ក្នុងដំណើរការផលិតរថយន្តអេឡិចត្រូនិចរបស់អេឡិចត្រូលីតបានរកឃើញនូវដំណើរការផលិតកម្មជឿនលឿនដែលត្រូវការប្រហែលជាឧស្ម័នប៉ុន្មានប្រភេទគឺត្រូវការ។ ឧស្ម័នជាទូទៅត្រូវបានបែងចែកជាឧស្ម័នភាគច្រើននិងឧស្ម័នពិសេស.

ការប្រើប្រាស់ឧស្ម័នក្នុងវិស័យមីក្រូទស្សន៍និងគ្រឿងអេឡិចត្រូនិកឧស្សាហកម្មការប្រើប្រាស់ហ្គាសតែងតែដើរតួនាទីយ៉ាងសំខាន់ក្នុងដំណើរការអេឡិចត្រូនិចជាពិសេសដំណើរការអេឡិចត្រូនិចត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងឧស្សាហកម្មផ្សេងៗ។ ពី Ulsi, TFT-LCD ទៅក្នុងឧស្សាហកម្ម MicroMeCheanic បច្ចុប្បន្នដំណើរការផលិតផលិតផលអេឡិចត្រូនិកត្រូវបានប្រើជាដំណើរការផលិតផលិតផលរួមទាំងការប្រកបអុកស៊ីតកម្មការអុកស៊ីតកម្មអ៊ីយ៉ុងការដាក់ប្រាក់អ៊ឹមស្តែន។ ល។

ឧទាហរណ៍មនុស្សជាច្រើនដឹងថាមានបន្ទះសៀគ្វីដែលធ្វើពីដីខ្សាច់ប៉ុន្តែក្រឡេកមើលដំណើរការផលិតបន្ទះឈីបទាំងមូលដែលត្រូវការសម្ភារៈបន្ថែមទៀតដូចជាអ្នកថតរូបការដុសខាត់វត្ថុរាវសម្ភារៈឧស្ម័នជាពិសេសគឺមិនអាចខ្វះបានទេ។ ការវេចខ្ចប់ត្រឡប់មកវិញនៅផ្នែកខាងក្រោយក៏ត្រូវការស្រទាប់ខាងក្រោមដែរការធ្វើអន្តរាយ, ការនាំមុខស៊ុមសម្ភារៈដែលមានសមា្ភារៈផ្សេងៗគ្នា។ ឧស្ម័នពិសេសអេឡិចត្រូនិចគឺជាសម្ភារៈធំបំផុតទី 2 ក្នុងតម្លៃផលិតកម្មអេឡិចត្រូនិកបន្ទាប់ពីស៊ីលីកុនវ៉េសអមដោយរបាំងមុខនិងអ្នកថតរូប។

ភាពបរិសុទ្ធនៃឧស្ម័នមានឥទ្ធិពលនៃការសំរេចចិត្តលើលទ្ធផលនៃសមាសធាតុនិងទិន្នផលផលិតផលហើយសុវត្ថិភាពការផ្គត់ផ្គង់ឧស្ម័នគឺទាក់ទងទៅនឹងសុខភាពរបស់បុគ្គលិកនិងសុវត្ថិភាពរបស់រោងចក្រ។ ហេតុអ្វីបានជាភាពបរិសុទ្ធនៃឧស្ម័នមានឥទ្ធិពលយ៉ាងខ្លាំងទៅលើខ្សែដំណើរការនិងបុគ្គលិក? នេះមិនមែនជាការនិយាយបំផ្លើសទេប៉ុន្តែត្រូវបានកំណត់ដោយលក្ខណៈគ្រោះថ្នាក់នៃឧស្ម័នខ្លួនឯង។

ចំណាត់ថ្នាក់ឧស្ម័នរួមនៅក្នុងឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិច

ឧស្ម័នធម្មតា

ឧស្ម័នធម្មតាក៏ត្រូវបានគេហៅថាឧស្ម័នភាគច្រើនផងដែរ: វាសំដៅទៅលើឧស្ម័នឧស្សាហកម្មដែលមានតម្រូវការសុទ្ធទាបជាង 5N និងបរិមាណផលិតកម្មនិងទំហំលក់ដ៏ធំ។ វាអាចត្រូវបានបែងចែកជាឧស្ម័នបំបែកខ្យល់និងឧស្ម័នសំយោគយោងទៅតាមវិធីសាស្រ្តនៃការរៀបចំផ្សេងៗគ្នា។ អ៊ីដ្រូសែន (H2), អាសូត (N2) អុកស៊ីសែន (O2), argon (A2) ។ ល។

ឧស្ម័នជំនាញ

ហ្គាសពិសេសសំដៅទៅលើឧស្ម័នឧស្សាហកម្មដែលត្រូវបានប្រើក្នុងវិស័យជាក់លាក់និងមានតម្រូវការពិសេសសម្រាប់ភាពបរិសុទ្ធភាពរឹងមាំនិងលក្ខណៈសម្បត្តិ។ រេចីនតេsih 4, ph3, B2H6, A8H3,អេសអិល, CF4,nh3, pocl3, sih2cl2, sihccl3,nh3, BCL3, SIF4, CLF3, CO2F6, N2O, F2, HF, HF,sF6... ហើយដូច្នេះនៅលើ។

