អេឡិចត្រូនិចឧស្ម័នពិសេសគឺជាសាខាសំខាន់មួយនៃឧស្ម័នពិសេស។ ពួកវាជ្រាបចូលស្ទើរតែគ្រប់តំណភ្ជាប់នៃការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក ហើយជាវត្ថុធាតុដើមដែលមិនអាចខ្វះបានសម្រាប់ការផលិតឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិក ដូចជាសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នាទ្រង់ទ្រាយធំ ឧបករណ៍បង្ហាញអេក្រង់សំប៉ែត និងកោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យ។
នៅក្នុងបច្ចេកវិទ្យាស៊ីមីកុងដុកទ័រ ឧស្ម័នដែលមានផ្ទុកហ្វ្លុយអូរីនត្រូវបានគេប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយ។ បច្ចុប្បន្ននេះ នៅក្នុងទីផ្សារឧស្ម័នអេឡិចត្រូនិចសកល ឧស្ម័នអេឡិចត្រូនិចដែលមានផ្ទុកហ្វ្លុយអូរីនមានចំនួនប្រហែល 30% នៃចំនួនសរុប។ ឧស្ម័នអេឡិចត្រូនិចដែលមានផ្ទុកហ្វ្លុយអូរីនគឺជាសមាសធាតុសំខាន់មួយនៃឧស្ម័នអេឡិចត្រូនិចពិសេសនៅក្នុងវិស័យសម្ភារៈព័ត៌មានអេឡិចត្រូនិច។ ពួកវាភាគច្រើនត្រូវបានគេប្រើជាសារធាតុសម្អាត និងសារធាតុឆ្លាក់ ហើយក៏អាចត្រូវបានប្រើជាសារធាតុបន្ថែម សម្ភារៈបង្កើតខ្សែភាពយន្តជាដើម។ នៅក្នុងអត្ថបទនេះ អ្នកនិពន្ធនឹងនាំអ្នកឱ្យយល់អំពីឧស្ម័នដែលមានផ្ទុកហ្វ្លុយអូរីនទូទៅ។
ខាងក្រោមនេះគឺជាឧស្ម័នដែលមានផ្ទុកហ្វ្លុយអូរីនដែលត្រូវបានគេប្រើជាទូទៅ៖
អាសូតទ្រីហ្វ្លុយអូរីត (NF3)៖ ឧស្ម័នមួយប្រភេទដែលប្រើសម្រាប់សម្អាត និងយកកំណកចេញ ជាធម្មតាប្រើសម្រាប់សម្អាតបន្ទប់ប្រតិកម្ម និងផ្ទៃឧបករណ៍។
ស្ពាន់ធ័រហិចសាហ្វ្លុយអូរីត (SF6)សារធាតុហ្វ្លុយអូរីនដែលប្រើក្នុងដំណើរការដាក់អុកស៊ីដ និងជាឧស្ម័នអ៊ីសូឡង់សម្រាប់បំពេញឧបករណ៍ផ្ទុកអ៊ីសូឡង់។
អ៊ីដ្រូសែនហ្វ្លុយអូរីត (HF): ប្រើសម្រាប់យកអុកស៊ីដចេញពីផ្ទៃស៊ីលីកុន និងជាសារធាតុឆ្លាក់សម្រាប់ឆ្លាក់ស៊ីលីកុន និងវត្ថុធាតុផ្សេងៗទៀត។
នីត្រូសែនហ្វ្លុយអូរីត (NF)៖ ប្រើសម្រាប់ឆ្លាក់វត្ថុធាតុដូចជា ស៊ីលីកុននីទ្រីត (SiN) និងអាលុយមីញ៉ូមនីទ្រីត (AlN)។
