កាបូនតេត្រាហ្វ្លុយអូរីត (CF4)

ប៉ារ៉ាម៉ែត្របច្ចេកទេស

កាបូនតេត្រាហ្វ្លុយអូរីត គឺជាអ៊ីដ្រូកាបូនដែលមានហាឡូហ្សែន ដែលមានរូបមន្តគីមី CF4។ វាអាចត្រូវបានចាត់ទុកថាជាអ៊ីដ្រូកាបូនដែលមានហាឡូហ្សែន មេតានដែលមានហាឡូហ្សែន ពែរហ្វ្លុយអូរីតកាបូន ឬជាសមាសធាតុអសរីរាង្គ។ កាបូនតេត្រាហ្វ្លុយអូរីត គឺជាឧស្ម័នគ្មានពណ៌ និងគ្មានក្លិន មិនរលាយក្នុងទឹក រលាយក្នុងបេនហ្សេន និងក្លរ៉ូហ្វម។ មានស្ថេរភាពក្រោមសីតុណ្ហភាព និងសម្ពាធធម្មតា ជៀសវាងសារធាតុអុកស៊ីតកម្មខ្លាំង សម្ភារៈងាយឆេះ ឬងាយឆេះ។ ឧស្ម័នមិនងាយឆេះ សម្ពាធខាងក្នុងនៃធុងនឹងកើនឡើងនៅពេលដែលប៉ះពាល់នឹងកំដៅខ្ពស់ ហើយមានគ្រោះថ្នាក់នៃការប្រេះ និងការផ្ទុះ។ វាមានស្ថេរភាពខាងគីមី និងមិនងាយឆេះ។ មានតែសារធាតុប្រតិកម្មលោហៈអាម៉ូញាក់-សូដ្យូមរាវប៉ុណ្ណោះដែលអាចដំណើរការនៅសីតុណ្ហភាពបន្ទប់។ កាបូនតេត្រាហ្វ្លុយអូរីត គឺជាឧស្ម័នដែលបណ្តាលឱ្យមានផលប៉ះពាល់ផ្ទះកញ្ចក់។ វាមានស្ថេរភាពខ្លាំង អាចស្ថិតនៅក្នុងបរិយាកាសបានយូរ និងជាឧស្ម័នផ្ទះកញ្ចក់ដ៏មានឥទ្ធិពលខ្លាំង។ កាបូនតេត្រាហ្វ្លុយអូរីតត្រូវបានប្រើក្នុងដំណើរការឆ្លាក់ប្លាស្មានៃសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នាផ្សេងៗ។ វាក៏ត្រូវបានគេប្រើជាឧស្ម័នឡាស៊ែរ ហើយត្រូវបានប្រើនៅក្នុងសារធាតុត្រជាក់សីតុណ្ហភាពទាប សារធាតុរំលាយ ប្រេងរំអិល សម្ភារៈអ៊ីសូឡង់ និងសារធាតុត្រជាក់សម្រាប់ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដ។ វាគឺជាឧស្ម័នឆ្លាក់ប្លាស្មាដែលប្រើច្រើនបំផុតនៅក្នុងឧស្សាហកម្មមីក្រូអេឡិចត្រូនិច។ វាគឺជាល្បាយនៃឧស្ម័ន tetrafluoromethane ដ៏បរិសុទ្ធខ្ពស់ និងឧស្ម័ន tetrafluoromethane ដ៏បរិសុទ្ធខ្ពស់ និងអុកស៊ីសែនដ៏បរិសុទ្ធខ្ពស់។ វាអាចត្រូវបានប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងស៊ីលីកុន ស៊ីលីកុនឌីអុកស៊ីត ស៊ីលីកុននីទ្រីត និងកញ្ចក់ផូស្វ័រស៊ីលីត។ ការឆ្លាក់វត្ថុធាតុខ្សែភាពយន្តស្តើងដូចជាទុងស្តែន និងទុងស្តែនក៏ត្រូវបានគេប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងការសម្អាតផ្ទៃនៃឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិច ការផលិតកោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យ បច្ចេកវិទ្យាឡាស៊ែរ ទូរទឹកកកសីតុណ្ហភាពទាប ការត្រួតពិនិត្យការលេចធ្លាយ និងសាប៊ូបោកខោអាវក្នុងការផលិតសៀគ្វីបោះពុម្ព។ ប្រើជាទូរទឹកកកសីតុណ្ហភាពទាប និងបច្ចេកវិទ្យាឆ្លាក់ប្លាស្មាស្ងួតសម្រាប់សៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នា។ ការប្រុងប្រយ័ត្នសម្រាប់ការផ្ទុក៖ ទុកក្នុងឃ្លាំងឧស្ម័នដែលមិនងាយឆេះដែលមានខ្យល់ចេញចូលត្រជាក់។ ទុកឱ្យឆ្ងាយពីប្រភពភ្លើង និងកំដៅ។ សីតុណ្ហភាពផ្ទុកមិនគួរលើសពី 30°C ទេ។ វាគួរតែរក្សាទុកដាច់ដោយឡែកពីវត្ថុងាយឆេះ និងសារធាតុអុកស៊ីតកម្ម ហើយជៀសវាងការផ្ទុកចម្រុះ។ កន្លែងផ្ទុកគួរតែត្រូវបានបំពាក់ដោយឧបករណ៍ព្យាបាលការលេចធ្លាយសង្គ្រោះបន្ទាន់។

ការដាក់ពាក្យ៖

① សារធាតុត្រជាក់៖

តេត្រាហ្វ្លុយអូរ៉ូមេតាន ជួនកាលត្រូវបានគេប្រើជាសារធាតុត្រជាក់សីតុណ្ហភាពទាប។

② ការឆ្លាក់៖

វាត្រូវបានគេប្រើតែនៅក្នុងការផលិតខ្នាតតូចអេឡិចត្រូនិច ឬរួមផ្សំជាមួយអុកស៊ីសែន ជាសារធាតុឆ្លាក់ប្លាស្មាសម្រាប់ស៊ីលីកុន ស៊ីលីកុនឌីអុកស៊ីត និងស៊ីលីកុននីទ្រីត។

កញ្ចប់ធម្មតា៖

គុណសម្បត្តិ៖

①ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ សម្ភារៈទំនើបបំផុត;

② ក្រុមហ៊ុនផលិតវិញ្ញាបនបត្រ ISO;

③ការដឹកជញ្ជូនលឿន;

④ប្រព័ន្ធវិភាគតាមអ៊ីនធឺណិតសម្រាប់ការគ្រប់គ្រងគុណភាពនៅគ្រប់ជំហាន។

⑤តម្រូវការខ្ពស់ និងដំណើរការយ៉ាងល្អិតល្អន់សម្រាប់ការដោះស្រាយស៊ីឡាំងមុនពេលបំពេញ;