ឧស្ម័ន​ភាពបរិសុទ្ធ​ខ្ពស់​បំផុត (UHP) គឺជា​សរសៃឈាម​ជីវិត​នៃឧស្សាហកម្ម​ស៊ីមីកុងដុកទ័រ។ ដោយសារ​តម្រូវការ​មិនធ្លាប់មានពីមុនមក និងការរំខានដល់ខ្សែសង្វាក់ផ្គត់ផ្គង់សកល​ជំរុញ​ឱ្យ​តម្លៃ​ឧស្ម័ន​សម្ពាធ​ខ្ពស់​បំផុត​កើនឡើង ការរចនា និងការអនុវត្តផលិតកម្មស៊ីមីកុងដុកទ័រថ្មីកំពុងបង្កើនកម្រិតនៃការគ្រប់គ្រងការបំពុលដែលត្រូវការ។ សម្រាប់ក្រុមហ៊ុនផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រ ការអាចធានាបាននូវភាពបរិសុទ្ធនៃឧស្ម័ន UHP គឺមានសារៈសំខាន់ជាងពេលណាៗទាំងអស់។

ឧស្ម័ន​បរិសុទ្ធ​ខ្ពស់​បំផុត (UHP) គឺ​មាន​សារៈសំខាន់​បំផុត​ក្នុង​ការ​ផលិត​ឧបករណ៍​អេឡិចត្រូនិក​ទំនើប

កម្មវិធីសំខាន់មួយនៃឧស្ម័ន UHP គឺការធ្វើអសកម្ម៖ ឧស្ម័ន UHP ត្រូវបានប្រើដើម្បីផ្តល់បរិយាកាសការពារជុំវិញសមាសធាតុស៊ីមីកុងដុកទ័រ ដោយហេតុនេះការពារពួកវាពីផលប៉ះពាល់ដែលបង្កគ្រោះថ្នាក់នៃសំណើម អុកស៊ីសែន និងសារធាតុបំពុលផ្សេងទៀតនៅក្នុងបរិយាកាស។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ ការធ្វើអសកម្មគឺគ្រាន់តែជាមុខងារមួយក្នុងចំណោមមុខងារផ្សេងៗគ្នាជាច្រើនដែលឧស្ម័នអនុវត្តនៅក្នុងឧស្សាហកម្មស៊ីមីកុងដុកទ័រ។ ចាប់ពីឧស្ម័នប្លាស្មាបឋមរហូតដល់ឧស្ម័នដែលមានប្រតិកម្មដែលប្រើក្នុងការឆ្លាក់ និងការដុត ឧស្ម័នសម្ពាធខ្ពស់ខ្លាំងត្រូវបានប្រើប្រាស់សម្រាប់គោលបំណងផ្សេងៗគ្នាជាច្រើន និងមានសារៈសំខាន់នៅទូទាំងខ្សែសង្វាក់ផ្គត់ផ្គង់ស៊ីមីកុងដុកទ័រ។

ឧស្ម័ន "ស្នូល" មួយចំនួននៅក្នុងឧស្សាហកម្មស៊ីមីកុងដុកទ័ររួមមានអាសូត(ប្រើជាសារធាតុសម្អាតទូទៅ និងជាឧស្ម័នអសកម្ម)អាហ្គុង(ប្រើជាឧស្ម័នប្លាស្មាបឋមក្នុងប្រតិកម្មឆ្លាក់ និងដាក់លោហៈ)ហេលីយ៉ូម(ប្រើជាឧស្ម័នអសកម្មដែលមានលក្ខណៈសម្បត្តិផ្ទេរកំដៅពិសេស) និងអ៊ីដ្រូសែន(ដើរតួនាទីច្រើនយ៉ាងក្នុងការដុត ការដាក់លោហៈធាតុ ការបញ្ចេញឧស្ម័ន និងការសម្អាតប្លាស្មា)។

ដោយសារបច្ចេកវិទ្យាស៊ីមីកុងដុកទ័របានវិវត្ត និងផ្លាស់ប្តូរ ឧស្ម័នដែលប្រើប្រាស់ក្នុងដំណើរការផលិតក៏ដូចគ្នាដែរ។ សព្វថ្ងៃនេះ រោងចក្រផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រប្រើប្រាស់ឧស្ម័នជាច្រើនប្រភេទ ចាប់ពីឧស្ម័នដ៏ថ្លៃថ្នូដូចជាគ្រីបតុននិងណេអុងចំពោះ​ប្រភេទ​សារធាតុ​ដែល​មាន​ប្រតិកម្ម​ដូចជា​អាសូត​ទ្រី​ហ្វ្លុយអូរីត (NF 3) និង​ទុង​ស្ទីន​ហិចសា​ហ្វ្លុយអូរីត (WF 6)។

