Tungsten hexafluoride (WF6) ត្រូវបានដាក់នៅលើផ្ទៃនៃ wafer តាមរយៈដំណើរការ CVD បំពេញលេណដ្ឋានទំនាក់ទំនងដែក និងបង្កើតទំនាក់ទំនងរវាងលោហៈរវាងស្រទាប់។
ចូរនិយាយអំពីប្លាស្មាជាមុនសិន។ ប្លាស្មាគឺជាទម្រង់នៃរូបធាតុដែលផ្សំឡើងជាចម្បងដោយអេឡិចត្រុងសេរី និងអ៊ីយ៉ុងសាក។ វាមានយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងសកលលោក ហើយជារឿយៗត្រូវបានចាត់ទុកថាជាស្ថានភាពទីបួននៃរូបធាតុ។ វាត្រូវបានគេហៅថារដ្ឋប្លាស្មា ហៅផងដែរថា "ប្លាស្មា" ។ ប្លាស្មាមានចរន្តអគ្គិសនីខ្ពស់ និងមានឥទ្ធិពលភ្ជាប់យ៉ាងរឹងមាំជាមួយវាលអេឡិចត្រូ។ វាគឺជាឧស្ម័នអ៊ីយ៉ូដដោយផ្នែក ដែលផ្សំឡើងដោយអេឡិចត្រុង អ៊ីយ៉ុង រ៉ាឌីកាល់សេរី ភាគល្អិតអព្យាក្រឹត និងហ្វូតូ។ ប្លាស្មាខ្លួនវាគឺជាល្បាយអព្យាក្រឹតអគ្គិសនីដែលមានភាគល្អិតសកម្មរាងកាយ និងគីមី។
ការពន្យល់ដោយត្រង់គឺថា នៅក្រោមសកម្មភាពនៃថាមពលខ្ពស់ ម៉ូលេគុលនឹងយកឈ្នះកម្លាំង van der Waals កម្លាំងចំណងគីមី និងកម្លាំង Coulomb ហើយបង្ហាញទម្រង់នៃចរន្តអគ្គិសនីអព្យាក្រឹតទាំងមូល។ ក្នុងពេលជាមួយគ្នានោះ ថាមពលខ្ពស់ដែលផ្តល់ដោយខាងក្រៅបានយកឈ្នះលើកម្លាំងទាំងបីខាងលើ។ មុខងារ អេឡិចត្រុង និងអ៊ីយ៉ុងបង្ហាញពីស្ថានភាពសេរី ដែលអាចត្រូវបានប្រើដោយសិប្បនិម្មិតក្រោមការកែប្រែនៃដែនម៉ាញេទិក ដូចជាដំណើរការ etching semiconductor ដំណើរការ CVD ដំណើរការ PVD និង IMP ។
តើថាមពលខ្ពស់គឺជាអ្វី? តាមទ្រឹស្តីទាំងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់និងប្រេកង់ខ្ពស់ RF អាចត្រូវបានប្រើ។ និយាយជាទូទៅ សីតុណ្ហភាពខ្ពស់គឺស្ទើរតែមិនអាចសម្រេចបាន។ តម្រូវការសីតុណ្ហភាពនេះខ្ពស់ពេក ហើយអាចជិតនឹងសីតុណ្ហភាពព្រះអាទិត្យ។ វាមិនអាចទៅរួចទេជាមូលដ្ឋានក្នុងការសម្រេចបាននៅក្នុងដំណើរការនេះ។ ដូច្នេះ ឧស្សាហកម្មនេះជាធម្មតាប្រើ RF ប្រេកង់ខ្ពស់ដើម្បីសម្រេចបាន។ Plasma RF អាចឡើងដល់ 13MHz+។
Tungsten hexafluoride ត្រូវបានប្លាស្មា នៅក្រោមសកម្មភាពនៃវាលអគ្គិសនី ហើយបន្ទាប់មកត្រូវបានបញ្ចូលដោយចំហាយទឹកដោយវាលម៉ាញេទិក។ អាតូម W គឺស្រដៀងទៅនឹងរោមពពែរដូវរងា ហើយធ្លាក់មកដីក្រោមឥទ្ធិពលនៃទំនាញផែនដី។ បន្តិចម្ដងៗ អាតូម W ត្រូវបានដាក់ចូលទៅក្នុងរន្ធតាមរយៈរន្ធ ហើយទីបំផុតបានបំពេញពេញតាមរយៈរន្ធដើម្បីបង្កើតទំនាក់ទំនងរវាងលោហៈ។ បន្ថែមពីលើការដាក់អាតូម W នៅក្នុងរន្ធឆ្លងកាត់ តើពួកវានឹងដាក់លើផ្ទៃ Wafer ដែរឬទេ? បាទ ប្រាកដណាស់ និយាយជាទូទៅអ្នកអាចប្រើដំណើរការ W-CMP ដែលជាអ្វីដែលយើងហៅថាដំណើរការកិនមេកានិចដើម្បីដកចេញ។ វាស្រដៀងនឹងការប្រើអំបោសដើម្បីជូតកម្រាលឥដ្ឋបន្ទាប់ពីមានព្រិលធ្លាក់ខ្លាំង។ ព្រិលនៅលើដីត្រូវបានបក់ទៅឆ្ងាយ ប៉ុន្តែព្រិលនៅរន្ធនៅលើដីនឹងនៅតែមាន។ ចុះក្រោមប្រហែលដូចគ្នា។
ពេលវេលាផ្សាយ៖ ២៤-ធ្នូ-២០២១
