អូតាហ្វ្លុយអូរ៉ូស៊ីក្លូប៊ូតាន (C4F8)

ប៉ារ៉ាម៉ែត្របច្ចេកទេស

អូកាហ្វ្លុយអូរ៉ូស៊ីក្លូប៊ូតាន គឺជាសារធាតុគីមីមួយ ដែលជាដេរីវេនៃសារធាតុ perfluorinated នៃស៊ីក្លូប៊ូតាន ហើយរូបមន្តគីមីរបស់វាគឺ C4F8។ គ្មានពណ៌ គ្មានក្លិន និងមិនងាយឆេះ។ មានលក្ខណៈស្ថិរភាព និងមិនពុល។ ក្នុងករណីមានកំដៅខ្ពស់ សម្ពាធខាងក្នុងនៃធុងនឹងកើនឡើង ហើយនឹងមានហានិភ័យនៃការប្រេះ និងផ្ទុះ។ ផលិតផលចំហេះ (រលួយ) គឺអ៊ីដ្រូសែនហ្វ្លុយអូរីត។ អូកាហ្វ្លុយអូរ៉ូស៊ីក្លូប៊ូតានមានស្ថេរភាពខ្លាំង ហើយមិនមានប្រតិកម្មជាមួយសារធាតុផ្សេងទៀតក្រោមលក្ខខណ្ឌធម្មតា។ ធុងផ្ទុក និងប្រតិកម្មអាចធ្វើពីដែកវណ្ណះ និងដែកអ៊ីណុកនៅសីតុណ្ហភាព 120°C ហើយដែកថែបអាចប្រើនៅសីតុណ្ហភាព 175°C។ នៅពេលដែលវាលើសពី 400°C សម្ភារៈ Inconel ដូចជានីកែល និងផ្លាទីនក៏អាចខូចខាតបន្តិចបន្តួចផងដែរ។ នៅសីតុណ្ហភាព 500°C សម្ភារៈទាំងនេះមានឥទ្ធិពលកាតាលីករលើការរលួយ។ នៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ (600°C) អូកាហ្វ្លុយអូរ៉ូស៊ីក្លូប៊ូតានអាចរលួយទៅជាកាបូន កាបូនតេត្រាហ្វ្លុយអូរីត និងសមាសធាតុពុល។ អូកាហ្វ្លុយអូរ៉ូស៊ីក្លូប៊ូតានមានកម្មវិធីយ៉ាងទូលំទូលាយ។ ក្នុងរយៈពេលប៉ុន្មានឆ្នាំចុងក្រោយនេះ វាត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយជាសារធាតុត្រជាក់ដើម្បីជំនួសសមាសធាតុក្លរ៉ូហ្វ្លុយអូរ៉ូកាបូនដែលត្រូវបានហាមឃាត់។ លើសពីនេះ វាក៏ត្រូវបានគេប្រើជាទូទៅនៅក្នុងឧបករណ៍ផ្សព្វផ្សាយអ៊ីសូឡង់ឧស្ម័ន សារធាតុរំលាយ ថ្នាំបាញ់ សារធាតុបង្កើតពពុះ និងសារធាតុឆ្លាក់សៀគ្វីទ្រង់ទ្រាយធំផងដែរ។ សារធាតុរាវធ្វើការបូមកំដៅ និងវត្ថុធាតុដើមសម្រាប់ផលិតម៉ូណូម័រ C2F4 និង C3F6។ អូតាហ្វ្លុយអូរ៉ូស៊ីក្លូប៊ូតានដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ (លើសពី 5N) ត្រូវបានប្រើជាសារធាតុឆ្លាក់ និងសារធាតុសម្អាតសម្រាប់សៀគ្វី VLSI។ ដោយសារតែលក្ខណៈសម្បត្តិដែលមានស្ថេរភាព មិនមានជាតិពុល សក្តានុពលបំផ្លាញអូហ្សូនសូន្យ (ODP) និងអ៊ីសូឡង់ល្អ អូតាហ្វ្លុយអូរ៉ូស៊ីក្លូប៊ូតានត្រូវបានគេប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងវិស័យបច្ចេកទេសដូចជាអ៊ីសូឡង់វ៉ុលខ្ពស់ ការសម្អាត និងការឆ្លាក់ និងការព្យាបាលដោយប្លាស្មាក្នុងប៉ុន្មានឆ្នាំថ្មីៗនេះ។ ការឆ្លើយតបជាបន្ទាន់ចំពោះការលេចធ្លាយ៖ ពាក់ឧបករណ៍ដកដង្ហើមដែលមានធុងផ្ទាល់ខ្លួន និងសម្លៀកបំពាក់ធ្វើការ។ កាត់ប្រភពឧស្ម័ន។ ខ្យល់ចេញចូល និងខ្យល់ចេញចូល ការពនលាយ និងការសាយភាយ។ ផ្លាស់ទីធុងលេចធ្លាយទៅកន្លែងបើកចំហ ហើយយកចិត្តទុកដាក់ចំពោះខ្យល់ចេញ។ ធុងលេចធ្លាយលែងអាចប្រើបានទៀតហើយ ហើយត្រូវតែឆ្លងកាត់ការព្យាបាលបច្ចេកទេសដើម្បីយកឧស្ម័នដែលនៅសល់ចេញ។

ការដាក់ពាក្យ៖

① ឧស្សាហកម្មម្ហូបអាហារ៖

វាត្រូវបានប្រើជាចម្បងជាភ្នាក់ងារបាញ់ថ្នាំនៅក្នុងឧស្សាហកម្មម្ហូបអាហារ ទូរទឹកកក។

② ឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិច៖

enchant សម្រាប់សៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នា វាក៏ត្រូវបានប្រើជាល្បាយឌីអេឡិចត្រិចជាមួយ sf6 និងជាជំនួយប៉ូលីមែរសម្រាប់សមាសធាតុហ្វ្លុយអូរីន។

កញ្ចប់ធម្មតា៖

គុណសម្បត្តិ៖

①ជាងដប់ឆ្នាំនៅលើទីផ្សារ;

② ក្រុមហ៊ុនផលិតវិញ្ញាបនបត្រ ISO;

③ការដឹកជញ្ជូនលឿន;

④ប្រភពវត្ថុធាតុដើមដែលមានស្ថេរភាព;

⑤ប្រព័ន្ធវិភាគតាមអ៊ីនធឺណិតសម្រាប់ការគ្រប់គ្រងគុណភាពនៅគ្រប់ជំហាន។

⑥តម្រូវការខ្ពស់ និងដំណើរការយ៉ាងល្អិតល្អន់សម្រាប់ការដោះស្រាយស៊ីឡាំងមុនពេលបំពេញ;