ស៊ីលីនគឺជាសមាសធាតុនៃស៊ីលីកុន និងអ៊ីដ្រូសែន ហើយជាពាក្យទូទៅសម្រាប់ស៊េរីនៃសមាសធាតុ។ Silane រួមមាន monosilane (SiH4), disilane (Si2H6) និងសមាសធាតុអ៊ីដ្រូសែនស៊ីលីកុនកម្រិតខ្ពស់មួយចំនួន ជាមួយនឹងរូបមន្តទូទៅ SinH2n+2។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ នៅក្នុងការផលិតជាក់ស្តែង ជាទូទៅយើងសំដៅទៅលើ monosilane (រូបមន្តគីមី SiH4) ជា "silane" ។

ថ្នាក់អេឡិចត្រូនិចឧស្ម័ន silaneភាគច្រើនត្រូវបានទទួលដោយការចម្រោះប្រតិកម្មផ្សេងៗ និងការបន្សុតនៃម្សៅស៊ីលីកុន អ៊ីដ្រូសែន ស៊ីលីកុនតេត្រាក្លរ កាតាលីករ។ល។ ស៊ីលីនដែលមានភាពបរិសុទ្ធពី 3N ដល់ 4N ត្រូវបានគេហៅថា silane ថ្នាក់ឧស្សាហកម្ម ហើយស៊ីលីនដែលមានភាពបរិសុទ្ធលើសពី 6N ត្រូវបានគេហៅថាអេឡិចត្រូនិច ឧស្ម័ន silane ថ្នាក់។

ជាប្រភពឧស្ម័នសម្រាប់ផ្ទុកសមាសធាតុស៊ីលីកុន។ឧស្ម័ន silaneបានក្លាយជាឧស្ម័នពិសេសដ៏សំខាន់ ដែលមិនអាចជំនួសបានដោយប្រភពស៊ីលីកុនផ្សេងទៀត ដោយសារតែភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ និងសមត្ថភាពក្នុងការសម្រេចបាននូវការគ្រប់គ្រងដ៏ល្អ។ Monosilane បង្កើតស៊ីលីកូនគ្រីស្តាល់តាមរយៈប្រតិកម្ម pyrolysis ដែលបច្ចុប្បន្នជាវិធីសាស្រ្តមួយសម្រាប់ការផលិតទ្រង់ទ្រាយធំនៃ silicon monocrystalline granular និង polycrystalline silicon នៅលើពិភពលោក។

លក្ខណៈស៊ីលីន

ស៊ីលីន (SiH4)គឺ​ជា​ឧស្ម័ន​គ្មាន​ពណ៌​ដែល​មាន​ប្រតិកម្ម​ជាមួយ​ខ្យល់ ហើយ​ធ្វើ​ឱ្យ​ថប់​ដង្ហើម។ សទិសន័យរបស់វាគឺស៊ីលីកុនអ៊ីដ្រាត។ រូបមន្តគីមីនៃសុីលីនគឺ SiH4 ហើយមាតិការបស់វាខ្ពស់រហូតដល់ 99.99% ។ នៅសីតុណ្ហភាព និងសម្ពាធក្នុងបន្ទប់ ស៊ីលីនគឺជាឧស្ម័នពុលដែលមានក្លិនមិនល្អ។ ចំណុចរលាយនៃស៊ីលីនគឺ -185 ℃ហើយចំណុចរំពុះគឺ -112 ℃។ នៅសីតុណ្ហភាពបន្ទប់ ស៊ីលីនមានស្ថេរភាព ប៉ុន្តែនៅពេលដែលកំដៅដល់ 400 ℃ វានឹងរលួយទាំងស្រុងទៅជាស៊ីលីកូនឧស្ម័ន និងអ៊ីដ្រូសែន។ Silane គឺងាយឆេះ និងផ្ទុះ ហើយវានឹងឆេះខ្លាំងក្នុងខ្យល់ ឬឧស្ម័ន halogen ។

វាលកម្មវិធី

Silane មានការប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយ។ បន្ថែមពីលើជាមធ្យោបាយដ៏មានប្រសិទ្ធភាពបំផុតក្នុងការភ្ជាប់ម៉ូលេគុលស៊ីលីកុនទៅនឹងផ្ទៃនៃកោសិកាកំឡុងពេលផលិតកោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យ វាក៏ត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងរោងចក្រផលិតដូចជា semiconductors អេក្រង់រាបស្មើ និងកញ្ចក់ស្រោប។

ស៊ីលីនគឺជាប្រភពស៊ីលីកុនសម្រាប់ដំណើរការបញ្ចេញចំហាយគីមីដូចជា ស៊ីលីកុនគ្រីស្តាល់តែមួយ ស៊ីលីកុន polycrystalline silicon epitaxial wafers ស៊ីលីកុនឌីអុកស៊ីត silicon nitride និងកញ្ចក់ phosphosilicate នៅក្នុងឧស្សាហកម្ម semiconductor ហើយត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយក្នុងការផលិត និងអភិវឌ្ឍកោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យ ស្គរចម្លងស៊ីលីកុន។ ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញា photoelectric សរសៃអុបទិក និងកញ្ចក់ពិសេស។

ក្នុងរយៈពេលប៉ុន្មានឆ្នាំចុងក្រោយនេះ កម្មវិធីបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់នៃ silanes នៅតែលេចឡើង រួមទាំងការផលិតសេរ៉ាមិចទំនើប សមាសធាតុផ្សំ សម្ភារៈមុខងារ ជីវសម្ភារៈ វត្ថុធាតុដើមដែលមានថាមពលខ្ពស់ជាដើម ដែលបានក្លាយជាមូលដ្ឋាននៃបច្ចេកវិទ្យាថ្មីៗ សម្ភារៈថ្មី និងថ្មីជាច្រើន។ ឧបករណ៍។