នៅក្នុងដំណើរការផលិតរោងចក្រផលិតបន្ទះសៀគ្វីអេឡិចត្រូនិចដែលមានដំណើរការផលិតកម្មជឿនលឿន ត្រូវការឧស្ម័នជិត 50 ប្រភេទផ្សេងៗគ្នា។ ឧស្ម័នជាទូទៅត្រូវបានបែងចែកជាឧស្ម័នភាគច្រើន និងឧស្ម័នពិសេស.

ការអនុវត្តឧស្ម័ននៅក្នុងឧស្សាហកម្មមីក្រូអេឡិចត្រូនិច និងស៊ីមីកុងដុកទ័រ ការប្រើប្រាស់ឧស្ម័នតែងតែដើរតួនាទីយ៉ាងសំខាន់នៅក្នុងដំណើរការស៊ីមីកុងដុកទ័រ ជាពិសេសដំណើរការស៊ីមីកុងដុកទ័រត្រូវបានគេប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងឧស្សាហកម្មផ្សេងៗ។ ចាប់ពី ULSI, TFT-LCD រហូតដល់ឧស្សាហកម្មមីក្រូអេឡិចត្រូមេកានិច (MEMS) បច្ចុប្បន្ន ដំណើរការស៊ីមីកុងដុកទ័រត្រូវបានប្រើជាដំណើរការផលិតផលិតផល រួមទាំងការឆ្លាក់ស្ងួត អុកស៊ីតកម្ម ការផ្សាំអ៊ីយ៉ុង ការដាក់ស្រទាប់ស្តើងជាដើម។

ឧទាហរណ៍ មនុស្សជាច្រើនដឹងថាបន្ទះឈីបត្រូវបានផលិតពីខ្សាច់ ប៉ុន្តែបើក្រឡេកមើលដំណើរការទាំងមូលនៃការផលិតបន្ទះឈីប សម្ភារៈជាច្រើនទៀតគឺត្រូវការ ដូចជាសារធាតុ photoresist សារធាតុរាវប៉ូលា សម្ភារៈគោលដៅ ឧស្ម័នពិសេស។ល។ គឺមិនអាចខ្វះបាន។ ការវេចខ្ចប់ផ្នែកខាងក្រោយក៏តម្រូវឱ្យមានស្រទាប់ខាងក្រោម ឧបករណ៍ភ្ជាប់ ស៊ុមនាំមុខ សម្ភារៈភ្ជាប់។ល។ នៃសម្ភារៈផ្សេងៗ។ ឧស្ម័នពិសេសអេឡិចត្រូនិចគឺជាសម្ភារៈធំទីពីរនៅក្នុងការចំណាយលើការផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័របន្ទាប់ពីបន្ទះស៊ីលីកុន បន្ទាប់មកគឺរបាំងមុខ និងសារធាតុ photoresist។

ភាពបរិសុទ្ធនៃឧស្ម័នមានឥទ្ធិពលយ៉ាងច្បាស់លាស់ទៅលើដំណើរការនៃសមាសធាតុ និងទិន្នផលផលិតផល ហើយសុវត្ថិភាពនៃការផ្គត់ផ្គង់ឧស្ម័នគឺទាក់ទងនឹងសុខភាពរបស់បុគ្គលិក និងសុវត្ថិភាពនៃប្រតិបត្តិការរោងចក្រ។ ហេតុអ្វីបានជាភាពបរិសុទ្ធនៃឧស្ម័នមានឥទ្ធិពលយ៉ាងខ្លាំងទៅលើខ្សែសង្វាក់ដំណើរការ និងបុគ្គលិក? នេះមិនមែនជាការបំផ្លើសទេ ប៉ុន្តែត្រូវបានកំណត់ដោយលក្ខណៈគ្រោះថ្នាក់នៃឧស្ម័នខ្លួនឯង។

ការចាត់ថ្នាក់ឧស្ម័នទូទៅនៅក្នុងឧស្សាហកម្មស៊ីមីកុងដុកទ័រ

ឧស្ម័នធម្មតា

ឧស្ម័នធម្មតាក៏ត្រូវបានគេហៅថាឧស្ម័នភាគច្រើនផងដែរ៖ វាសំដៅទៅលើឧស្ម័នឧស្សាហកម្មដែលមានតម្រូវការភាពបរិសុទ្ធទាបជាង 5N និងបរិមាណផលិតកម្ម និងការលក់ច្រើន។ វាអាចបែងចែកជាឧស្ម័នបំបែកខ្យល់ និងឧស្ម័នសំយោគតាមវិធីសាស្រ្តរៀបចំផ្សេងៗគ្នា។ អ៊ីដ្រូសែន (H2) អាសូត (N2) អុកស៊ីសែន (O2) អារហ្គុន (A2) ជាដើម។

ឧស្ម័នពិសេស

ឧស្ម័នពិសេសសំដៅលើឧស្ម័នឧស្សាហកម្មដែលត្រូវបានប្រើប្រាស់ក្នុងវិស័យជាក់លាក់ និងមានតម្រូវការពិសេសសម្រាប់ភាពបរិសុទ្ធ ពូជ និងលក្ខណៈសម្បត្តិ។ ជាចម្បងSiH4, PH3, B2H6, A8H3,សារធាតុ HCL, CF4,NH3, POCL3, SIH2CL2, SIHCL3,NH3, BCL3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6... ហើយដូច្នេះនៅលើ។

