ឧស្ម័ន​ដែល​មាន​ភាព​បរិសុទ្ធ​ខ្ពស់ (UHP) គឺ​ជា​ឈាម​ជីវិត​នៃ​ឧស្សាហកម្ម​គ្រឿង​អេឡិចត្រូនិក។ដោយសារតម្រូវការដែលមិនធ្លាប់មានពីមុនមក និងការរំខានដល់ខ្សែសង្វាក់ផ្គត់ផ្គង់សកលជំរុញឱ្យតម្លៃឧស្ម័នសម្ពាធខ្ពស់ខ្លាំង ការរចនា និងការអនុវត្តផលិតកម្មថ្មីកំពុងបង្កើនកម្រិតនៃការគ្រប់គ្រងការបំពុលដែលត្រូវការ។សម្រាប់ក្រុមហ៊ុនផលិត semiconductor ការដែលអាចធានាបាននូវភាពបរិសុទ្ធនៃឧស្ម័ន UHP គឺមានសារៈសំខាន់ជាងពេលណាទាំងអស់។

ឧស្ម័ន​ដែល​មាន​ភាព​បរិសុទ្ធ​ខ្ពស់ (UHP) ពិត​ជា​មាន​សារៈសំខាន់​ខ្លាំង​ណាស់​ក្នុង​ការ​ផលិត Semiconductor ទំនើប

កម្មវិធីសំខាន់មួយនៃឧស្ម័ន UHP គឺ inertization: ឧស្ម័ន UHP ត្រូវបានប្រើដើម្បីផ្តល់បរិយាកាសការពារជុំវិញសមាសធាតុ semiconductor ដោយហេតុនេះការពារពួកគេពីផលប៉ះពាល់ដ៏គ្រោះថ្នាក់នៃសំណើម អុកស៊ីសែន និងសារធាតុកខ្វក់ផ្សេងទៀតនៅក្នុងបរិយាកាស។ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ និចលភាពគឺគ្រាន់តែជាមុខងារមួយក្នុងចំនោមមុខងារផ្សេងៗគ្នាជាច្រើនដែលឧស្ម័នអនុវត្តនៅក្នុងឧស្សាហកម្ម semiconductor ។ពីឧស្ម័នប្លាស្មាបឋម ដល់ឧស្ម័នប្រតិកម្មដែលប្រើក្នុងការច្រូតកាត់ និងបន្ទោរបង់ ឧស្ម័នសម្ពាធខ្ពស់ជ្រុលត្រូវបានប្រើសម្រាប់គោលបំណងផ្សេងៗជាច្រើន ហើយមានសារៈសំខាន់ពេញមួយខ្សែសង្វាក់ផ្គត់ផ្គង់ semiconductor ។

ឧស្ម័ន "ស្នូល" មួយចំនួននៅក្នុងឧស្សាហកម្ម semiconductor រួមមានអាសូត(ប្រើជាការសម្អាតទូទៅ និងឧស្ម័នអសកម្ម)argon(ប្រើជាឧស្ម័នប្លាស្មាបឋមក្នុងប្រតិកម្ម etching and deposition)អេលីយ៉ូម(ប្រើជាឧស្ម័នអសកម្មដែលមានលក្ខណៈសម្បត្តិផ្ទេរកំដៅពិសេស) និងអ៊ីដ្រូសែន(ដើរតួនាទីជាច្រើនក្នុងការ annealing, deposition, epitaxy និង plasma cleaning)។

ដោយសារបច្ចេកវិទ្យា semiconductor បានវិវត្ត និងផ្លាស់ប្តូរ ដូច្នេះត្រូវប្រើឧស្ម័នក្នុងដំណើរការផលិត។សព្វថ្ងៃនេះ រោងចក្រផលិត semiconductor ប្រើប្រាស់ឧស្ម័នជាច្រើនប្រភេទ ពីឧស្ម័នដ៏ថ្លៃថ្នូដូចជាគ្រីបតុននិងអ៊ីយូតាចំពោះប្រភេទសត្វដែលមានប្រតិកម្មដូចជា អាសូត ទ្រីហ្វ្លុយអូរី (NF 3) និង តង់ស្តែន ហេកហ្វ្លុយអូរី (WF 6) ។

