ការលូតលាស់ (Epitaxial)ហ្គាចម្រុះs

នៅក្នុងឧស្សាហកម្មស៊ីមីកុងដុកទ័រ ឧស្ម័នដែលប្រើសម្រាប់ដាំស្រទាប់សម្ភារៈមួយ ឬច្រើនស្រទាប់ដោយការដាក់ចំហាយគីមីលើស្រទាប់ខាងក្រោមដែលបានជ្រើសរើសយ៉ាងប្រុងប្រយ័ត្នត្រូវបានគេហៅថា ឧស្ម័នអេពីតាក់ស៊ីល។

ឧស្ម័នអេពីតាក់ស៊ីលស៊ីលីកុនដែលប្រើជាទូទៅរួមមាន ឌីក្លរ៉ូស៊ីឡាន ស៊ីលីកុនតេត្រាក្លរីត និងស៊ីឡានភាគច្រើនត្រូវបានប្រើសម្រាប់ការដាក់ស៊ីលីកុនអេពីតាក់ស៊ី ការដាក់ខ្សែភាពយន្តស៊ីលីកុនអុកស៊ីដ ការដាក់ខ្សែភាពយន្តស៊ីលីកុននីទ្រីត ការដាក់ខ្សែភាពយន្តស៊ីលីកុនអាម៉ូហ្វូសសម្រាប់កោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យ និងឧបករណ៍ទទួលពន្លឺផ្សេងទៀត។ល។ អេពីតាក់ស៊ីគឺជាដំណើរការមួយដែលសម្ភារៈគ្រីស្តាល់តែមួយត្រូវបានដាក់ និងលូតលាស់នៅលើផ្ទៃនៃស្រទាប់ខាងក្រោម។

ឧស្ម័នចម្រុះនៃការប្រមូលផ្តុំចំហាយគីមី (CVD)

CVD គឺជាវិធីសាស្ត្រនៃការដាក់ធាតុ និងសមាសធាតុមួយចំនួនដោយប្រតិកម្មគីមីដំណាក់កាលឧស្ម័នដោយប្រើសមាសធាតុងាយនឹងបង្កជាហេតុ ពោលគឺវិធីសាស្ត្របង្កើតខ្សែភាពយន្តដោយប្រើប្រតិកម្មគីមីដំណាក់កាលឧស្ម័ន។ អាស្រ័យលើប្រភេទនៃខ្សែភាពយន្តដែលបានបង្កើតឡើង ឧស្ម័នដាក់ចំហាយគីមី (CVD) ដែលប្រើក៏ខុសគ្នាដែរ។

ការប្រើប្រាស់សារធាតុដូប៉ាមីនឧស្ម័នចម្រុះ

ក្នុងការផលិតឧបករណ៍ស៊ីមីកុងដុកទ័រ និងសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នា ភាពមិនបរិសុទ្ធមួយចំនួនត្រូវបានបន្ថែមទៅក្នុងវត្ថុធាតុស៊ីមីកុងដុកទ័រ ដើម្បីផ្តល់ឱ្យវត្ថុធាតុនូវប្រភេទចរន្តអគ្គិសនីដែលត្រូវការ និងរេស៊ីស្តង់ជាក់លាក់មួយ ដើម្បីផលិតរេស៊ីស្តង់ ចំណុចប្រសព្វ PN ស្រទាប់កប់ ជាដើម។ ឧស្ម័នដែលប្រើក្នុងដំណើរការដូពីងត្រូវបានគេហៅថា ឧស្ម័នដូពីង។

ភាគច្រើនរួមមាន អាស៊ីន, ផូស្វ័រ, ផូស្វ័រទ្រីហ្វ្លុយអូរីត, ផូស្វ័រប៉ែនតាហ្វ្លុយអូរីត, អាសេនិចទ្រីហ្វ្លុយអូរីត, អាសេនិចប៉ែនតាហ្វ្លុយអូរីត,បូរ៉ុន ទ្រីហ្វ្លុយអូរីត, ឌីបូរ៉ាន ជាដើម។

ជាធម្មតា ប្រភពសារធាតុដូប៉ង់ត្រូវបានលាយជាមួយឧស្ម័នផ្ទុក (ដូចជាអារហ្គុន និងអាសូត) នៅក្នុងទូប្រភព។ បន្ទាប់ពីលាយរួច លំហូរឧស្ម័នត្រូវបានចាក់ចូលទៅក្នុងឡសាយភាយជាបន្តបន្ទាប់ ហើយហ៊ុំព័ទ្ធបន្ទះសៀគ្វី ដោយដាក់សារធាតុដូប៉ង់នៅលើផ្ទៃបន្ទះសៀគ្វី ហើយបន្ទាប់មកធ្វើប្រតិកម្មជាមួយស៊ីលីកុន ដើម្បីបង្កើតលោហធាតុដូប៉ង់ដែលធ្វើចំណាកស្រុកទៅក្នុងស៊ីលីកុន។

ការឆ្លាក់ល្បាយឧស្ម័ន

ការឆ្លាក់​គឺ​ការ​ឆ្លាក់​ផ្ទៃ​ដំណើរការ (ដូចជា​ខ្សែភាពយន្ត​ដែក ខ្សែភាពយន្ត​អុកស៊ីដ​ស៊ីលីកុន។ល។) លើ​ស្រទាប់​ខាងក្រោម​ដោយ​មិន​ប្រើ​របាំង​ photoresist ខណៈ​ពេល​ដែល​រក្សា​តំបន់​នោះ​ដោយ​ប្រើ​របាំង photoresist ដើម្បី​ទទួល​បាន​លំនាំ​រូបភាព​ដែល​ត្រូវការ​លើ​ផ្ទៃ​ស្រទាប់​ខាងក្រោម។

វិធីសាស្ត្រ​ឆ្លាក់​រួមមាន​ការ​ឆ្លាក់​គីមី​សើម និង​ការ​ឆ្លាក់​គីមី​ស្ងួត។ ឧស្ម័ន​ដែល​ប្រើ​ក្នុង​ការ​ឆ្លាក់​គីមី​ស្ងួត​ត្រូវ​បាន​គេ​ហៅថា​ឧស្ម័ន​ឆ្លាក់។

ឧស្ម័នឆ្លាក់ជាធម្មតាគឺជាឧស្ម័នហ្វ្លុយអូរីត (ហាលីដ) ដូចជាកាបូនតេត្រាហ្វ្លុយអូរីត, អាសូត ទ្រីហ្វ្លុយអូរីត, ទ្រីហ្វ្លុយអូរីមេតាន, ហិចសាហ្វ្លុយអូរីអេតាន, ពែរហ្វ្លុយអូរីប្រូផេន ជាដើម។