឺខុសៗគ្នា ហើយរលករបស់វាប៉ះពាល់ដោយផ្ទាល់ទៅលើដំណោះស្រាយរបស់ម៉ាស៊ីន lithography ដែលជាស្នូលមួយនៃម៉ាស៊ីន lithography ។ នៅឆ្នាំ 2020 ការលក់សរុបរបស់ម៉ាស៊ីន lithography ទូទាំងពិភពលោកនឹងមាន 413 គ្រឿង ដែលក្នុងនោះ ASML លក់បាន 258 គ្រឿង ស្មើនឹង 62% ការលក់ Canon ចំនួន 122 គ្រឿងមានចំនួន 30% និង Nikon លក់បាន 33 គ្រឿងស្មើនឹង 8% ។