អ៊ីដ្រូសែនក្លរួគឺជាឧស្ម័នគ្មានពណ៌ដែលមានក្លិនស្អុយ។ ដំណោះស្រាយទឹករបស់វាត្រូវបានគេហៅថា អាស៊ីតអ៊ីដ្រូក្លរីក ដែលត្រូវបានគេស្គាល់ផងដែរថាជាអាស៊ីតអ៊ីដ្រូក្លរីក។ អ៊ីដ្រូសែនក្លរួរលាយក្នុងទឹកបានល្អ។ នៅសីតុណ្ហភាព 0°C ទឹក 1 បរិមាណអាចរំលាយអ៊ីដ្រូសែនក្លរួបានប្រហែល 500 បរិមាណ។

វាមានលក្ខណៈសម្បត្តិ និងលក្ខណៈដូចខាងក្រោម៖

១. ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់

ភាពបរិសុទ្ធនៃថ្នាក់អេឡិចត្រូនិចអ៊ីដ្រូសែនក្លរួគឺខ្ពស់ណាស់ ជាធម្មតានៅកម្រិត ppm ឬទាបជាងនេះ ដើម្បីធានាថាគ្មានភាពមិនបរិសុទ្ធត្រូវបានបញ្ចូលទៅក្នុងដំណើរការផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រនោះទេ។

២. ភាពអសកម្ម

វាគឺជាឧស្ម័នអសកម្មខាងគីមីដែលមិនមានប្រតិកម្មជាមួយសារធាតុជាច្រើនទៀត ដែលមានសារៈសំខាន់ខ្លាំងណាស់ក្នុងការទប់ស្កាត់ការចម្លងរោគនៃសម្ភារៈ និងឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក។

៣. ស្ថេរភាពខ្ពស់

ថ្នាក់អេឡិចត្រូនិចអ៊ីដ្រូសែនក្លរួជាទូទៅមានគីមីវិទ្យាដែលមានស្ថេរភាពដើម្បីធានាបាននូវដំណើរការស៊ីមីកុងដុកទ័រដែលអាចទុកចិត្តបាន។

ក្នុងដំណើរការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក ការប្រើប្រាស់សំខាន់ៗនៃអ៊ីដ្រូសែនក្លរួថ្នាក់អេឡិចត្រូនិចរួមមាន៖

១. ការសម្អាត និងការរៀបចំផ្ទៃ

ក្នុងនាមជាសារធាតុសម្អាតផ្ទៃដ៏មានប្រសិទ្ធភាព ថ្នាក់អេឡិចត្រូនិចអ៊ីដ្រូសែនក្លរួត្រូវបានប្រើដើម្បីយកអុកស៊ីដ និងភាពមិនបរិសុទ្ធចេញពីផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោម ដើម្បីធានាបាននូវគុណភាព និងភាពបរិសុទ្ធនៃស្រទាប់ ឬខ្សែភាពយន្ត epitaxial។

2. ជំនួយដល់ការលូតលាស់ Epitaxial

វាត្រូវបានប្រើជាភ្នាក់ងារព្យាបាលផ្ទៃក្នុងដំណើរការ epitaxial វាជួយកែលម្អគុណភាពនៃស្រទាប់ epitaxial ធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវការផ្គូផ្គង lattice និងកាត់បន្ថយការបង្កើតពិការភាព lattice ។

៣. ការព្យាបាលស្រទាប់ខាងក្រោមជាមុន

មុនពេលរៀបចំឧបករណ៍ស៊ីមីកុងដុកទ័រ ថ្នាក់អេឡិចត្រូនិចអ៊ីដ្រូសែនក្លរួអាចត្រូវបានប្រើដើម្បីព្យាបាលផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោម ដើម្បីបង្កើតជាមូលដ្ឋានដែលមានស្ថេរភាព ដើម្បីបង្កើនភាពស្អិតជាប់រវាងស្រទាប់អេពីតាក់ស៊ី និងស្រទាប់ខាងក្រោម។

៤. សារធាតុជំនួយសម្រាប់ដាក់

នៅក្នុងដំណើរការនៃការដាក់ចំហាយគីមី (CVD) ឬការដាក់ចំហាយរូបវន្ត (PVD) អ៊ីដ្រូសែនក្លរួថ្នាក់អេឡិចត្រូនិចអាចត្រូវបានប្រើជាឧបករណ៍ផ្ទេរដំណាក់កាលឧស្ម័នដើម្បីចូលរួមក្នុងប្រតិកម្មដាក់សម្ភារៈស៊ីមីកុងដុកទ័រ។

៥. ភ្នាក់ងារផ្ទេរដំណាក់កាលឧស្ម័ន

ក្នុងនាមជាភ្នាក់ងារផ្ទេរដំណាក់កាលឧស្ម័ន សារធាតុបឋមឧស្ម័នផ្សេងទៀតត្រូវបានបញ្ចូលទៅក្នុងបន្ទប់ប្រតិកម្ម ដើម្បីជួយកែតម្រូវអត្រាដាក់ និងឯកសណ្ឋាននៃសម្ភារៈ។

លក្ខណៈទាំងនេះធ្វើឱ្យថ្នាក់អេឡិចត្រូនិចអ៊ីដ្រូសែនក្លរួភ្នាក់ងារដំណើរការដ៏សំខាន់មួយនៅក្នុងបច្ចេកវិទ្យាស៊ីមីកុងដុកទ័រ ដែលមានឥទ្ធិពលយ៉ាងសំខាន់ទៅលើដំណើរការ និងភាពជឿជាក់នៃឧបករណ៍ចុងក្រោយ។

បន្ថែមពីលើការប្រើប្រាស់របស់វានៅក្នុងដំណើរការស៊ីមីកុងដុកទ័រ អ៊ីដ្រូសែនក្លរួថ្នាក់អេឡិចត្រូនិចអាចរកឃើញការប្រើប្រាស់ជាច្រើននៅក្នុងវិស័យផ្សេងទៀត រួមមាន៖ ការរៀបចំវត្ថុធាតុដើមដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ កោសិកាឥន្ធនៈ ការលូតលាស់សម្ភារៈស៊ីមីកុងដុកទ័រ ការបង្កើតលីតូក្រាហ្វីដំណាក់កាលចំហាយទឹក ការវិភាគសម្ភារៈ និងការស្រាវជ្រាវគីមី។

ជាទូទៅថ្នាក់អេឡិចត្រូនិចអ៊ីដ្រូសែនក្លរួគឺជាឧស្ម័នដែលអាចបត់បែនបាន និងមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ដែលមានកម្មវិធីជាច្រើនក្រៅពីការផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រ។