ឧស្ម័នអេឡិចត្រូនិចពិសេសដែលមានផ្ទុកហ្វ្លុយអូរីនទូទៅរួមមានស្ពាន់ធ័រ hexafluoride (SF6)tungsten hexafluoride (WF6),កាបូន tetrafluoride (CF4), trifluoromethane (CHF3), អាសូត trifluoride (NF3), hexafluoroethane (C2F6) និង octafluoropropane (C3F8) ។
ជាមួយនឹងការអភិវឌ្ឍន៍នៃបច្ចេកវិទ្យាណាណូ និងការអភិវឌ្ឍន៍ទ្រង់ទ្រាយធំនៃឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិច តម្រូវការរបស់វានឹងកើនឡើងពីមួយថ្ងៃទៅមួយថ្ងៃ។ អាសូត ទ្រីហ្វ្លុយអូរី ជាឧស្ម័នអេឡិចត្រូនិចពិសេសដែលមិនអាចខ្វះបាន និងប្រើប្រាស់ធំជាងគេបំផុតក្នុងការផលិត និងដំណើរការបន្ទះ និងសារធាតុ semiconductors មានទីផ្សារធំទូលាយ។
ជាប្រភេទឧស្ម័នពិសេសដែលមានហ្វ្លុយអូរីន។អាសូត trifluoride (NF3)គឺជាផលិតផលឧស្ម័នពិសេសអេឡិចត្រូនិចដែលមានសមត្ថភាពទីផ្សារធំបំផុត។ វាអសកម្មគីមីនៅសីតុណ្ហភាពបន្ទប់ សកម្មជាងអុកស៊ីសែននៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ មានស្ថេរភាពជាងហ្វ្លុយអូរីន និងងាយស្រួលដោះស្រាយ។ អាសូត trifluoride ត្រូវបានប្រើជាចម្បងជាឧស្ម័នផ្លាស្មា និងជាភ្នាក់ងារសម្អាតអង្គជំនុំជម្រះប្រតិកម្ម ហើយស័ក្តិសមសម្រាប់វិស័យផលិតបន្ទះសៀគ្វី semiconductor អេក្រង់រាបស្មើ សរសៃអុបទិក កោសិកា photovoltaic ជាដើម។
បើប្រៀបធៀបជាមួយឧស្ម័នអេឡិចត្រូនិចដែលមានផ្ទុកហ្វ្លុយអូរីនផ្សេងទៀតអាសូត trifluorideមានគុណសម្បត្តិនៃប្រតិកម្មរហ័ស និងប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់។ ជាពិសេសក្នុងការ etching នៃសារធាតុ silicon-contains ដូចជា silicon nitride វាមានអត្រា etching ខ្ពស់ និង selectivity ដោយមិនបន្សល់ទុកនូវសំណល់នៅលើផ្ទៃនៃ etched នោះទេ។ វាក៏ជាភ្នាក់ងារសម្អាតដ៏ល្អផងដែរ ហើយមិនមានការបំពុលដល់ផ្ទៃដែលអាចបំពេញតម្រូវការនៃដំណើរការកែច្នៃ។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ១៤ ខែកញ្ញា ឆ្នាំ ២០២៤
