ឧស្ម័នភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់បំផុត (UHP) គឺជាអាយុកាលនៃឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិច។ តាមតម្រូវការដែលមិនធ្លាប់មានពីមុនមកនិងការរំខានដល់ច្រវាក់ផ្គត់ផ្គង់ពិភពលោកជំរុញឱ្យតម្លៃឧស្ម័នសម្ពាធខ្ពស់បំផុតការរចនាម៉ូដអេឡិចត្រូនិកនិងការផលិតថ្មីកំពុងបង្កើនកម្រិតនៃការត្រួតពិនិត្យការបំពុលបរិស្ថានដែលត្រូវការ។ សម្រាប់ក្រុមហ៊ុនផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកដែលអាចធានាបាននូវភាពបរិសុទ្ធនៃឧស្ម័ន UHP គឺសំខាន់ជាងពេលណាទាំងអស់។

ឧស្ម័នភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់បំផុត (UHP) ពិតជាមានសារៈសំខាន់ណាស់នៅក្នុងការផលិតឧបករណ៍ផលិតឧបករណ៍ទំនើប

កម្មវិធីសំខាន់មួយនៃឧស្ម័ន UHP គឺមាននិទានកថា: ឧស្ម័ន UHP ត្រូវបានប្រើដើម្បីផ្តល់នូវបរិយាកាសការពារនៅជុំវិញសមាសធាតុអេឡិចត្រូនិកដោយហេតុនេះការពារពួកគេពីផលប៉ះពាល់នៃសំណើមអុកស៊ីសែននិងភាពកខ្វក់ផ្សេងទៀតនៅក្នុងបរិយាកាស។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយវត្ថុបំណងគ្រាន់តែជាមុខងារមួយក្នុងចំណោមមុខងារផ្សេងៗគ្នាជាច្រើនដែលឧស្ម័នដំណើរការនៅក្នុងឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិក។ ចាប់ពីឧស្ម័នបឋមបឋមដើម្បីធ្វើឱ្យឧស្ម័នមានប្រតិកម្មដែលត្រូវបានប្រើក្នុងការបង្រួមនិង Annealing, ឧស្ម័នសម្ពាធខ្ពស់បំផុតត្រូវបានប្រើសម្រាប់គោលបំណងផ្សេងៗគ្នាជាច្រើនហើយចាំបាច់នៅទូទាំងខ្សែសង្វាក់ផ្គត់ផ្គង់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក។

ឧស្ម័ន "ស្នូល" មួយចំនួននៅក្នុងឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិចរួមមានអាសូត(ត្រូវបានប្រើជាការសំអាតទូទៅនិងឧស្ម័នអសកម្ម),អាបិច(ត្រូវបានប្រើជាឧស្ម័នប្លាស្មាចម្បងក្នុងប្រតិកម្ម eetching និងប្រាក់បញ្ញើ),អេលីយ៉ូម(ត្រូវបានប្រើជាឧស្ម័នអសកម្មដែលមានលក្ខណៈសម្បត្តិផ្ទេរកំដៅពិសេស) និងអ៊ីដ្រូដនី(ដើរតួឱ្យមានតួនាទីជាច្រើនក្នុងអាណ្ណាយការប្រាក់បញ្ញើ, epitaxy និងការសម្អាតប្លាស្មា) ។

នៅពេលបច្ចេកវិទ្យាអេឡិចត្រូនិចបានវិវត្តបានវិវត្តហើយផ្លាស់ប្តូរដូច្នេះមានឧស្ម័នដែលត្រូវបានប្រើក្នុងដំណើរការផលិតកម្ម។ សព្វថ្ងៃនេះរោងចក្រផលិតគ្រឿងអេឡិចត្រូនិកប្រើឧស្ម័នយ៉ាងទូលំទូលាយពីឧស្ម័នអភិជនដូចជាKryptonនិងយ៉ករចំពោះប្រភេទសត្វដែលមានសកម្មភាពដូចជាអាសូត triffluoride (NF 3) និង Tungsten Hexafloride (WF 6) ។

