Tungsten Hexafluoride (WF6) ត្រូវបានតំកល់នៅលើផ្ទៃនៃ Wafer តាមរយៈដំណើរការ CVD ដែលបំពេញលេណដ្ឋានទំនាក់ទំនងអន្តរការីនិងបង្កើតអន្តរកម្មដែករវាងស្រទាប់។
ចូរនិយាយអំពីប្លាស្មាដំបូង។ ប្លាស្មាគឺជាទម្រង់មួយនៃបញ្ហាដែលផ្សំឡើងជាចម្បងនៃអេឡិចត្រុងសេរីនិងអ៊ីយ៉ុងដែលមានបន្ទុក។ វាមានយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងសកលលោកហើយត្រូវបានគេចាត់ទុកថាជាស្ថានភាពទី 4 នៃរូបធាតុ។ វាត្រូវបានគេហៅថារដ្ឋប្លាស្មាដែលត្រូវបានគេហៅថា "ប្លាស្មា" ។ ប្លាស្មាមានចរន្តអគ្គិសនីខ្ពស់ហើយមានប្រសិទ្ធិភាពគូស្វាគមន៍យ៉ាងខ្លាំងជាមួយវាលអេឡិចត្រូម៉ាញ៉េទិច។ វាគឺជាឧស្ម័នអ៊ីយ៉ូដមួយផ្នែកដែលផ្សំឡើងដោយអេឡិចត្រុងអ៊ីយ៉ុងរ៉ាឌីកាល់សេរីភាគអព្យាក្រឹតភាគអព្យាក្រឹតនិងពានរង្វាន់។ ប្លាស្មាខ្លួនវាគឺជាល្បាយអព្យាក្រឹតអេឡិចត្រូនិចដែលផ្ទុកនូវភាគល្អិតខាងរាងកាយនិងគីមី។
ការពន្យល់ដោយត្រង់គឺថាស្ថិតនៅក្រោមសកម្មភាពនៃថាមពលខ្ពស់ម៉ូលេគុលនឹងយកឈ្នះកម្លាំងវ៉ាន់ឌឺវ៉ាល, កម្លាំងចំណងគីមីនិងកម្លាំង Coulomb និងបង្ហាញពីទម្រង់នៃថាមពលអគ្គីសនីអព្យាក្រឹតទាំងមូល។ ក្នុងពេលជាមួយគ្នានេះថាមពលខ្ពស់ដែលមានថាមពលដែលបានផ្តល់ឱ្យនៅខាងក្រៅឈ្នះលើកម្លាំងទាំងបីខាងលើ។ មុខងារអេឡិចត្រូនិចនិងអ៊ីយ៉ុងបង្ហាញសភាពសេរីដែលអាចត្រូវបានប្រើដោយសិប្បនិម្មិតក្រោមការម៉ូឌុលនៃដំណើរការអេឡិចត្រូនិកអេឡិចត្រូនិចដំណើរការស៊ីឌីស៊ីឌីអេសអេសអេសអេសអេសអេសអេស។
តើថាមពលខ្ពស់គឺជាអ្វី? តាមទ្រឹស្តីទាំងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់និងមានប្រេកង់ខ្ពស់អាចប្រើបាន។ និយាយជាទូទៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ស្ទើរតែមិនអាចទៅរួចទេក្នុងការសំរេចបាន។ តម្រូវការសីតុណ្ហភាពនេះខ្ពស់ពេកហើយប្រហែលជានៅជិតសីតុណ្ហភាពរបស់ព្រះអាទិត្យ។ វាមិនអាចទៅរួចទេដែលមិនអាចទៅរួចទេក្នុងការសំរេចបាននៅក្នុងដំណើរការនេះ។ ដូច្នេះឧស្សាហកម្មនេះច្រើនតែប្រើប្រេកង់ខ្ពស់ RF ដើម្បីសំរេចវា។ Plasma RF អាចឈានដល់កំរិតខ្ពស់ 13mhz + ។
Tungsten Hexafluoride ត្រូវបានគេធ្វើឱ្យប្លែកនៅក្រោមសកម្មភាពនៃវាលអគ្គិសនីហើយបន្ទាប់មកចំហាយត្រូវបានដាក់ដោយដែនម៉ាញេទិក។ អាតូម W គឺស្រដៀងនឹងស្លាបពពែរដូវរងារហើយធ្លាក់ដល់ដីក្រោមសកម្មភាពទំនាញផែនដី។ យឺត ៗ អាតូម W ត្រូវបានដាក់ចូលក្នុងរន្ធហើយចុងក្រោយបានបំពេញពេញដោយប្រហោងដើម្បីបង្កើតមុខងារអន្តរដែក។ បន្ថែមពីលើការដាក់អាតូម W ក្នុងតាមរយៈរន្ធតាមរយៈរន្ធតើពួកគេនឹងត្រូវបានដាក់នៅលើផ្ទៃនៃ wafer ដែរឬទេ? បាទពិតជាមានមែន។ និយាយជាទូទៅអ្នកអាចប្រើដំណើរការ W-CMP ដែលជាអ្វីដែលយើងហៅថាដំណើរការកិនមេកានិចដើម្បីដកចេញ។ វាស្រដៀងនឹងការប្រើអំបោសក្នុងការបោសកំរាលឥដ្ឋបន្ទាប់ពីមានព្រិលខ្លាំង។ ព្រិលនៅលើដីត្រូវបានបក់ចេញប៉ុន្តែព្រិលនៅក្នុងប្រហោងនៅលើដីនឹងនៅតែមាន។ ធ្លាក់ចុះ, ប្រហែលដូចគ្នា។
ម៉ោងក្រោយ: ធ្នូ -20121
