ទុងស្ទីន ហិចសាហ្វ្លុយអូរីត (WF6) ត្រូវបានដាក់លើផ្ទៃនៃបន្ទះបន្ទះតាមរយៈដំណើរការ CVD ដោយបំពេញលេណដ្ឋានភ្ជាប់លោហៈ និងបង្កើតជាការតភ្ជាប់លោហៈរវាងស្រទាប់នានា។
ចូរយើងនិយាយអំពីប្លាស្មាជាមុនសិន។ ប្លាស្មាគឺជាទម្រង់នៃរូបធាតុដែលផ្សំឡើងជាចម្បងដោយអេឡិចត្រុងសេរី និងអ៊ីយ៉ុងដែលមានបន្ទុក។ វាមានយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងសកលលោក ហើយត្រូវបានចាត់ទុកថាជាស្ថានភាពទីបួននៃរូបធាតុ។ វាត្រូវបានគេហៅថាស្ថានភាពប្លាស្មា ដែលហៅម្យ៉ាងទៀតថា "ប្លាស្មា"។ ប្លាស្មាមានចរន្តអគ្គិសនីខ្ពស់ និងមានឥទ្ធិពលភ្ជាប់ខ្លាំងជាមួយដែនអេឡិចត្រូម៉ាញ៉េទិច។ វាជាឧស្ម័នអ៊ីយ៉ូដដោយផ្នែក ដែលផ្សំឡើងដោយអេឡិចត្រុង អ៊ីយ៉ុង រ៉ាឌីកាល់សេរី ភាគល្អិតអព្យាក្រឹត និងហ្វូតុង។ ប្លាស្មាខ្លួនឯងគឺជាល្បាយអព្យាក្រឹតអគ្គិសនីដែលមានភាគល្អិតសកម្មខាងរូបវន្ត និងគីមី។
ការពន្យល់ដ៏សាមញ្ញមួយគឺថា ក្រោមសកម្មភាពនៃថាមពលខ្ពស់ ម៉ូលេគុលនឹងយកឈ្នះលើកម្លាំងវ៉ាន់ឌឺវ៉ាល់ កម្លាំងចំណងគីមី និងកម្លាំងគូឡុំ ហើយបង្ហាញទម្រង់នៃអគ្គិសនីអព្យាក្រឹតទាំងមូល។ ក្នុងពេលជាមួយគ្នានេះ ថាមពលខ្ពស់ដែលបញ្ចេញដោយខាងក្រៅយកឈ្នះលើកម្លាំងទាំងបីខាងលើ។ មុខងារ អេឡិចត្រុង និងអ៊ីយ៉ុងបង្ហាញស្ថានភាពសេរី ដែលអាចត្រូវបានប្រើប្រាស់ដោយសិប្បនិម្មិតក្រោមការកែប្រែនៃដែនម៉ាញេទិក ដូចជាដំណើរការឆ្លាក់ស៊ីមីកុងដុកទ័រ ដំណើរការ CVD ដំណើរការ PVD និង IMP។
តើថាមពលខ្ពស់ជាអ្វី? តាមទ្រឹស្តី ទាំង RF សីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងប្រេកង់ខ្ពស់អាចត្រូវបានប្រើ។ ជាទូទៅ សីតុណ្ហភាពខ្ពស់ស្ទើរតែមិនអាចសម្រេចបាន។ តម្រូវការសីតុណ្ហភាពនេះគឺខ្ពស់ពេក ហើយអាចជិតនឹងសីតុណ្ហភាពព្រះអាទិត្យ។ វាមិនអាចទៅរួចទេក្នុងការសម្រេចបាននៅក្នុងដំណើរការនេះ។ ដូច្នេះ ឧស្សាហកម្មជាធម្មតាប្រើ RF ប្រេកង់ខ្ពស់ដើម្បីសម្រេចបានវា។ RF ប្លាស្មាអាចឡើងដល់ខ្ពស់ដល់ 13MHz+។
ទុងស្ទីន ហិចសាហ្វ្លុយអូរីត ត្រូវបានប្លាស្មាបង្កើតក្រោមសកម្មភាពនៃដែនអគ្គិសនី ហើយបន្ទាប់មកត្រូវបានបញ្ចេញចំហាយដោយដែនម៉ាញេទិក។ អាតូម W គឺស្រដៀងនឹងរោមពពែរដូវរងា ហើយធ្លាក់មកដីក្រោមសកម្មភាពនៃទំនាញផែនដី។ អាតូម W ត្រូវបានដាក់ចូលទៅក្នុងរន្ធឆ្លងកាត់យឺតៗ ហើយទីបំផុតបានបំពេញរន្ធឆ្លងកាត់ពេញលេញ ដើម្បីបង្កើតជាការតភ្ជាប់លោហៈ។ បន្ថែមពីលើការដាក់អាតូម W នៅក្នុងរន្ធឆ្លងកាត់ តើពួកវាក៏នឹងត្រូវបានដាក់នៅលើផ្ទៃនៃបន្ទះសៀគ្វីដែរឬទេ? បាទ/ចាស៎ ពិតណាស់។ ជាទូទៅ អ្នកអាចប្រើដំណើរការ W-CMP ដែលជាអ្វីដែលយើងហៅថាដំណើរការកិនមេកានិច ដើម្បីយកចេញ។ វាស្រដៀងនឹងការប្រើអំបោសដើម្បីបោសសម្អាតកម្រាលឥដ្ឋបន្ទាប់ពីព្រិលធ្លាក់ខ្លាំង។ ព្រិលនៅលើដីត្រូវបានបោសចេញ ប៉ុន្តែព្រិលនៅក្នុងរន្ធនៅលើដីនឹងនៅតែមាន។ ចុះក្រោម ស្ទើរតែដូចគ្នា។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ២៤ ខែធ្នូ ឆ្នាំ ២០២១
