កាបូន Tetrafluoride (CF4)

ប៉ារ៉ាម៉ែត្របច្ចេកទេស

កាបូន tetrafluoride គឺជាអ៊ីដ្រូកាបូន halogenated ជាមួយនឹងរូបមន្តគីមី CF4 ។ វាអាចត្រូវបានចាត់ទុកថាជាអ៊ីដ្រូកាបូន halogenated methane halogenated perfluorocarbon ឬជាសមាសធាតុអសរីរាង្គ។ កាបូន tetrafluoride គឺជាឧស្ម័នគ្មានពណ៌ និងគ្មានក្លិន មិនរលាយក្នុងទឹក រលាយក្នុង benzene និង chloroform ។ មានស្ថេរភាពនៅក្រោមសីតុណ្ហភាព និងសម្ពាធធម្មតា ជៀសវាងសារធាតុអុកស៊ីតកម្មខ្លាំង វត្ថុងាយឆេះ ឬងាយឆេះ។ ឧស្ម័នដែលមិនអាចឆេះបាន សម្ពាធខាងក្នុងនៃធុងនឹងកើនឡើងនៅពេលដែលប៉ះនឹងកំដៅខ្ពស់ ហើយមានគ្រោះថ្នាក់នៃការប្រេះ និងផ្ទុះ។ វាមានស្ថេរភាពគីមីនិងមិនងាយឆេះ។ មានតែសារធាតុអាម៉ូញាក់រាវ-សូដ្យូមដែក ដែលអាចដំណើរការនៅសីតុណ្ហភាពបន្ទប់។ កាបូន tetrafluoride គឺជាឧស្ម័នដែលបណ្តាលឱ្យមានផលប៉ះពាល់ផ្ទះកញ្ចក់។ វាមានស្ថេរភាពខ្លាំង អាចស្ថិតនៅក្នុងបរិយាកាសបានយូរ និងជាឧស្ម័នផ្ទះកញ្ចក់ដ៏មានឥទ្ធិពលខ្លាំង។ កាបូន tetrafluoride ត្រូវ​បាន​ប្រើ​នៅ​ក្នុង​ដំណើរ​ការ etching ប្លាស្មា​នៃ​សៀគ្វី​បញ្ចូល​គ្នា​ផ្សេង​គ្នា​។ វាក៏ត្រូវបានគេប្រើជាឧស្ម័នឡាស៊ែរផងដែរ ហើយត្រូវបានគេប្រើនៅក្នុងទូរទឹកកកដែលមានសីតុណ្ហភាពទាប សារធាតុរំលាយ ប្រេងរំអិល សម្ភារៈអ៊ីសូឡង់ និងសារធាតុត្រជាក់សម្រាប់ឧបករណ៍ចាប់អ៊ីនហ្វ្រារ៉េដ។ វាគឺជាឧស្ម័នផ្លាស្មាដែលប្រើច្រើនបំផុតក្នុងឧស្សាហកម្មមីក្រូអេឡិចត្រូនិច។ វាគឺជាល្បាយនៃឧស្ម័ន tetrafluoromethane ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ និងឧស្ម័ន tetrafluoromethane ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ និងអុកស៊ីសែនបរិសុទ្ធខ្ពស់។ វាអាចត្រូវបានប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងកញ្ចក់ស៊ីលីកុនស៊ីលីកុនឌីអុកស៊ីតស៊ីលីកុននីត្រាតនិងកញ្ចក់ផូស្វ័រ។ ការឆ្លាក់វត្ថុធាតុហ្វីលស្តើង ដូចជា តង់ស្តែន និង តង់ស្តែន ក៏ត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយក្នុងការសម្អាតផ្ទៃនៃឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិច ការផលិតកោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យ បច្ចេកវិទ្យាឡាស៊ែរ ទូរទឹកកកសីតុណ្ហភាពទាប ការត្រួតពិនិត្យលេចធ្លាយ និងសារធាតុសាប៊ូក្នុងការផលិតសៀគ្វីបោះពុម្ព។ ប្រើជាម៉ាស៊ីនត្រជាក់សីតុណ្ហភាពទាប និងប្លាស្មា ប្លាស្មា ប្លាស្មា ប្លាស្មា ប្លាស្មា បច្ចេកវិជ្ជាសម្រាប់សៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នា។ ការប្រុងប្រយ័ត្នសម្រាប់ការស្តុកទុក៖ រក្សាទុកក្នុងឃ្លាំងហ្គាសដែលមានខ្យល់ចេញចូល និងត្រជាក់មិនងាយឆេះ។ ទុកឱ្យឆ្ងាយពីប្រភពភ្លើងនិងកំដៅ។ សីតុណ្ហាភាពផ្ទុកមិនគួរលើសពី 30 ° C ។ វាគួរតែត្រូវបានរក្សាទុកដាច់ដោយឡែកពីវត្ថុងាយឆេះ (ងាយឆេះ) និងសារធាតុអុកស៊ីតកម្ម ហើយជៀសវាងការផ្ទុកចម្រុះ។ កន្លែងស្តុកទុកគួរតែត្រូវបានបំពាក់ដោយឧបករណ៍ព្យាបាលបន្ទាន់ដែលលេចធ្លាយ។

កម្មវិធី៖

① ទូទឹកកក៖

ជួនកាល Tetrafluoromethane ត្រូវបានគេប្រើជាឧបករណ៍ត្រជាក់សីតុណ្ហភាពទាប។

② ការឆ្លាក់៖

វាត្រូវបានគេប្រើនៅក្នុង microfabrication អេឡិចត្រូនិកតែម្នាក់ឯង ឬរួមបញ្ចូលគ្នាជាមួយអុកស៊ីហ៊្សែនជាសារធាតុប្លាស្មាសម្រាប់ស៊ីលីកុន ស៊ីលីកុនឌីអុកស៊ីត និងស៊ីលីកុននីត្រាត។

កញ្ចប់ធម្មតា៖

អត្ថប្រយោជន៍៖

① ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ គ្រឿងបរិក្ខារចុងក្រោយបង្អស់

② ក្រុមហ៊ុនផលិតវិញ្ញាបនបត្រ ISO;

③ការដឹកជញ្ជូនលឿន

④ ប្រព័ន្ធវិភាគលើបណ្តាញសម្រាប់ការត្រួតពិនិត្យគុណភាពនៅគ្រប់ជំហាន។

⑤ តម្រូវការខ្ពស់ និងដំណើរការល្អិតល្អន់សម្រាប់ការគ្រប់គ្រងស៊ីឡាំងមុនពេលបំពេញ។