ឧស្ម័នពិសេសអេឡិចត្រូនិចដែលត្រូវបានប្រើច្រើនបំផុត - អាសូត trifluoride

ឧស្ម័នអេឡិចត្រូនិចពិសេសដែលមានគុណភាពមិនមានលក្ខណៈទូទៅរួមមានSulfur Hexafluoride (SF6), Tungsten Hexafloride (WF6),កាបូនតាតារ៉ាហ្វលូស (CF4), Triffluoromethane (CHF3), អាសូត Tripluoride (NF3), Hexafluorehane (C2F6) និង OctaFluoropropane (C3F8) ។

ជាមួយនឹងការអភិវឌ្ឍបច្ចេកវិទ្យាណាណូនិងការអភិវឌ្ឍទ្រង់ទ្រាយធំនៃឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិចតម្រូវការនឹងកើនឡើងពីមួយថ្ងៃទៅមួយថ្ងៃ។ Tripluoride អាសូតដែលជាឧស្ម័នអេឡិចត្រូនិចពិសេសដែលមិនអាចខ្វះបាននិងប្រើប្រាស់ច្រើនបំផុតក្នុងការផលិតនិងកែច្នៃបន្ទះនិងឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកមានកន្លែងទំនេរធំទូលាយ។

ជាប្រភេទនៃឧស្ម័នពិសេសដែលមានរាងដូចហ្វ្លុយអូរីនtriffluoride អាសូត (NF3)គឺជាផលិតផលឧស្ម័នពិសេសអេឡិចត្រូនិចដែលមានសមត្ថភាពទីផ្សារធំបំផុត។ វាមានសារធាតុគីមីអាក់គីនៅសីតុណ្ហភាពបន្ទប់ដែលសកម្មជាងអុកស៊ីស៍នៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់មានស្ថេរភាពជាងហ្វ្លុយលីននិងងាយស្រួលដោះស្រាយ។ Tripluoride អាសូតត្រូវបានប្រើជាចម្បងនៅពេលដែលភ្នាក់ងារសំអាត cherber cherber និងសមស្របសម្រាប់វាលផលិតនៃបន្ទះសៀគ្វីអគ្គីសនី SemiconDuctor បានបង្ហាញសរសៃប្រសាលកោសិកាអុបទិកកោសិការ Photovoltaic ។ ល។

បើប្រៀបធៀបជាមួយឧស្ម័នអេឡិចត្រូនិចដែលមានផ្ទុកដោយហ្វ្លីរីរីផ្សេងទៀតtriffluoride អាសូតមានគុណសម្បត្តិនៃប្រតិកម្មរហ័សនិងប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់។ ជាពិសេសនៅក្នុងការប្រមូលសម្ភារៈនៃវត្ថុធាតុដើមដែលមានផ្ទុកសារធាតុស៊ីលីកុនដូចជាស៊ីលីខននីក្រូដវាមានអត្រាខ្ពស់និងអត្រាខ្ពស់ដោយមិនទុកឱ្យមានសំណល់នៅលើផ្ទៃរបស់វត្ថុដែលបានដាក់បញ្ចូល។ វាក៏ជាភ្នាក់ងារសំអាតដ៏ល្អផងដែរហើយមិនមានការបំពុលបរិស្ថានដល់ផ្ទៃដែលអាចបំពេញតម្រូវការដំណើរការដំណើរការបានទេ។