ប្រភេទនៃឧស្ម័នធម្មជាតិ

ប្រភេទឧស្ម័នពិសេស៖ សារធាតុกัดกร่อน សារធាតុពុល សារធាតុងាយឆេះ សារធាតុទ្រទ្រង់ចំហេះ អសកម្ម ជាដើម។
ឧស្ម័ន​ស៊ីមីកុងដុកទ័រ​ដែល​ប្រើ​ជាទូទៅ​ត្រូវ​បាន​ចាត់​ថ្នាក់​ដូច​ខាង​ក្រោម៖
(i) សារធាតុกัดกร่อน/ពុល៖HCl, BF3, WF6, HBr, SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2,BCl3…
(ii) ងាយឆេះ៖ H2CH4,SiH4PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2, CH3F, CO...
(iii) ងាយឆេះ៖ O2, Cl2, N2O, NF3…
(iv) អសកម្ម៖ N2CF4,C2F6,C4F8,SF6, CO2,Ne,Krលោក…

នៅក្នុងដំណើរការនៃការផលិតបន្ទះឈីបស៊ីមីកុងដុកទ័រ ឧស្ម័នពិសេសប្រហែល 50 ប្រភេទផ្សេងៗគ្នា (ហៅថាឧស្ម័នពិសេស) ត្រូវបានប្រើប្រាស់ក្នុងដំណើរការអុកស៊ីតកម្ម ការសាយភាយ ការដាក់ស្រទាប់ ការឆ្លាក់ ការចាក់ ការធ្វើរូបថតលីតូក្រាហ្វី និងដំណើរការផ្សេងៗទៀត ហើយជំហានដំណើរការសរុបលើសពីរាប់រយ។ ឧទាហរណ៍ PH3 និង AsH3 ត្រូវបានប្រើជាប្រភពផូស្វ័រ និងអាសេនិចនៅក្នុងដំណើរការដាក់បញ្ចូលអ៊ីយ៉ុង ឧស្ម័នដែលមានមូលដ្ឋានលើ F CF4, CHF3, SF6 និងឧស្ម័នហាឡូហ្សែន CI2, BCI3, HBr ត្រូវបានគេប្រើជាទូទៅនៅក្នុងដំណើរការឆ្លាក់ SiH4, NH3, N2O នៅក្នុងដំណើរការខ្សែភាពយន្តដាក់ស្រទាប់ F2/Kr/Ne, Kr/Ne នៅក្នុងដំណើរការធ្វើរូបថតលីតូក្រាហ្វី។

ពីទិដ្ឋភាពខាងលើ យើងអាចយល់បានថាឧស្ម័នស៊ីមីកុងដុកទ័រជាច្រើនមានគ្រោះថ្នាក់ដល់រាងកាយមនុស្ស។ ជាពិសេស ឧស្ម័នមួយចំនួន ដូចជា SiH4 អាចឆេះដោយខ្លួនឯង។ ដរាបណាវាលេចធ្លាយ វានឹងមានប្រតិកម្មខ្លាំងជាមួយអុកស៊ីសែននៅលើអាកាស ហើយចាប់ផ្តើមឆេះ។ ហើយ AsH3 មានជាតិពុលខ្លាំង។ ការលេចធ្លាយបន្តិចបន្តួចអាចបង្កគ្រោះថ្នាក់ដល់អាយុជីវិតមនុស្ស ដូច្នេះតម្រូវការសម្រាប់សុវត្ថិភាពនៃការរចនាប្រព័ន្ធត្រួតពិនិត្យសម្រាប់ការប្រើប្រាស់ឧស្ម័នពិសេសគឺខ្ពស់ជាពិសេស។

ឧបករណ៍​អេឡិចត្រូនិក​តម្រូវ​ឱ្យ​ឧស្ម័ន​បរិសុទ្ធ​ខ្ពស់​មាន «បី​ដឺក្រេ»

ភាពបរិសុទ្ធនៃឧស្ម័ន

មាតិកានៃភាពមិនបរិសុទ្ធនៅក្នុងឧស្ម័នជាធម្មតាត្រូវបានបង្ហាញជាភាគរយនៃភាពបរិសុទ្ធនៃឧស្ម័ន ដូចជា 99.9999%។ ជាទូទៅ តម្រូវការភាពបរិសុទ្ធសម្រាប់ឧស្ម័នពិសេសអេឡិចត្រូនិចឈានដល់ 5N-6N ហើយក៏ត្រូវបានបង្ហាញដោយសមាមាត្របរិមាណនៃមាតិកាបរិយាកាសនៃភាពមិនបរិសុទ្ធ ppm (ផ្នែកក្នុងមួយលាន) ppb (ផ្នែកក្នុងមួយពាន់លាន) និង ppt (ផ្នែកក្នុងមួយពាន់ពាន់លាន)។ វាលអេឡិចត្រូនិចអេឡិចត្រូនិចមានតម្រូវការខ្ពស់បំផុតសម្រាប់ភាពបរិសុទ្ធ និងស្ថេរភាពគុណភាពនៃឧស្ម័នពិសេស ហើយភាពបរិសុទ្ធនៃឧស្ម័នពិសេសអេឡិចត្រូនិចជាទូទៅធំជាង 6N។

ភាពស្ងួត

មាតិកាទឹកតិចតួចនៅក្នុងឧស្ម័ន ឬសំណើម ជាធម្មតាត្រូវបានបង្ហាញជាចំណុចទឹកសន្សើម ដូចជាចំណុចទឹកសន្សើមបរិយាកាស -70℃។

អនាម័យ

ចំនួនភាគល្អិតបំពុលនៅក្នុងឧស្ម័ន ភាគល្អិតដែលមានទំហំភាគល្អិត µm ត្រូវបានបង្ហាញជាចំនួនភាគល្អិត/ម3។ ចំពោះខ្យល់ដែលបានបង្ហាប់ ជាធម្មតាវាត្រូវបានបង្ហាញជា mg/ម3 នៃសំណល់រឹងដែលមិនអាចជៀសវាងបាន ដែលរួមបញ្ចូលទាំងមាតិកាប្រេង។