ទ្រីហ្វ្លុយអូរ៉ូមេតាន (CHF3) និងតេត្រាហ្វ្លុយអូរ៉ូមេតាន (CF4)៖ ប្រើសម្រាប់ឆ្លាក់វត្ថុធាតុហ្វ្លុយអូរីត ដូចជាស៊ីលីកុនហ្វ្លុយអូរីត និងអាលុយមីញ៉ូមហ្វ្លុយអូរីត។
ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ ឧស្ម័នដែលមានផ្ទុកហ្វ្លុយអូរីនមានគ្រោះថ្នាក់មួយចំនួន រួមទាំងជាតិពុល ការกัดกร่อน និងភាពងាយឆេះ។
ជាតិពុល
ឧស្ម័នដែលមានផ្ទុកហ្វ្លុយអូរីនមួយចំនួនមានជាតិពុល ដូចជាអ៊ីដ្រូសែនហ្វ្លុយអូរីត (HF) ដែលចំហាយរបស់វាបង្កការរលាកខ្លាំងដល់ស្បែក និងផ្លូវដង្ហើម និងបង្កគ្រោះថ្នាក់ដល់សុខភាពមនុស្ស។
ភាពច្រេះ
អ៊ីដ្រូសែនហ្វ្លុយអូរីត និងហ្វ្លុយអូរីតមួយចំនួនមានសារធាតុกัดกร่อนខ្ពស់ ហើយអាចបណ្តាលឱ្យខូចខាតយ៉ាងធ្ងន់ធ្ងរដល់ស្បែក ភ្នែក និងផ្លូវដង្ហើម។
ភាពងាយឆេះ
ហ្វ្លុយអូរីតខ្លះងាយឆេះ ហើយមានប្រតិកម្មជាមួយអុកស៊ីសែន ឬទឹកនៅលើអាកាស ដើម្បីបញ្ចេញកំដៅខ្លាំង និងឧស្ម័នពុល ដែលអាចបណ្តាលឱ្យមានអគ្គីភ័យ ឬការផ្ទុះ។
គ្រោះថ្នាក់សម្ពាធខ្ពស់
ឧស្ម័នហ្វ្លុយអូរីនមួយចំនួនអាចផ្ទុះក្រោមសម្ពាធខ្ពស់ ហើយត្រូវការការថែទាំពិសេសនៅពេលប្រើប្រាស់ និងរក្សាទុក។
ផលប៉ះពាល់លើបរិស្ថាន
ឧស្ម័នដែលមានផ្ទុកហ្វ្លុយអូរីនមានអាយុកាលបរិយាកាសខ្ពស់ និងតម្លៃ GWP ខ្ពស់ ដែលមានឥទ្ធិពលបំផ្លិចបំផ្លាញទៅលើស្រទាប់អូហ្សូនក្នុងបរិយាកាស និងអាចបណ្តាលឱ្យមានការឡើងកំដៅផែនដី និងការបំពុលបរិស្ថាន។
ការអនុវត្តឧស្ម័ននៅក្នុងវិស័យដែលកំពុងរីកចម្រើនដូចជាអេឡិចត្រូនិចនៅតែបន្តកាន់តែស៊ីជម្រៅ ដែលនាំមកនូវតម្រូវការថ្មីយ៉ាងច្រើនសម្រាប់ឧស្ម័នឧស្សាហកម្ម។ ដោយផ្អែកលើសមត្ថភាពផលិតថ្មីយ៉ាងច្រើននៃគ្រឿងបន្លាស់អេឡិចត្រូនិចសំខាន់ៗដូចជាឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិចពាក់កណ្តាលចរន្ត និងបន្ទះអេក្រង់នៅចិនដីគោកក្នុងរយៈពេលប៉ុន្មានឆ្នាំខាងមុខ ក៏ដូចជាតម្រូវការខ្លាំងសម្រាប់ការជំនួសការនាំចូលសម្ភារៈគីមីអេឡិចត្រូនិច ឧស្សាហកម្មឧស្ម័នអេឡិចត្រូនិចក្នុងស្រុកនឹងនាំមកនូវអត្រាកំណើនខ្ពស់។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ១៥ ខែសីហា ឆ្នាំ ២០២៤