ការកើនឡើងតម្រូវការនៃភាពបរិសុទ្ធ

ចាប់តាំងពីការបង្កើត microchip ពាណិជ្ជកម្មដំបូងមក ពិភពលោកបានឃើញនូវការកើនឡើងជិតនិទស្សន្តដ៏គួរឱ្យភ្ញាក់ផ្អើលនៅក្នុងដំណើរការនៃឧបករណ៍ semiconductor ។ក្នុងរយៈពេល 5 ឆ្នាំកន្លងមកនេះ វិធីមួយក្នុងចំណោមវិធីប្រាកដបំផុតក្នុងការសម្រេចបាននូវការធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវការអនុវត្តប្រភេទនេះគឺតាមរយៈ "ការធ្វើមាត្រដ្ឋានទំហំ"៖ កាត់បន្ថយទំហំសំខាន់ៗនៃស្ថាបត្យកម្មបន្ទះឈីបដែលមានស្រាប់ ដើម្បីច្របាច់ត្រង់ស៊ីស្ទ័រកាន់តែច្រើនទៅក្នុងចន្លោះដែលបានផ្តល់ឱ្យ។បន្ថែមពីលើនេះ ការអភិវឌ្ឍន៍នៃស្ថាបត្យកម្មបន្ទះឈីបថ្មី និងការប្រើប្រាស់សម្ភារៈទំនើបៗបានធ្វើឱ្យដំណើរការឧបករណ៍មានភាពលោតផ្លោះ។

សព្វថ្ងៃនេះ វិមាត្រសំខាន់នៃ semiconductors ទំនើបគឺមានទំហំតូចដូច្នេះ ការធ្វើមាត្រដ្ឋានទំហំមិនមែនជាមធ្យោបាយដែលអាចសម្រេចបានក្នុងការកែលម្អដំណើរការឧបករណ៍ទៀតទេ។ផ្ទុយទៅវិញ អ្នកស្រាវជ្រាវ semiconductor កំពុងស្វែងរកដំណោះស្រាយក្នុងទម្រង់នៃសម្ភារៈប្រលោមលោក និងស្ថាបត្យកម្មបន្ទះឈីប 3D។

ជាច្រើនទស្សវត្សរ៍នៃការរចនាឡើងវិញដោយមិនចេះនឿយហត់មានន័យថាឧបករណ៍ semiconductor នាពេលបច្ចុប្បន្ននេះមានថាមពលខ្លាំងជាងមីក្រូឈីបពីបុរាណទៅទៀត ប៉ុន្តែពួកវាក៏មានភាពផុយស្រួយជាងផងដែរ។ការមកដល់នៃបច្ចេកវិទ្យានៃការផលិត wafer 300mm បានបង្កើនកម្រិតនៃការត្រួតពិនិត្យភាពមិនបរិសុទ្ធដែលត្រូវការសម្រាប់ការផលិត semiconductor ។សូម្បីតែការចម្លងរោគតិចតួចបំផុតនៅក្នុងដំណើរការផលិត (ជាពិសេសឧស្ម័នកម្រ ឬអសកម្ម) អាចនាំឱ្យមានការបរាជ័យឧបករណ៍មហន្តរាយ - ដូច្នេះភាពបរិសុទ្ធនៃឧស្ម័នឥឡូវនេះមានសារៈសំខាន់ជាងពេលណាទាំងអស់។

សម្រាប់រោងចក្រផលិត semiconductor ធម្មតា ឧស្ម័នដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់គឺជាការចំណាយសម្ភារៈដ៏ធំបំផុតបន្ទាប់ពីស៊ីលីកុនខ្លួនឯង។ការចំណាយទាំងនេះត្រូវបានរំពឹងថានឹងកើនឡើងនៅពេលដែលតម្រូវការសម្រាប់ semiconductors កើនឡើងដល់កម្ពស់ថ្មី។ព្រឹត្តិការណ៍នៅអឺរ៉ុបបានបង្កឱ្យមានការរំខានបន្ថែមដល់ទីផ្សារឧស្ម័នធម្មជាតិសម្ពាធខ្ពស់ជ្រុល។អ៊ុយក្រែន​ជា​ប្រទេស​នាំ​ចេញ​ផលិតផល​បរិសុទ្ធ​ដ៏​ធំ​បំផុត​មួយ​របស់​ពិភពលោកអ៊ីយូតាសញ្ញា;ការលុកលុយរបស់រុស្ស៊ីមានន័យថាការផ្គត់ផ្គង់ឧស្ម័នដ៏កម្រកំពុងត្រូវបានរារាំង។នេះនាំឱ្យមានការខ្វះខាត និងតម្លៃខ្ពស់នៃឧស្ម័នដ៏ថ្លៃថ្នូផ្សេងទៀតដូចជាគ្រីបតុននិងxenon.