តម្រូវការកើនឡើងសម្រាប់ភាពបរិសុទ្ធ

ចាប់តាំងពីការបង្កើតមីក្រូឈីបពាណិជ្ជកម្មដំបូងគេមក ពិភពលោកបានឃើញការកើនឡើងគួរឱ្យភ្ញាក់ផ្អើលស្ទើរតែភ្លាមៗនៃដំណើរការនៃឧបករណ៍ស៊ីមីកុងដុកទ័រ។ ក្នុងរយៈពេលប្រាំឆ្នាំកន្លងមកនេះ មធ្យោបាយមួយក្នុងចំណោមមធ្យោបាយប្រាកដបំផុតដើម្បីសម្រេចបាននូវការកែលម្អដំណើរការប្រភេទនេះគឺតាមរយៈ "ការធ្វើមាត្រដ្ឋានទំហំ"៖ ការកាត់បន្ថយវិមាត្រសំខាន់ៗនៃស្ថាបត្យកម្មបន្ទះឈីបដែលមានស្រាប់ ដើម្បីច្របាច់ត្រង់ស៊ីស្ទ័របន្ថែមទៀតទៅក្នុងចន្លោះដែលបានផ្តល់ឱ្យ។ បន្ថែមពីលើនេះ ការអភិវឌ្ឍស្ថាបត្យកម្មបន្ទះឈីបថ្មី និងការប្រើប្រាស់វត្ថុធាតុដើមទំនើបៗបានបង្កើតការលោតផ្លោះក្នុងដំណើរការឧបករណ៍។

សព្វថ្ងៃនេះ វិមាត្រសំខាន់ៗនៃបន្ទះឈីបស៊ីមីកុងដុកទ័រទំនើបៗឥឡូវនេះមានទំហំតូចណាស់ ដែលការធ្វើមាត្រដ្ឋានទំហំលែងជាមធ្យោបាយដ៏មានប្រសិទ្ធភាពក្នុងការកែលម្អដំណើរការឧបករណ៍ទៀតហើយ។ ផ្ទុយទៅវិញ អ្នកស្រាវជ្រាវបន្ទះឈីបស៊ីមីកុងដុកទ័រកំពុងស្វែងរកដំណោះស្រាយក្នុងទម្រង់ជាសម្ភារៈថ្មី និងស្ថាបត្យកម្មបន្ទះឈីប 3D។

ការរចនាឡើងវិញដោយមិនចេះនឿយហត់រាប់ទសវត្សរ៍មានន័យថាឧបករណ៍ស៊ីមីកុងដុកទ័រសព្វថ្ងៃនេះមានថាមពលខ្លាំងជាងមីក្រូឈីបចាស់ៗ — ប៉ុន្តែវាក៏ផុយស្រួយជាងដែរ។ ការមកដល់នៃបច្ចេកវិទ្យាផលិតបន្ទះសៀគ្វី wafer ទំហំ 300 មីលីម៉ែត្របានបង្កើនកម្រិតនៃការគ្រប់គ្រងភាពមិនបរិសុទ្ធដែលត្រូវការសម្រាប់ការផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រ។ សូម្បីតែការបំពុលតិចតួចបំផុតនៅក្នុងដំណើរការផលិត (ជាពិសេសឧស្ម័នកម្រ ឬឧស្ម័នអសកម្ម) អាចនាំឱ្យមានការខូចខាតឧបករណ៍យ៉ាងធ្ងន់ធ្ងរ — ដូច្នេះភាពបរិសុទ្ធនៃឧស្ម័នឥឡូវនេះមានសារៈសំខាន់ជាងពេលណាៗទាំងអស់។

សម្រាប់រោងចក្រផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រធម្មតា ឧស្ម័នដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ខ្លាំងគឺជាការចំណាយលើសម្ភារៈធំបំផុតរួចទៅហើយបន្ទាប់ពីស៊ីលីកុនខ្លួនឯង។ ការចំណាយទាំងនេះត្រូវបានគេរំពឹងថានឹងកើនឡើងនៅពេលដែលតម្រូវការសម្រាប់ស៊ីមីកុងដុកទ័រកើនឡើងដល់កម្រិតថ្មី។ ព្រឹត្តិការណ៍នៅអឺរ៉ុបបានបង្កឱ្យមានការរំខានបន្ថែមដល់ទីផ្សារឧស្ម័នធម្មជាតិសម្ពាធខ្ពស់ខ្លាំង។ អ៊ុយក្រែនគឺជាប្រទេសនាំចេញឧស្ម័នដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ធំជាងគេបំផុតមួយរបស់ពិភពលោក។ណេអុងសញ្ញាណ; ការឈ្លានពានរបស់រុស្ស៊ីមានន័យថាការផ្គត់ផ្គង់ឧស្ម័នដ៏កម្រកំពុងត្រូវបានរឹតត្បិត។ នេះបាននាំឱ្យមានការខ្វះខាត និងតម្លៃខ្ពស់នៃឧស្ម័នដ៏ថ្លៃថ្នូផ្សេងទៀតដូចជាគ្រីបតុននិងសេណុន.