នៅឆ្នាំ ២០១៨ ទីផ្សារឧស្ម័នអេឡិចត្រូនិចសកលសម្រាប់សៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នាបានឈានដល់ ៤.៥១២ ពាន់លានដុល្លារអាមេរិក ដែលជាការកើនឡើង ១៦% ពីមួយឆ្នាំទៅមួយឆ្នាំ។ អត្រាកំណើនខ្ពស់នៃឧស្សាហកម្មឧស្ម័នអេឡិចត្រូនិចពិសេសសម្រាប់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក និងទំហំទីផ្សារដ៏ធំបានពន្លឿនផែនការជំនួសក្នុងស្រុកនៃឧស្ម័នអេឡិចត្រូនិចពិសេស!
តើឧស្ម័នអេឡិចត្រុងជាអ្វី?
ឧស្ម័នអេឡិចត្រូនិចសំដៅទៅលើវត្ថុធាតុដើមមូលដ្ឋានដែលប្រើក្នុងការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក អេក្រង់សំប៉ែត ឌីយ៉ូដបញ្ចេញពន្លឺ កោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យ និងផលិតផលអេឡិចត្រូនិចផ្សេងទៀត ហើយត្រូវបានគេប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយក្នុងការសម្អាត ការឆ្លាក់ ការបង្កើតខ្សែភាពយន្ត ការប្រើប្រាស់សារធាតុដូប៉ាមីន និងដំណើរការផ្សេងៗទៀត។ វិស័យអនុវត្តសំខាន់ៗនៃឧស្ម័នអេឡិចត្រូនិចរួមមានឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិច កោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យ ទំនាក់ទំនងចល័ត ប្រព័ន្ធរុករករថយន្ត និងប្រព័ន្ធអូឌីយ៉ូ និងវីដេអូរថយន្ត អាកាសចរណ៍ ឧស្សាហកម្មយោធា និងវិស័យជាច្រើនទៀត។
ឧស្ម័នអេឡិចត្រូនិចពិសេសអាចបែងចែកជាប្រាំពីរប្រភេទទៅតាមសមាសធាតុគីមីរបស់វា៖ ស៊ីលីកុន អាសេនិច ផូស្វ័រ បូរ៉ុន លោហៈអ៊ីដ្រូសែន ហាលីត និងលោហៈអាល់កុកស៊ីត។ យោងតាមវិធីសាស្រ្តប្រើប្រាស់ផ្សេងៗគ្នានៅក្នុងសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នា វាអាចបែងចែកជាឧស្ម័នដូពីង ឧស្ម័នអេពីតាក់ស៊ី ឧស្ម័នដាំអ៊ីយ៉ុង ឧស្ម័នឌីយ៉ូដបញ្ចេញពន្លឺ ឧស្ម័នឆ្លាក់ ឧស្ម័នដាក់ចំហាយគីមី និងឧស្ម័នតុល្យភាព។ មានឧស្ម័នពិសេសជាង 110 ឯកតាដែលប្រើប្រាស់ក្នុងឧស្សាហកម្មស៊ីមីកុងដុកទ័រ ដែលក្នុងនោះជាង 30 ត្រូវបានប្រើប្រាស់ជាទូទៅ។
ជាទូទៅ ឧស្សាហកម្មផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកបែងចែកឧស្ម័នជាពីរប្រភេទ៖ ឧស្ម័នធម្មតា និងឧស្ម័នពិសេស។ ក្នុងចំណោមឧស្ម័នទាំងនោះ ឧស្ម័នដែលប្រើជាទូទៅសំដៅទៅលើការផ្គត់ផ្គង់កណ្តាល និងប្រើប្រាស់ឧស្ម័នច្រើន ដូចជា N2, H2, O2, Ar, He ជាដើម។ ឧស្ម័នពិសេសសំដៅទៅលើឧស្ម័នគីមីមួយចំនួនដែលប្រើក្នុងដំណើរការនៃការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក ដូចជាការពង្រីក ការចាក់អ៊ីយ៉ុង ការលាយ ការលាងសម្អាត និងការបង្កើតរបាំង ដែលជាអ្វីដែលយើងហៅថាឧស្ម័នពិសេសអេឡិចត្រូនិចឥឡូវនេះ ដូចជា SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2 ជាដើម។
