ផែនការជំនួសនៃឧស្ម័នពិសេសអេឡិចត្រូនិចត្រូវបានពន្លឿនតាមរបៀបពេញមួយ!

នៅឆ្នាំ 2018 ទីផ្សារហ្គាសអេឡិចត្រូនិចសកលសម្រាប់សៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នាបានឈានដល់ 4,512 ពាន់លានដុល្លារអាមេរិកដែលកើនឡើង 16% នៃការកើនឡើង 16% ។ អត្រាកំណើនខ្ពស់នៃឧស្សាហកម្មឧស្ម័នអេឡិចត្រូនិចសម្រាប់អេឡិចត្រូនិកនិងទំហំទីផ្សារដ៏ធំបានពន្លឿនផែនការជំនួសឧស្ម័នអេឡិចត្រូនិច!

តើហ្គាសអេឡិចត្រុងគឺជាអ្វី?

ឧស្ម័នអេឡិចត្រូនិចសំដៅទៅលើសម្ភារៈប្រភពមូលដ្ឋានដែលត្រូវបានប្រើក្នុងការផលិតអេឡិចត្រូនិក, បន្ទះរាបស្មើ, រំកិលកោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យនិងផលិតផលអេឡិចត្រូនិចផ្សេងទៀតហើយត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយក្នុងការសំអាតការបង្កើតភាពមិនត្រឹមត្រូវនិងដំណើរការផ្សេងទៀត។ ផ្នែកកម្មវិធីសំខាន់នៃឧស្ម័នអេឡិចត្រូនិករួមមានឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិចកោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យការទំនាក់ទំនងតាមទូរស័ព្ទចល័តនាវាចរណ៍រថយន្តនិងប្រព័ន្ធអូឌីយ៉ូរថយន្តឧស្សាហកម្មអាកាសចរណ៍ឧស្សាហកម្មអាកាសចរណ៍ឧស្សាហកម្មយោធានិងវិស័យជាច្រើនទៀត។

ឧស្ម័នពិសេសអេឡិចត្រូនិចអាចត្រូវបានបែងចែកជា 7 ប្រភេទយោងទៅតាមសមាសធាតុគីមីរបស់ខ្លួនគឺស៊ីលីខនអាសនៈផូស្វ័រផូរីនដែក halide និង alkoxide ដែក។ យោងទៅតាមវិធីសាស្ត្រនៃការដាក់ពាក្យផ្សេងៗគ្នានៅក្នុងសៀគ្វីសមូហភាពវាអាចត្រូវបានបែងចែកទៅជាប្រេងឥន្ធនៈឧស្ម័ន epitaxy ឧស្ម័នផ្សាំអ៊ីយ៉ុងបញ្ចេញឧស្ម័នអង្កត់អ៊ុតឧស្ម័នអណ្តូងចំហាយទឹកនិងឧស្ម័នតុល្យភាព។ មានឧស្ម័នពិសេសជាង 110 គ្រឿងដែលត្រូវបានប្រើក្នុងឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិកដែលជាង 30 ត្រូវបានប្រើជាទូទៅ។

ជាទូទៅឧស្សាហកម្មផលិតកម្មអេឡិចត្រូនិកចែកឧស្ម័នជាពីរប្រភេទគឺឧស្ម័នទូទៅនិងឧស្ម័នពិសេស។ ក្នុងចំនោមពួកគេឧស្ម័នដែលត្រូវបានប្រើជាទូទៅគឺមានការផ្គត់ផ្គង់កណ្តាលនិងប្រើឧស្ម័នច្រើនដូចជា N2, O2, ar, ដូចជាភាពបរិសុទ្ធនៃ Sih4, PH3, B2H6, B2H6, NH3, SF6, NF3, CF4, BFD3, BF3, HCL, HCL, ។ ល។

ក្នុងដំណើរការផលិតកម្មទាំងមូលនៃឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិកពីការលុកលុយឧបករណ៍ចុងក្រោយស្ទើរតែគ្រប់តភ្ជាប់ទាំងអស់គឺមិនអាចបំបែកបានពីឧស្ម័នអេឡិចត្រូនិចនិងតម្រូវការហ្គាសដែលមានគុណភាពខ្ពស់ដូច្នេះហ្គាសអេឡិចត្រូនិចមានសំភារៈអេឡិចត្រូនិចមានសំភារៈអេឡិចត្រូនិច។ "អាហារ" ។

ក្នុងប៉ុន្មានឆ្នាំថ្មីៗនេះសមាសធាតុអេឡិចត្រូនិកសំខាន់ៗរបស់ចិនដូចជាអេឡិចត្រូនិកនិងបន្ទះបង្ហាញបានកើនឡើងក្នុងសមត្ថភាពផលិតថ្មីហើយមានតម្រូវការយ៉ាងខ្លាំងសម្រាប់ការនាំចូលវត្ថុធាតុអេឡិចត្រូនិច។ ទីតាំងនៃឧស្ម័នអេឡិចត្រូនិកនៅក្នុងឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិកបានក្លាយជាលេចធ្លោកាន់តែខ្លាំងឡើង។ ឧស្សាហកម្មហ្គាសអេឡិចត្រូនិចក្នុងស្រុកនឹងនាំឱ្យមានកំណើនយ៉ាងឆាប់រហ័ស។

ឧស្ម័នពិសេសអេឡិចត្រូនិចមានតម្រូវការខ្ពស់សម្រាប់ភាពបរិសុទ្ធព្រោះប្រសិនបើភាពបរិសុទ្ធមិនអាស្រ័យលើតម្រូវការនៃការធ្វើឱ្យមានលក្ខណៈពិសេសនៃឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិចនិងឧស្ម័នអេឡិចត្រូនិចអាចបណ្តាលឱ្យមានសៀគ្វីខ្លីនិងការខូចខាតសៀគ្វី។ វាអាចនិយាយបានថាការធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនៃភាពបរិសុទ្ធនៃការដើរតួនាទីយ៉ាងសំខាន់ក្នុងទិន្នផលនិងការអនុវត្តនៃការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិច។

ជាមួយនឹងការអភិវឌ្ឍជាបន្តបន្ទាប់នៃឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិកដំណើរការផលិតបន្ទះឈីបនៅតែបន្តធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងហើយឥឡូវនេះវាបានឈានដល់ 5 ម។ ដូច្នេះវាក៏ដាក់ចេញនូវតម្រូវការខ្ពស់សម្រាប់ភាពបរិសុទ្ធនៃឧស្ម័នអេឡិចត្រូនិចដែលផលិតដោយអេឡិចត្រូនិច។