Epitaxial (ការលូតលាស់)ល្បាយហ្គាs

នៅក្នុងឧស្សាហកម្ម semiconductor ឧស្ម័នដែលប្រើដើម្បីបណ្តុះស្រទាប់មួយ ឬច្រើននៃសម្ភារៈដោយការបញ្ចេញចំហាយគីមីនៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមដែលបានជ្រើសរើសយ៉ាងប្រុងប្រយ័ត្នត្រូវបានគេហៅថា ឧស្ម័ន epitaxial ។

ឧស្ម័ន epitaxial ស៊ីលីកុនដែលប្រើជាទូទៅរួមមាន dichlorosilane, silicon tetrachloride និងស៊ីលីន. ត្រូវបានប្រើជាចម្បងសម្រាប់ការដាក់ស្រទាប់ស៊ីលីកុន epitaxial, ការដាក់ខ្សែភាពយន្តស៊ីលីកុនអុកស៊ីត, ការដាក់ខ្សែភាពយន្តស៊ីលីកុននីត្រាត, ការដាក់ខ្សែភាពយន្តស៊ីលីកុនអាម៉ូហ្វសម្រាប់កោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យ និងឧបករណ៍ទទួលពន្លឺផ្សេងៗទៀត។

ឧស្ម័នចំរុះគីមី (CVD)

CVD គឺជាវិធីសាស្រ្តនៃការដាក់ធាតុនិងសមាសធាតុមួយចំនួនដោយប្រតិកម្មគីមីដំណាក់កាលឧស្ម័នដោយប្រើសមាសធាតុងាយនឹងបង្កជាហេតុ ពោលគឺវិធីសាស្ត្របង្កើតខ្សែភាពយន្តដោយប្រើប្រតិកម្មគីមីដំណាក់កាលឧស្ម័ន។ អាស្រ័យលើប្រភេទនៃខ្សែភាពយន្តដែលបានបង្កើតឡើង ការបញ្ចេញឧស្ម័នចំហាយគីមី (CVD) ដែលត្រូវបានប្រើក៏ខុសគ្នាដែរ។

សារធាតុញៀនឧស្ម័នចម្រុះ

នៅក្នុងការផលិតឧបករណ៍ semiconductor និងសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នា ភាពមិនបរិសុទ្ធមួយចំនួនត្រូវបានជ្រលក់ចូលទៅក្នុងសម្ភារៈ semiconductor ដើម្បីផ្តល់ឱ្យវត្ថុធាតុដើមនូវប្រភេទ conductivity ដែលត្រូវការ និង resistivity ជាក់លាក់មួយសម្រាប់ផលិត resistors, PN junctions, buried layers ល។ ឧស្ម័នដែលប្រើក្នុងដំណើរការ doping ត្រូវបានគេហៅថា doping gas ។

ភាគច្រើនរួមមាន arsine, phosphine, phosphorus trifluoride, phosphorus pentafluoride, arsenic trifluoride, arsenic pentafluoride,boron trifluoride, diborane ជាដើម។

ជាធម្មតា ប្រភពសារធាតុ doping ត្រូវបានលាយជាមួយឧស្ម័នដឹកជញ្ជូន (ដូចជា argon និងអាសូត) នៅក្នុងធុងប្រភព។ បន្ទាប់ពីលាយរួច លំហូរឧស្ម័នត្រូវបានចាក់ជាបន្តបន្ទាប់ទៅក្នុងឡដែលសាយភាយ ហើយព័ទ្ធជុំវិញ wafer ដោយដាក់សារធាតុ dopants ទៅលើផ្ទៃនៃ wafer ហើយបន្ទាប់មកមានប្រតិកម្មជាមួយស៊ីលីកុនដើម្បីបង្កើតលោហធាតុ doped ដែលធ្វើចំណាកស្រុកទៅជាស៊ីលីកុន។

ការឆ្លាក់ល្បាយឧស្ម័ន

Etching គឺដើម្បីលុបផ្ទៃកែច្នៃ (ដូចជាខ្សែភាពយន្តដែក ខ្សែភាពយន្តស៊ីលីកុនអុកស៊ីដ។

វិធី​សាស្រ្ដ​រួម​បញ្ចូល​ទាំង​ការ​ឆ្លាក់​គីមី​សើម និង​ការ​ឆ្លាក់​គីមី​ស្ងួត។ ឧស្ម័នដែលប្រើក្នុងការ etching គីមីស្ងួតត្រូវបានគេហៅថា etching gas ។

ឧស្ម័ន Etching គឺជាធម្មតាឧស្ម័ន fluoride (halide) ដូចជាកាបូន tetrafluoride, អាសូត trifluoride, trifluoromethane, hexafluoroethane, perfluoropropane ជាដើម។