| លក្ខណៈបច្ចេកទេស |
|
|
| ស្ពាន់ធ័រ ហិចសាហ្វ្លុយអូរីត | ≥99.995% | ≥99.999% |
| អុកស៊ីសែន + អាសូត | ≤10ppm | ≤2ppm |
| កាបូនតេត្រាហ្វ្លុយអូរីត | ≤1ppm | ≤0.5ppm |
| ហិចសាហ្វ្លុយអូរ៉ូអេតាន | ≤1ppm | / |
| អូតាហ្វ្លុយអូរ៉ូប្រូផេន | ≤1ppm | ≤1ppm |
| SO2F+SOF2+S2F10O | គ្មាន/ថ្ងៃ | គ្មាន/ថ្ងៃ |
| មេតាន | / | ≤1ppm |
| កាបូនម៉ូណូអុកស៊ីត | / | ≤1ppm |
| កាបូនឌីអុកស៊ីត | / | ≤1ppm |
| សំណើម | ≤2ppm | ≤1ppm |
| ចំណុចទឹកសន្សើម | ≤-៦២ ℃ | ≤-69℃ |
| ជាតិអាស៊ីត (ដូច HF) | ≤0.2ppm | ≤0.1ppm |
| ហ្វ្លុយអូរីតដែលអាចរំលាយបានដោយទឹក (ក្នុងនាមជា F-) | ≤1ppm | ≤0.8ppm |
| ប្រេងរ៉ែ | ≤1ppm | គ្មាន/ថ្ងៃ |
| ជាតិពុល | មិនពុល | មិនពុល |
ស្ពាន់ធ័រហិចសាហ្វ្លុយអូរីត ដែលមានរូបមន្តគីមីគឺ SF6 គឺជាឧស្ម័នដែលមានស្ថេរភាពគ្មានពណ៌ គ្មានក្លិន មិនពុល និងមិនងាយឆេះ។ ស្ពាន់ធ័រហិចសាហ្វ្លុយអូរីត គឺជាឧស្ម័នដែលមានស្ថេរភាពក្រោមសីតុណ្ហភាព និងសម្ពាធធម្មតា ជាមួយនឹងលក្ខណៈសម្បត្តិគីមីដែលមានស្ថេរភាព រលាយបន្តិចក្នុងទឹក អាល់កុល និងអេធើរ រលាយក្នុងប៉ូតាស្យូមអ៊ីដ្រូស៊ីត ហើយមិនមានប្រតិកម្មគីមីជាមួយសូដ្យូមអ៊ីដ្រូស៊ីត អាម៉ូញាក់រាវ និងអាស៊ីតអ៊ីដ្រូក្លរីកទេ។ វាមិនមានប្រតិកម្មជាមួយទង់ដែង ប្រាក់ ជាតិដែក និងអាលុយមីញ៉ូមនៅក្នុងបរិយាកាសស្ងួតក្រោម 300°C។ ក្រោម 500°C វាមិនមានឥទ្ធិពលលើរ៉ែថ្មខៀវទេ។ វាមានប្រតិកម្មជាមួយសូដ្យូមលោហធាតុនៅសីតុណ្ហភាព 250°C ហើយមានប្រតិកម្មជាមួយអាម៉ូញាក់រាវនៅសីតុណ្ហភាព -64°C។ វានឹងរលួយនៅពេលលាយជាមួយអ៊ីដ្រូសែនស៊ុលហ្វីត ហើយកម្តៅ។ នៅសីតុណ្ហភាព 200°C នៅក្នុងវត្តមាននៃលោហធាតុមួយចំនួនដូចជាដែកថែប និងដែកថែបស៊ីលីកុន វាអាចជំរុញការរលួយយឺតរបស់វា។ ស្ពាន់ធ័រ ហិចសាហ្វ្លុយអូរីត គឺជាសម្ភារៈអ៊ីសូឡង់វ៉ុលខ្ពស់ជំនាន់ថ្មី ដែលត្រូវបានគេប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយសម្រាប់អ៊ីសូឡង់ឧស្ម័ននៃគ្រឿងអេឡិចត្រូនិច ឧបករណ៍អគ្គិសនី និងឧបករណ៍នាំរលករ៉ាដា និងជាសម្ភារៈអ៊ីសូឡង់សម្រាប់ឧបករណ៍ពន្លត់ធ្នូ និងឧបករណ៍បំលែងដែលមានសមត្ថភាពធំនៅក្នុងកុងតាក់វ៉ុលខ្ពស់។ គុណសម្បត្តិនៃខ្សែបញ្ជូនបំពង់បង្ហូរឧស្ម័ន SF6 ដែលមានអ៊ីសូឡង់គឺការបាត់បង់ឌីអេឡិចត្រិចទាប សមត្ថភាពបញ្ជូនធំ និងអាចប្រើក្នុងឱកាសធ្លាក់ចុះខ្ពស់។ ឧបករណ៍បំលែងដែលមានអ៊ីសូឡង់ឧស្ម័ន SF6 មានគុណសម្បត្តិនៃការការពារភ្លើង និងការផ្ទុះ។ ស្ពាន់ធ័រ ហិចសាហ្វ្លុយអូរីត មានលក្ខណៈនៃស្ថេរភាពគីមីល្អ និងមិនច្រេះដល់ឧបករណ៍។ វាអាចត្រូវបានប្រើជាសារធាតុត្រជាក់នៅក្នុងឧស្សាហកម្មទូរទឹកកក (សីតុណ្ហភាពប្រតិបត្តិការរវាង -45~0℃)។ ស្ពាន់ធ័រ ហិចសាហ្វ្លុយអូរីត ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ថ្នាក់អេឡិចត្រូនិច គឺជាសារធាតុឆ្លាក់អេឡិចត្រូនិចដ៏ល្អ ដែលត្រូវបានគេប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងវិស័យបច្ចេកវិទ្យាមីក្រូអេឡិចត្រូនិច ជាសារធាតុឆ្លាក់ប្លាស្មា និងសារធាតុសម្អាតក្នុងការផលិតសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នាធំៗ ដូចជាបន្ទះឈីបកុំព្យូទ័រ និងអេក្រង់គ្រីស្តាល់រាវ។ ការប្រុងប្រយ័ត្នក្នុងការផ្ទុក៖ រក្សាទុកក្នុងឃ្លាំងត្រជាក់ និងមានខ្យល់ចេញចូល។ ទុកឱ្យឆ្ងាយពីប្រភពភ្លើង និងកំដៅ។ សីតុណ្ហភាពផ្ទុកមិនគួរលើសពី 30°C ទេ។ វាគួរតែត្រូវបានរក្សាទុកដាច់ដោយឡែកពីវត្ថុងាយឆេះ (ងាយឆេះ) និងសារធាតុអុកស៊ីតកម្ម ហើយជៀសវាងការផ្ទុកចម្រុះ។ កន្លែងផ្ទុកគួរតែត្រូវបានបំពាក់ដោយឧបករណ៍ព្យាបាលការលេចធ្លាយជាបន្ទាន់។
①ឧបករណ៍ផ្ទុកឌីអេឡិចត្រិច៖
SF6 ត្រូវបានគេប្រើនៅក្នុងឧស្សាហកម្មអគ្គិសនីជាឧបករណ៍ឌីអេឡិចត្រិចឧស្ម័នសម្រាប់ឧបករណ៍បំបែកសៀគ្វីវ៉ុលខ្ពស់ ឧបករណ៍ប្តូរ និងឧបករណ៍អគ្គិសនីផ្សេងទៀត ដែលជារឿយៗជំនួសឧបករណ៍បំបែកសៀគ្វីដែលបំពេញដោយប្រេង (OCBs) ដែលអាចមានផ្ទុក PCB ដែលបង្កគ្រោះថ្នាក់។
②ការប្រើប្រាស់ផ្នែកវេជ្ជសាស្ត្រ៖
SF6 ត្រូវបានប្រើដើម្បីផ្តល់ tamponade ឬដោតរន្ធរីទីណាក្នុងប្រតិបត្តិការជួសជុលការផ្ដាច់រីទីណាក្នុងទម្រង់ជាពពុះឧស្ម័ន។
③សមាសធាតុតាមដាន៖
SF6 ត្រូវបានប្រើដើម្បីផ្តល់ tamponade ឬដោតរន្ធរីទីណាក្នុងប្រតិបត្តិការជួសជុលការផ្ដាច់រីទីណាក្នុងទម្រង់ជាពពុះឧស្ម័ន។
| ផលិតផល | ស្ពាន់ធ័រ ហិចសាហ្វ្លុយអូរីត SF6 រាវ | |||
| ទំហំកញ្ចប់ | ស៊ីឡាំង ៤០ លីត្រ | ស៊ីឡាំង ៥០ លីត្រ | ស៊ីឡាំងរាងអក្សរ Y ៤៤០លីត្រ | ស៊ីឡាំង ៥០០ លីត្រ |
| ទម្ងន់សុទ្ធ/ស៊ីឡាំងបំពេញ | ៥០គីឡូក្រាម | ៦០គីឡូក្រាម | ៥០០គីឡូក្រាម | ៦២៥ គីឡូក្រាម |
| បរិមាណផ្ទុកក្នុងកុងតឺន័រ 20' | ២៤០ ស៊ីឡាំង | ២០០ ស៊ីឡាំង | ៦ ស៊ីឡាំង | ៩ ស៊ីឡាំង |
| ទម្ងន់សុទ្ធសរុប | ១០ តោន | ១២ តោន | ៣ តោន | ៥.៦ តោន |
| ទម្ងន់ស៊ីឡាំង | ៥០គីឡូក្រាម | ៥៥គីឡូក្រាម | ៦៨០ គីឡូក្រាម | ៨៨៧គីឡូក្រាម |
| វ៉ាល់ | QF-2C / CGA590 | DISS716 | ||
①ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ សម្ភារៈទំនើបបំផុត;
② ក្រុមហ៊ុនផលិតវិញ្ញាបនបត្រ ISO;
③ការដឹកជញ្ជូនលឿន;
④វត្ថុធាតុដើមដែលមានស្ថេរភាពពីការផ្គត់ផ្គង់ខាងក្នុង;
⑤ប្រព័ន្ធវិភាគតាមអ៊ីនធឺណិតសម្រាប់ការគ្រប់គ្រងគុណភាពនៅគ្រប់ជំហាន។
⑥តម្រូវការខ្ពស់ និងដំណើរការយ៉ាងល្អិតល្អន់សម្រាប់ការដោះស្រាយស៊ីឡាំងមុនពេលបំពេញ;