អេឡិចត្រូនិកឧស្ម័នពិសេសគឺជាសាខាសំខាន់នៃឧស្ម័នពិសេស។ ពួកវាជ្រាបចូលស្ទើរតែគ្រប់តំណភ្ជាប់នៃផលិតកម្ម semiconductor ហើយជាវត្ថុធាតុដើមដែលមិនអាចខ្វះបានសម្រាប់ការផលិតឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិកដូចជា សៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នាខ្នាតធំ ឧបករណ៍បង្ហាញបន្ទះរាបស្មើ និងកោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យ។

នៅក្នុងបច្ចេកវិទ្យា semiconductor ឧស្ម័នដែលមានផ្ទុក fluorine ត្រូវបានប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយ។ បច្ចុប្បន្ននេះ នៅក្នុងទីផ្សារឧស្ម័នអេឡិចត្រូនិកពិភពលោក ឧស្ម័នអេឡិចត្រូនិចដែលមានផ្ទុកហ្វ្លុយអូរីនមានចំនួនប្រហែល 30% នៃចំនួនសរុប។ ឧស្ម័នអេឡិកត្រូនិកដែលមានផ្ទុកហ្វ្លុយអូរីនគឺជាធាតុផ្សំដ៏សំខាន់នៃឧស្ម័នអេឡិចត្រូនិចពិសេសនៅក្នុងវិស័យសម្ភារៈព័ត៌មានអេឡិចត្រូនិច។ ពួកវាត្រូវបានគេប្រើជាចម្បងជាភ្នាក់ងារសម្អាត និងភ្នាក់ងារធ្វើឱ្យឆ្កូត ហើយក៏អាចប្រើជាសារធាតុ dopants សម្ភារៈបង្កើតជាខ្សែភាពយន្តជាដើម។ នៅក្នុងអត្ថបទនេះ អ្នកនិពន្ធនឹងនាំអ្នកឱ្យយល់អំពីឧស្ម័នដែលមានផ្ទុកហ្វ្លុយអូរីន។

ឧស្ម័នដែលមានផ្ទុកហ្វ្លុយអូរីនត្រូវបានគេប្រើជាទូទៅដូចខាងក្រោម

អាសូតទ្រីហ្វ្លុយអូរី (NF3)៖ ជាឧស្ម័នដែលប្រើសម្រាប់សម្អាត និងដកប្រាក់បញ្ញើ ដែលជាធម្មតាប្រើសម្រាប់សម្អាតបន្ទប់ប្រតិកម្ម និងផ្ទៃឧបករណ៍។

ស្ពាន់ធ័រ hexafluoride (SF6)៖ ភ្នាក់ងារ fluorinating ដែលប្រើក្នុងដំណើរការបំប្លែងអុកស៊ីតកម្ម និងជាឧស្ម័នអ៊ីសូឡង់សម្រាប់បំពេញប្រព័ន្ធផ្សព្វផ្សាយអ៊ីសូឡង់។

អ៊ីដ្រូសែនហ្វ្លុយអូរី (HF)៖ ប្រើដើម្បីយកអុកស៊ីដចេញពីផ្ទៃស៊ីលីកុន និងជាសារធាតុសម្រាប់ឆ្លាក់ស៊ីលីកុន និងវត្ថុធាតុផ្សេងៗទៀត។

អាសូតហ្វ្លុយអូរី (NF)៖ ប្រើសម្រាប់ឆ្លាក់វត្ថុធាតុដូចជាស៊ីលីកុននីត្រាត (SiN) និងអាលុយមីញ៉ូមនីត្រាត (AlN)។

Trifluoromethane (CHF3) និងtetrafluoromethane (CF4)៖ ប្រើសម្រាប់ឆ្លាក់វត្ថុធាតុហ្វ្លុយអូរី ដូចជាស៊ីលីកុនហ្វ្លុយអូរី និងហ្វ្លុយអូរីតអាលុយមីញ៉ូម។

ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ ឧស្ម័នដែលមានផ្ទុកហ្វ្លុយអូរីន មានគ្រោះថ្នាក់មួយចំនួន រួមទាំងការពុល ការច្រេះ និងងាយឆេះ។

ជាតិពុល

ឧស្ម័នដែលមានផ្ទុកហ្វ្លុយអូរីនខ្លះមានជាតិពុលដូចជា អ៊ីដ្រូសែនហ្វ្លុយអូរី (HF) ដែលចំហាយទឹកមានប្រតិកម្មខ្លាំងចំពោះស្បែក និងផ្លូវដង្ហើម និងបង្កគ្រោះថ្នាក់ដល់សុខភាពមនុស្ស។

ភាពច្រេះ

អ៊ីដ្រូសែនហ្វ្លុយអូរី និងហ្វ្លុយអូរីខ្លះមានសារធាតុច្រេះខ្លាំង ហើយអាចបង្កការខូចខាតធ្ងន់ធ្ងរដល់ស្បែក ភ្នែក និងផ្លូវដង្ហើម។

ភាពងាយឆេះ

ហ្វ្លុយអូរីខ្លះងាយឆេះ ហើយមានប្រតិកម្មជាមួយអុកស៊ីសែន ឬទឹកក្នុងខ្យល់ ដើម្បីបញ្ចេញកំដៅខ្លាំង និងឧស្ម័នពុល ដែលអាចបណ្តាលឱ្យឆេះ ឬផ្ទុះ។

គ្រោះថ្នាក់នៃសម្ពាធខ្ពស់។

ឧស្ម័ន fluorinated ខ្លះផ្ទុះនៅក្រោមសម្ពាធខ្ពស់ ហើយត្រូវការការថែទាំពិសេសនៅពេលប្រើ និងរក្សាទុក។

ផលប៉ះពាល់លើបរិស្ថាន

ឧស្ម័នដែលមានផ្ទុកហ្វ្លុយអូរីនមានអាយុកាលបរិយាកាសខ្ពស់ និងតម្លៃ GWP ដែលមានឥទ្ធិពលបំផ្លិចបំផ្លាញលើស្រទាប់អូហ្សូនបរិយាកាស ហើយអាចបណ្តាលឱ្យមានការឡើងកំដៅផែនដី និងការបំពុលបរិស្ថាន។

កម្មវិធីនៃឧស្ម័ននៅក្នុងវិស័យដែលកំពុងរីកចម្រើនដូចជាអេឡិចត្រូនិចនៅតែបន្តកាន់តែស៊ីជម្រៅដែលនាំមកនូវតម្រូវការថ្មីជាច្រើនសម្រាប់ឧស្ម័នឧស្សាហកម្ម។ ដោយផ្អែកលើបរិមាណដ៏ច្រើននៃសមត្ថភាពផលិតថ្មីនៃគ្រឿងអេឡិចត្រូនិកសំខាន់ៗដូចជា semiconductors និងបន្ទះបង្ហាញនៅក្នុងប្រទេសចិនដីគោកក្នុងរយៈពេលប៉ុន្មានឆ្នាំខាងមុខ ក៏ដូចជាតម្រូវការដ៏ខ្លាំងសម្រាប់ការជំនួសការនាំចូលសម្ភារៈគីមីអេឡិចត្រូនិច ឧស្សាហកម្មឧស្ម័នអេឡិចត្រូនិកក្នុងស្រុកនឹងឈានទៅមុខ។ អត្រាកំណើនខ្ពស់។