ឧស្សាហកម្មស៊ីមីកុងដុកទ័រ និងឧស្សាហកម្មបន្ទះរបស់ប្រទេសយើងរក្សាបាននូវកម្រិតវិបុលភាពខ្ពស់។ អាសូតទ្រីហ្វ្លុយអូរីត ជាឧស្ម័នអេឡិចត្រូនិកពិសេសដែលមិនអាចខ្វះបាន និងមានបរិមាណច្រើនបំផុតក្នុងការផលិត និងកែច្នៃបន្ទះ និងស៊ីមីកុងដុកទ័រ មានទីផ្សារទូលំទូលាយ។
ឧស្ម័នអេឡិចត្រូនិចពិសេសដែលមានផ្ទុកហ្វ្លុយអូរីនដែលត្រូវបានគេប្រើជាទូទៅរួមមានស្ពាន់ធ័រ ហិចសាហ្វ្លុយអូរីត (SF6)tungsten hexafluoride (WF6),កាបូនតេត្រាហ្វ្លុយអូរីត (CF4), ទ្រីហ្វ្លុយអូរីយ៉ូមេតាន (CHF3), ទ្រីហ្វ្លុយអូរីយ៉ូអាសូត (NF3), ហិចសាហ្វ្លុយអូរីយ៉ូអេតាន (C2F6) និង អូតាហ្វ្លុយអូរីយ៉ូប្រូផេន (C3F8)។ ទ្រីហ្វ្លុយអូរីយ៉ូអាសូត (NF3) ភាគច្រើនត្រូវបានប្រើជាប្រភពហ្វ្លុយអូរីនសម្រាប់ឡាស៊ែរគីមីថាមពលខ្ពស់អ៊ីដ្រូសែនហ្វ្លុយអូរីត-ឧស្ម័នហ្វ្លុយអូរីត។ ផ្នែកដែលមានប្រសិទ្ធភាព (ប្រហែល 25%) នៃថាមពលប្រតិកម្មរវាង H2-O2 និង F2 អាចត្រូវបានបញ្ចេញដោយវិទ្យុសកម្មឡាស៊ែរ ដូច្នេះឡាស៊ែរ HF-OF គឺជាឡាស៊ែរដែលមានជោគជ័យបំផុតក្នុងចំណោមឡាស៊ែរគីមី។
អាសូត ទ្រីហ្វ្លុយអូរីត គឺជាឧស្ម័នឆ្លាក់ប្លាស្មាដ៏ល្អឥតខ្ចោះនៅក្នុងឧស្សាហកម្មមីក្រូអេឡិចត្រូនិច។ សម្រាប់ការឆ្លាក់ស៊ីលីកុន និងស៊ីលីកុននីទ្រីត អាសូត ទ្រីហ្វ្លុយអូរីត មានអត្រាឆ្លាក់ និងការជ្រើសរើសខ្ពស់ជាងកាបូនតេត្រាហ្វ្លុយអូរីត និងល្បាយនៃកាបូនតេត្រាហ្វ្លុយអូរីត និងអុកស៊ីសែន ហើយមិនមានការបំពុលដល់ផ្ទៃឡើយ។ ជាពិសេសនៅក្នុងការឆ្លាក់សម្ភារៈសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នាដែលមានកម្រាស់តិចជាង 1.5 មីក្រូម អាសូត ទ្រីហ្វ្លុយអូរីត មានអត្រាឆ្លាក់ និងការជ្រើសរើសដ៏ល្អឥតខ្ចោះ ដោយមិនបន្សល់ទុកសំណល់នៅលើផ្ទៃនៃវត្ថុឆ្លាក់ ហើយក៏ជាសារធាតុសម្អាតដ៏ល្អផងដែរ។ ជាមួយនឹងការអភិវឌ្ឍបច្ចេកវិទ្យាណាណូ និងការអភិវឌ្ឍទ្រង់ទ្រាយធំនៃឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិច តម្រូវការរបស់វានឹងកើនឡើងជារៀងរាល់ថ្ងៃ។
ក្នុងនាមជាប្រភេទឧស្ម័នពិសេសដែលមានផ្ទុកហ្វ្លុយអូរីន អាសូតទ្រីហ្វ្លុយអូរីត (NF3) គឺជាផលិតផលឧស្ម័នពិសេសអេឡិចត្រូនិចដ៏ធំបំផុតនៅលើទីផ្សារ។ វាមានលក្ខណៈអសកម្មខាងគីមីនៅសីតុណ្ហភាពបន្ទប់ សកម្មជាងអុកស៊ីសែន មានស្ថេរភាពជាងហ្វ្លុយអូរីន និងងាយស្រួលដោះស្រាយនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។
អាសូត ទ្រីហ្វ្លុយអូរីត ភាគច្រើនត្រូវបានគេប្រើជាឧស្ម័នឆ្លាក់ប្លាស្មា និងជាសារធាតុសម្អាតបន្ទប់ប្រតិកម្ម ដែលសមរម្យសម្រាប់វិស័យផលិតកម្មដូចជា បន្ទះឈីបស៊ីមីកុងដុកទ័រ អេក្រង់បន្ទះសំប៉ែត ខ្សែកាបអុបទិក កោសិកា photovoltaic ជាដើម។
បើប្រៀបធៀបជាមួយឧស្ម័នអេឡិចត្រូនិចដែលមានផ្ទុកហ្វ្លុយអូរីនផ្សេងទៀត អាសូតទ្រីហ្វ្លុយអូរីតមានគុណសម្បត្តិនៃប្រតិកម្មរហ័ស និងប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់ ជាពិសេសក្នុងការឆ្លាក់វត្ថុធាតុដែលមានផ្ទុកស៊ីលីកុនដូចជាស៊ីលីកុននីទ្រីត វាមានអត្រាឆ្លាក់ និងការជ្រើសរើសខ្ពស់ ដោយមិនបន្សល់ទុកសំណល់នៅលើផ្ទៃនៃវត្ថុឆ្លាក់ ហើយក៏ជាសារធាតុសម្អាតដ៏ល្អផងដែរ ហើយវាមិនបំពុលដល់ផ្ទៃ និងអាចបំពេញតម្រូវការនៃដំណើរការកែច្នៃ។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ២៦ ខែធ្នូ ឆ្នាំ ២០២៤
