តើអ្វីជាកាបូន tetrafluoride? តើការប្រើប្រាស់អ្វី?
កាបូន tetrafluorideត្រូវបានគេស្គាល់ផងដែរថាជា tetrafluoromethane ត្រូវបានចាត់ទុកថាជាសមាសធាតុអសរីរាង្គ។ វាត្រូវបានគេប្រើនៅក្នុងដំណើរការនៃការ etching ប្លាស្មានៃសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នាផ្សេងៗ ហើយក៏ត្រូវបានគេប្រើជាឧស្ម័នឡាស៊ែរ និងទូរទឹកកកផងដែរ។ វាមានស្ថិរភាពនៅក្រោមសីតុណ្ហភាព និងសម្ពាធធម្មតា ប៉ុន្តែវាចាំបាច់ដើម្បីចៀសវាងការប៉ះពាល់ជាមួយសារធាតុអុកស៊ីតកម្មខ្លាំង វត្ថុងាយឆេះ ឬងាយឆេះ។ កាបូន tetrafluoride គឺជាឧស្ម័នដែលមិនឆេះ។ ប្រសិនបើវាជួបប្រទះនឹងកំដៅខ្ពស់ វានឹងធ្វើឱ្យសម្ពាធខាងក្នុងរបស់កុងតឺន័រកើនឡើង ហើយមានគ្រោះថ្នាក់នៃការបំបែក និងការផ្ទុះ។ ជាធម្មតា វាអាចធ្វើអន្តរកម្មបានតែជាមួយសារធាតុប្រតិកម្មលោហៈអាម៉ូញាក់-សូដ្យូមរាវនៅសីតុណ្ហភាពបន្ទប់។
កាបូន tetrafluorideបច្ចុប្បន្នគឺជាឧស្ម័នផ្លាស្មាដ៏ធំបំផុតដែលប្រើក្នុងឧស្សាហកម្មមីក្រូអេឡិចត្រូនិច។ វាអាចត្រូវបានប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយក្នុងការ etching នៃ silicon, silicon dioxide, phosphosilicate កញ្ចក់និងសម្ភារៈខ្សែភាពយន្តស្តើងផ្សេងទៀត, ការសម្អាតផ្ទៃនៃឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក, ការផលិតកោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យ, បច្ចេកវិទ្យាឡាស៊ែរ, អ៊ីសូឡង់ដំណាក់កាលឧស្ម័ន, ទូរទឹកកកសីតុណ្ហភាពទាប, ភ្នាក់ងាររកឃើញលេចធ្លាយ, និងសារធាតុសាប៊ូនៅក្នុងការផលិតសៀគ្វីបោះពុម្ពមានកម្មវិធីមួយចំនួនធំ។
ពេលវេលាផ្សាយ៖ ០១-០១-២០២១
