ឧស្ម័នពិសេសអេឡិចត្រូនិចដែលប្រើច្រើនបំផុត - អាសូតទ្រីហ្វ្លុយអូរីត

ឧស្ម័នអេឡិចត្រូនិចពិសេសដែលមានផ្ទុកហ្វ្លុយអូរីនរួមមានស្ពាន់ធ័រ ហិចសាហ្វ្លុយអូរីត (SF6)tungsten hexafluoride (WF6),កាបូនតេត្រាហ្វ្លុយអូរីត (CF4), ទ្រីហ្វ្លុយអូរ៉ូមេតាន (CHF3), អាសូតទ្រីហ្វ្លុយអូរីត (NF3), ហិចសាហ្វ្លុយអូរ៉ូអេតាន (C2F6) និង អូកតាហ្វ្លុយអូរ៉ូប្រូផេន (C3F8)។

ជាមួយនឹងការអភិវឌ្ឍបច្ចេកវិទ្យាណាណូ និងការអភិវឌ្ឍទ្រង់ទ្រាយធំនៃឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិច តម្រូវការរបស់វានឹងកើនឡើងជារៀងរាល់ថ្ងៃ។ អាសូតទ្រីហ្វ្លុយអូរីត ជាឧស្ម័នអេឡិចត្រូនិចពិសេសដែលមិនអាចខ្វះបាន និងប្រើប្រាស់ច្រើនបំផុតក្នុងការផលិត និងកែច្នៃបន្ទះ និងឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក មានទីផ្សារទូលំទូលាយ។

ក្នុងនាមជាប្រភេទឧស្ម័នពិសេសដែលមានផ្ទុកហ្វ្លុយអូរីនអាសូត ទ្រីហ្វ្លុយអូរីត (NF3)គឺជាផលិតផលឧស្ម័នពិសេសអេឡិចត្រូនិចដែលមានសមត្ថភាពទីផ្សារធំបំផុត។ វាមានលក្ខណៈអសកម្មខាងគីមីនៅសីតុណ្ហភាពបន្ទប់ សកម្មជាងអុកស៊ីសែននៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ មានស្ថេរភាពជាងហ្វ្លុយអូរីន និងងាយស្រួលដោះស្រាយ។ អាសូតទ្រីហ្វ្លុយអូរីតភាគច្រើនត្រូវបានគេប្រើជាឧស្ម័នឆ្លាក់ប្លាស្មា និងជាសារធាតុសម្អាតបន្ទប់ប្រតិកម្ម ហើយវាសមរម្យសម្រាប់វិស័យផលិតបន្ទះឈីបស៊ីមីកុងដុកទ័រ អេក្រង់សំប៉ែត ខ្សែកាបអុបទិក កោសិកា photovoltaic ជាដើម។

បើប្រៀបធៀបជាមួយឧស្ម័នអេឡិចត្រូនិចដែលមានផ្ទុកហ្វ្លុយអូរីនផ្សេងទៀតអាសូត ទ្រីហ្វ្លុយអូរីតមានគុណសម្បត្តិនៃប្រតិកម្មរហ័ស និងប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់។ ជាពិសេសនៅក្នុងការឆ្លាក់វត្ថុធាតុដែលមានផ្ទុកស៊ីលីកុនដូចជាស៊ីលីកុននីទ្រីត វាមានអត្រាឆ្លាក់ និងការជ្រើសរើសខ្ពស់ ដោយមិនបន្សល់ទុកសំណល់នៅលើផ្ទៃនៃវត្ថុឆ្លាក់នោះទេ។ វាក៏ជាសារធាតុសម្អាតដ៏ល្អផងដែរ ហើយមិនមានការបំពុលដល់ផ្ទៃ ដែលអាចបំពេញតម្រូវការនៃដំណើរការកែច្នៃ។