ការលូតលាស់នៃតម្រូវការសម្រាប់ភាពបរិសុទ្ធ

ចាប់តាំងពីការបង្កើតធនាគារមីក្រូហិរញ្ញវត្ថុពាណិជ្ជកម្មលើកដំបូងពិភពលោកបានឃើញការកើនឡើងគួរឱ្យភ្ញាក់ផ្អើលដែលមិនសូវមានភាពស្វាហាប់នៃការអនុវត្តនៃឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិច។ ក្នុងរយៈពេល 5 ឆ្នាំកន្លងមកនេះមួយនៃវិធីមួយក្នុងចំណោមវិធីដែលប្រាកដអំពីវិធីដែលទទួលបានការកែលម្អប្រភេទនេះគឺតាមរយៈ "ការធ្វើមាត្រដ្ឋានទំហំ" ។ បន្ថែមលើនេះការអភិវឌ្ឍស្ថាបត្យកម្មឈីបថ្មីនិងការប្រើប្រាស់សំភារៈដែលមានគែមបានផលិតចូលក្នុងដំណើរការឧបករណ៍។

សព្វថ្ងៃនេះវិមាត្រដ៏សំខាន់នៃឧបករណ៍កាត់ឧបករណ៍កាត់មានទំហំតូចណាស់ដែលការធ្វើមាត្រដ្ឋានទំហំលែងជាមធ្យោបាយដែលអាចសម្រេចបានទៀតដើម្បីកែលម្អការអនុវត្តឧបករណ៍។ ផ្ទុយទៅវិញអ្នកស្រាវជ្រាវអេឡិកទ័រកំពុងស្វែងរកដំណោះស្រាយជាទម្រង់នៃសំភារៈប្រលោមលោកនិងស្ថាបត្យកម្មឈីប 3D ។

ទសវត្សនៃការរុករកភាពឧស្សាហ៍ព្យាយាមមានន័យថាឧបករណ៍អេឡិចត្រូនម៉័រសរបស់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកសព្វថ្ងៃមានឥទ្ធិពលខ្លាំងជាងមីក្រូហ្សាញរបស់ចាស់ប៉ុន្តែវាក៏មានភាពផុយស្រួយផងដែរ។ ការមកដល់នៃការធ្វើប្រឌិត Wastication ទំហំប្រវែង 300 ម។ មបានបង្កើនកម្រិតនៃការត្រួតពិនិត្យភាពមិនបរិសុទ្ធដែលត្រូវការសម្រាប់ផលិតកម្មឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក។ សូម្បីតែការចម្លងរោគបន្តិចបន្តួចក្នុងដំណើរការផលិតកម្ម (ជាពិសេសឧស្ម័នកម្រឬអសកម្ម) អាចនាំឱ្យមានការបរាជ័យឧបករណ៍មហន្តរាយ - ដូច្នេះភាពបរិសុទ្ធឧស្ម័នឥឡូវនេះសំខាន់ជាងពេលណាទាំងអស់។

សម្រាប់ការប្រឌិតអេឡិចត្រូនិកធម្មតាឧស្ម័នភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់បំផុតគឺជាការចំណាយដ៏ធំបំផុតរួចទៅហើយបន្ទាប់ពីស៊ីលីខនដោយខ្លួនឯង។ ការចំណាយទាំងនេះត្រូវបានគេរំពឹងថានឹងកើនឡើងនៅពេលដែលតម្រូវការរបស់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកឡើងដល់កម្ពស់ថ្មី។ ព្រឹត្តិការណ៍នានានៅអឺរ៉ុបបានបណ្តាលឱ្យមានការរំខានបន្ថែមទៀតដល់ទីផ្សារឧស្ម័នធម្មជាតិខ្ពស់បំផុត។ អ៊ុយក្រែនគឺជាអ្នកនាំចេញដ៏ធំមួយរបស់ពិភពលោកដែលមានភាពបរិសុទ្ធធំជាងគេបំផុតនៅលើពិភពលោកយ៉ករសញ្ញា; ការឈ្លានពានរបស់រុស្ស៊ីមានន័យថាការផ្គត់ផ្គង់ហ្គាសដ៏កម្រកំពុងត្រូវបានរារាំង។ នេះជាលទ្ធផលបាននាំឱ្យមានការខ្វះខាតនិងតម្លៃឧស្ម័នដ៏ថ្លៃថ្នូផ្សេងទៀតដូចជាKryptonនិងxenon.