ប្រភេទឧស្ម័នស៊ីអេសអេស

ប្រភេទនៃឧស្ម័នពិសេស: ការច្រេះ, ពុល, ងាយឆេះ, ការគាំទ្រការចំហេះ, អសកម្ម, irt.
ឧស្ម័នអេឡិចត្រូនិចអេឡិចត្រូនិចជាទូទៅត្រូវបានចាត់ថ្នាក់ដូចខាងក្រោម:
(i) ពុករលួយ / ពុល:អេសអិល, BF3, WF6, HBR, SIH2CHCH, NH3, PH3, CL2,BCL3...
(ii) ងាយឆេះ: H2,ចូវ,sih 4, PH3, ash3, Sih2ccl2, B2H6, ch2f2, ch2f2, CH3F, CO ...
(iii) អាចធ្វើឱ្យអន្តរាយ: O2, CL2, N2O, NF3 ...
(iv) អសកម្ម: N2,CF4, C2F6,C4F8,sF6, CO2,Ne,Kr, គាត់ ...

នៅក្នុងដំណើរការនៃការផលិតបន្ទះឈីបអេឡិចត្រូនិកប្រហែល 50 ប្រភេទផ្សេងៗគ្នា (សំដៅទៅលើឧស្ម័នពិសេស) ត្រូវបានប្រើក្នុងការកត់សុីការតម្កល់ប្រាក់បញ្ញើការចាក់ថ្នាំ photolitho ខ្ចទាននិងជំហានដំណើរការសរុបលើសពីរយ។ ឧទាហរណ៍ PH3 និង Ash3 ត្រូវបានប្រើជាប្រភពផូស្វ័រនិងសារធាតុអាសេនិចក្នុងដំណើរការផ្សព្វផ្សាយអ៊ីយ៉ុង CF6 និង Halogen ឧស្ម័ន Ci2, N2, N2, N2, rec

ពីទិដ្ឋភាពខាងលើយើងអាចយល់បានថាឧស្ម័នអេឡិចត្រូនិចជាច្រើនមានះថាក់ដល់រាងកាយមនុស្ស។ ជាពិសេសឧស្ម័នខ្លះដូចជាស៊ីហមានបញ្ឆេះខ្លួនឯង។ ដរាបណាពួកគេបែកធ្លាយពួកគេនឹងមានប្រតិកម្មយ៉ាងខ្លាំងចំពោះអុកស៊ីសែននៅលើអាកាសហើយចាប់ផ្តើមដុត។ ហើយ Ash3 គឺមានជាតិពុលខ្លាំងណាស់។ ការលេចធ្លាយបន្តិចបន្តួចអាចបណ្តាលឱ្យមានគ្រោះថ្នាក់ដល់អាយុជីវិតប្រជាជនដូច្នេះតម្រូវការសម្រាប់សុវត្ថិភាពនៃការរចនាប្រព័ន្ធត្រួតពិនិត្យសម្រាប់ការប្រើប្រាស់ឧស្ម័នពិសេសគឺខ្ពស់ជាពិសេសខ្ពស់ណាស់។

អេឡិចត្រូនិចទាមទារឧស្ម័នភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់មាន "បីដឺក្រេ"

ភាពបរិសុទ្ធហ្គាស

ខ្លឹមសារនៃបរិយាកាសនៃការធ្វើឧស្ម័នជាធម្មតាត្រូវបានសម្តែងជាភាគរយនៃភាពបរិសុទ្ធនៃឧស្ម័នដូចជា 99,9999% ។ និយាយជាទូទៅតម្រូវការសុទ្ធសម្រាប់ឧស្ម័នពិសេសអេឡិចត្រូនិចឈានដល់ 5n-6N ហើយក៏ត្រូវបានបង្ហាញដោយសមាមាត្របរិមាណនៃបរិយាកាសនៃបរិយាកាសរបស់ PPM (ផ្នែកក្នុងមួយលាន), PPB (ផ្នែកមួយពាន់លាន) ។ វាលអេឡិចត្រូនិចអេឡិចត្រូនិចមានតម្រូវការខ្ពស់បំផុតសម្រាប់ភាពបរិសុទ្ធនិងស្ថេរភាពគុណភាពនៃឧស្ម័នពិសេសហើយភាពបរិសុទ្ធនៃឧស្ម័នពិសេសអេឡិចត្រូនិចជាទូទៅធំជាង 6N ។

ផាបសួត

ខ្លឹមសារនៃការតាមដានទឹកនៅក្នុងឧស្ម័នឬសើមជាធម្មតាត្រូវបានសម្តែងនៅក្នុងចំណុចទឹកសន្សើមដូចជាបរិយាកាសទឹកសន្សើម -70 ℃។

ការរកសាសេចក្ដីបរិសុត្ធ

ចំនួនភាគល្អិតបំពុលក្នុងឧស្ម័នភាគល្អិតដែលមានទំហំភាគល្អិតμmត្រូវបានបង្ហាញថាមានចំនួនប៉ុន្មានភាគល្អិត / ម 3 ។ សម្រាប់ខ្យល់ដែលបានបង្ហាប់វាត្រូវបានសម្តែងជាធម្មតានៅក្នុង MG / M3 នៃសំណល់រឹងដែលមិនអាចចៀសផុតបានដែលរួមមានមាតិកាប្រេង។