នៅក្នុងដំណើរការផលិតទាំងមូលនៃឧស្សាហកម្មស៊ីមីកុងដុកទ័រ ចាប់ពីការលូតលាស់បន្ទះឈីបរហូតដល់ការវេចខ្ចប់ឧបករណ៍ចុងក្រោយ ស្ទើរតែគ្រប់តំណភ្ជាប់ទាំងអស់គឺមិនអាចបំបែកចេញពីឧស្ម័នពិសេសអេឡិចត្រូនិចបានឡើយ ហើយភាពខុសគ្នានៃឧស្ម័នដែលប្រើប្រាស់ និងតម្រូវការគុណភាពខ្ពស់ ដូច្នេះឧស្ម័នអេឡិចត្រូនិចមានសម្ភារៈស៊ីមីកុងដុកទ័រ។ “អាហារ”។
ក្នុងរយៈពេលប៉ុន្មានឆ្នាំចុងក្រោយនេះ គ្រឿងបន្លាស់អេឡិចត្រូនិចសំខាន់ៗរបស់ប្រទេសចិន ដូចជាឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកពាក់កណ្តាលសៀគ្វី និងបន្ទះអេក្រង់ បានកើនឡើងនូវសមត្ថភាពផលិតកម្មថ្មី ហើយមានតម្រូវការខ្លាំងសម្រាប់ការជំនួសការនាំចូលសម្ភារៈគីមីអេឡិចត្រូនិច។ តួនាទីនៃឧស្ម័នអេឡិចត្រូនិចនៅក្នុងឧស្សាហកម្មឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកពាក់កណ្តាលសៀគ្វីកាន់តែលេចធ្លោឡើង។ ឧស្សាហកម្មឧស្ម័នអេឡិចត្រូនិចក្នុងស្រុកនឹងនាំមកនូវកំណើនយ៉ាងឆាប់រហ័ស។
ឧស្ម័នអេឡិចត្រូនិចពិសេសមានតម្រូវការខ្ពស់សម្រាប់ភាពបរិសុទ្ធ ពីព្រោះប្រសិនបើភាពបរិសុទ្ធមិនស្របតាមតម្រូវការ ក្រុមមិនបរិសុទ្ធដូចជាចំហាយទឹក និងអុកស៊ីសែននៅក្នុងឧស្ម័នអេឡិចត្រូនិចពិសេសនឹងបង្កើតជាស្រទាប់អុកស៊ីដនៅលើផ្ទៃនៃស៊ីមីកុងដុកទ័រ ដែលប៉ះពាល់ដល់អាយុកាលប្រើប្រាស់របស់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិច ហើយឧស្ម័នអេឡិចត្រូនិចពិសេសមានផ្ទុកភាគល្អិតនៃភាពមិនបរិសុទ្ធដែលអាចបណ្តាលឱ្យសៀគ្វីខ្លីស៊ីមីកុងដុកទ័រ និងការខូចខាតសៀគ្វី។ អាចនិយាយបានថា ការកែលម្អភាពបរិសុទ្ធដើរតួនាទីយ៉ាងសំខាន់ក្នុងទិន្នផល និងដំណើរការនៃការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិច។
ជាមួយនឹងការអភិវឌ្ឍជាបន្តបន្ទាប់នៃឧស្សាហកម្មស៊ីមីកុងដុកទ័រ ដំណើរការផលិតបន្ទះឈីបនៅតែបន្តប្រសើរឡើង ហើយឥឡូវនេះវាបានឈានដល់ 5nm ដែលជិតដល់ដែនកំណត់នៃច្បាប់របស់ Moore ដែលស្មើនឹងមួយភាគម្ភៃនៃអង្កត់ផ្ចិតសក់មនុស្ស (ប្រហែល 0.1 មីលីម៉ែត្រ)។ ដូច្នេះ នេះក៏ដាក់ចេញនូវតម្រូវការខ្ពស់ជាងមុនលើភាពបរិសុទ្ធនៃឧស្ម័នពិសេសអេឡិចត្រូនិចដែលផលិតដោយស៊ីមីកុងដុកទ័រ។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ១៥ ខែធ្នូ ឆ្នាំ ២០២១
