ដេលផ្គត់ផ្គង់ឧស្ម័នពិសេសគឺជាសាខាសំខាន់មួយនៃឧស្ម័នពិសេស។ ពួកវាជ្រាបចូលស្ទើរតែរាល់តំណភ្ជាប់ផលិតកម្មអេឡិចត្រូនិកនិងមានវត្ថុធាតុដើមដែលមិនអាចខ្វះបានសម្រាប់ការផលិតឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិចដូចជាសៀគ្វីដែលមានទំហំធំបំផុតឧបករណ៍បង្ហាញបន្ទះរាបស្មើនិងកោសិកាពន្លឺរាបស្មើរ។

នៅក្នុងបច្ចេកវិទ្យាអេឡិចត្រូនិចឧស្ម័នដែលមានជាតិហ្វ្លីបារីត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយ។ បច្ចុប្បន្ននេះនៅក្នុងទីផ្សារឧស្ម័នអេឡិចត្រូនិចសកល, ឧស្ម័នអេឡិចត្រូនិកដែលមានប្រព័ន្ធអេឡិចត្រូនិចមានប្រហែល 30% នៃចំនួនសរុប។ ឧស្ម័នអេឡិចត្រូនិចដែលមានប្រព័ន្ធអេឡិចត្រូនិចគឺជាសមាសធាតុសំខាន់មួយនៃឧស្ម័នអេឡិចត្រូនិចពិសេសនៅក្នុងវិស័យសម្ភារៈអេឡិចត្រូនិច។ ពួកគេត្រូវបានប្រើជាភ្នាក់ងារសំអាតនិងភ្នាក់ងារអឹមស៊ីហើយអាចត្រូវបានប្រើជាឧបករណ៍ផ្ទុកសំភារៈបង្កើតខ្សែភាពយន្ត។ ល។ ក្នុងអត្ថបទនេះអ្នកនិពន្ធនឹងនាំអ្នកឱ្យយល់ពីឧស្ម័នដែលមានរាងដូចហ្វ្លុយស៊ី។

ខាងក្រោមនេះត្រូវបានប្រើឧស្ម័នដែលមានរាងដូចហ្វ្លុយរីរី

Triffluoride អាសូត (NF3): ហ្គាសដែលត្រូវបានប្រើសម្រាប់ការសំអាតនិងការយកប្រាក់បញ្ញើចេញជាធម្មតាត្រូវបានប្រើសម្រាប់សម្អាតបន្ទប់ប្រតិកម្មនិងផ្ទៃឧបករណ៍។

Sulfur Hexafluoride (SF6): ភ្នាក់ងារហ្វ្លុយអែលដែលត្រូវបានប្រើក្នុងដំណើរការនៃការបរទេសអុកស៊ីដនិងជាឧស្ម័នអ៊ីសូឡង់សម្រាប់បំពេញប្រព័ន្ធផ្សព្វផ្សាយអ៊ីសូឡង់។

Hydrogen Fluoride (HF): ត្រូវបានប្រើដើម្បីយកអុកស៊ីតចេញពីផ្ទៃ Silicon និងជា etchant សម្រាប់ chetching Silicon និងសំភារៈផ្សេងទៀត។

ហ្វ្លុយអូរីអូរីដ (អិនអេហ្វ): ធ្លាប់ប្រើសំភារៈដូចជាស៊ីលីខននីក្រាដ (ស៊ីន) និងអាលុយមីញ៉ូមនីត្រាត (អាល់) ។

trifluoromethantheane (CHF3) និងTetrafluoromethane (CF4): ធ្លាប់ប្រើសំភារៈហ្វ្លុយអូរីសដូចជាស៊ីលីខនហ្វ័រ័រនិងអាលុយមីញ៉ូម Floride ។

ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយឧស្ម័នដែលមានរាងពងក្រពើមានគ្រោះថ្នាក់តិចតួចរួមទាំងការពុលការឡើងពុករលួយនិងភាពងាយឆេះ។

ការរតនា

ឧស្ម័នដែលមានពន្លឺមានជាតិអ៊ីដ្រូសែនមានជាតិអ៊ីដ្រូសែន (HF) ដែលមានចំហាយទឹកដែលធ្វើឱ្យរលាកស្បែកនិងរលាកផ្លូវដង្ហើមនិងមានគ្រោះថ្នាក់ដល់សុខភាពមនុស្ស។

ការតន្លេ

ហ្វ្លុយអឹមអឹមរ៉ូដិននិងហ្វ្លូរីដខ្លះមានភាពច្របូកច្របល់ខ្លាំងហើយអាចបណ្តាលឱ្យខូចខាតធ្ងន់ធ្ងរដល់ស្បែកភ្នែកនិងបំពង់ផ្លូវដង្ហើម។

ដេលអាប់ដេន

ហ្វ្លូរីដខ្លះមានរាងឆើតឆាយហើយមានប្រតិកម្មជាមួយអុកស៊ីសែនឬទឹកនៅលើអាកាសដើម្បីចេញកំដៅខ្លាំងនិងឧស្ម័នពុលដែលអាចបណ្តាលឱ្យមានអគ្គិភ័យឬផ្ទុះ។

គ្រោះថ្នាក់សម្ពាធខ្ពស់

ឧស្ម័នហ្វ្លុយវ័រខ្លះផ្ទុះនៅក្រោមសម្ពាធខ្ពស់ហើយត្រូវការការថែទាំពិសេសនៅពេលប្រើនិងរក្សាទុក។

ផលប៉ះពាល់លើបរិស្ថាន

ឧស្ម័នដែលមានជាតិហ្វូទិកមានឥទ្ធិពលបរិយាកាសខ្ពស់និងគុណតម្លៃ GWP ដែលមានឥទ្ធិពលបំផ្លិចបំផ្លាញលើស្រទាប់អ៊ូហ្សូមបរិយាកាសហើយអាចបណ្តាលឱ្យមានការឡើងកម្តៅពិភពលោកនិងការបំពុលបរិស្ថាន។

ការប្រើឧស្ម័នក្នុងវិស័យកំពុងរីកចម្រើនដូចជាអេឡិចត្រូនិចនៅតែបន្តធ្វើឱ្យស៊ីជម្រៅដែលមានតម្រូវការថ្មីនៃតម្រូវការឧស្ម័នឧស្សាហកម្ម។ ផ្អែកលើបរិមាណដ៏ច្រើននៃសមត្ថភាពផលិតគ្រឿងអេឡិចត្រូនិកសំខាន់ៗដូចជាឧបករណ៍បង្ហាញនិងបន្ទះបង្ហាញនៅចិនដីគោកក្នុងទីក្រុងចិនដែលមានតម្រូវការនៃការនាំចូលគ្រឿងសំអគ្គឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិចដែលជាឧស្សាហកម្មឧស្ម័នអគ្គីសនីនឹងនាំឱ្យមានអត្រាកំណើនខ្ពស់។