សមាសភាគ | 99.9999% | ឯកតា |
អុកស៊ីសែន (Ar) | ≤0.1 | ppmV |
អាសូត | ≤0.1 | ppmV |
អ៊ីដ្រូសែន | ≤20 | ppmV |
អេលីយ៉ូម | ≤10 | ppmV |
CO+CO2 | ≤0.1 | ppmV |
THC | ≤0.1 | ppmV |
ក្លរ៉ូស៊ីឡែន | ≤0.1 | ppmV |
ថ្នាំ Disiloxane | ≤0.1 | ppmV |
ឌីស៊ីឡែន | ≤0.1 | ppmV |
សំណើម (H2O) | ≤0.1 | ppmV |
Silane គឺជាសមាសធាតុនៃស៊ីលីកុន និងអ៊ីដ្រូសែន។ វាគឺជាពាក្យទូទៅសម្រាប់ស៊េរីនៃសមាសធាតុរួមមាន monosilane (SiH4), disilane (Si2H6) និងសមាសធាតុស៊ីលីកុន-អ៊ីដ្រូសែនកម្រិតខ្ពស់មួយចំនួន។ ក្នុងចំនោមពួកគេ monosilane គឺជារឿងធម្មតាបំផុតដែលជួនកាលត្រូវបានគេហៅថា silane ក្នុងរយៈពេលខ្លី។ ស៊ីលីនគឺជាឧស្ម័នគ្មានពណ៌ដែលមានក្លិនខ្ទឹមគួរឱ្យស្អប់ខ្ពើម។ រលាយក្នុងទឹកស្ទើរតែមិនរលាយក្នុងអេតាណុល អេធើរ បេនហ្សេន ក្លរ៉ូហ្វម ស៊ីលីកុន ក្លរ៉ូហ្វម និងស៊ីលីកុនតេត្រាក្លរ។ លក្ខណៈគីមីរបស់ស៊ីលែនគឺសកម្មជាងអាល់កាន ហើយងាយកត់សុី។ ការឆេះដោយឯកឯងអាចកើតឡើងនៅពេលដែលមានទំនាក់ទំនងជាមួយខ្យល់។ វាមិនមានប្រតិកម្មជាមួយអាសូតក្រោម 25°C ហើយមិនមានប្រតិកម្មជាមួយសមាសធាតុអ៊ីដ្រូកាបូននៅសីតុណ្ហភាពបន្ទប់។ ភ្លើង និងការផ្ទុះនៃសារធាតុ silane គឺជាលទ្ធផលនៃប្រតិកម្មជាមួយអុកស៊ីហ្សែន។ Silane មានប្រតិកម្មខ្លាំងចំពោះអុកស៊ីសែន និងខ្យល់។ Silane ដែលមានកំហាប់ជាក់លាក់មួយក៏នឹងមានប្រតិកម្មផ្ទុះជាមួយនឹងអុកស៊ីសែននៅសីតុណ្ហភាព -180°C។ Silane បានក្លាយជាឧស្ម័នពិសេសដ៏សំខាន់បំផុតដែលប្រើក្នុងដំណើរការមីក្រូអេឡិចត្រូនិច semiconductor ហើយត្រូវបានគេប្រើក្នុងការរៀបចំខ្សែភាពយន្តមីក្រូអេឡិចត្រូនិចផ្សេងៗ រួមទាំងខ្សែភាពយន្តគ្រីស្តាល់តែមួយ មីក្រូគ្រីស្តាល់ ប៉ូលីគ្រីស្តាលីន ស៊ីលីកុនអុកស៊ីដ ស៊ីលីកុននីត្រាត និងស៊ីលីកុនលោហៈ។ កម្មវិធីមីក្រូអេឡិចត្រូនិចនៃ silane នៅតែកំពុងអភិវឌ្ឍយ៉ាងស៊ីជម្រៅ៖ អេពីតាស៊ីដែលមានសីតុណ្ហភាពទាប អេពីតាស៊ីជ្រើសរើស និងអេពីតាស៊ីអេពីតាស៊ី។ មិនត្រឹមតែសម្រាប់ឧបករណ៍ស៊ីលីកុន និងសៀគ្វីស៊ីលីកុនរួមបញ្ចូលគ្នាប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែវាក៏សម្រាប់ឧបករណ៍ semiconductor សមាសធាតុ (gallium arsenide, silicon carbide ជាដើម)។ វាក៏មានកម្មវិធីក្នុងការរៀបចំ superlattice quantum well materials ផងដែរ។ វាអាចនិយាយបានថាស៊ីលីនត្រូវបានប្រើប្រាស់នៅក្នុងខ្សែផលិតកម្មសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នាកម្រិតខ្ពស់ស្ទើរតែទាំងអស់នៅក្នុងសម័យទំនើប។ ការប្រើប្រាស់សារធាតុស៊ីលីនជាខ្សែភាពយន្ត និងថ្នាំកូតដែលមានសារធាតុស៊ីលីកុនបានពង្រីកពីឧស្សាហកម្មមីក្រូអេឡិចត្រូនិចបែបប្រពៃណីទៅកាន់វិស័យផ្សេងៗដូចជា ដែកថែប គ្រឿងម៉ាស៊ីន គីមី និងអុបទិក។ កម្មវិធីដ៏មានសក្តានុពលមួយទៀតនៃសារធាតុ silane គឺការផលិតគ្រឿងបន្លាស់ម៉ាស៊ីនសេរ៉ាមិចដែលមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់ ជាពិសេសការប្រើប្រាស់សារធាតុ silane ដើម្បីផលិតសារធាតុ silicide (Si3N4, SiC ។ល។) បច្ចេកវិទ្យាមីក្រូម្សៅបានទាក់ទាញការយកចិត្តទុកដាក់កាន់តែច្រើនឡើង។
① អេឡិចត្រូនិក៖
Silane ត្រូវបានអនុវត្តទៅស្រទាប់ស៊ីលីកុន polycrystalline នៅលើ wafers ស៊ីលីកូននៅពេលផលិត semiconductors និង sealants ។
②ពន្លឺព្រះអាទិត្យ៖
Silane ត្រូវបានប្រើនៅក្នុងការផលិតម៉ូឌុល photovoltaic ពន្លឺព្រះអាទិត្យ។
③ឧស្សាហកម្ម៖
វាត្រូវបានប្រើនៅក្នុងកញ្ចក់បៃតងដែលសន្សំសំចៃថាមពល និងបានអនុវត្តទៅនឹងដំណើរការខ្សែភាពយន្តស្តើងដែលបញ្ចេញចំហាយទឹក។
ផលិតផល | សារធាតុរាវ Silane SiH4 | |
ទំហំកញ្ចប់ | ស៊ីឡាំង ៤៧ លីត្រ | Y-440L |
ការបំពេញទំងន់សុទ្ធ/Cyl | 10 គីឡូក្រាម | ១២៥ គីឡូក្រាម |
QTY ផ្ទុកក្នុង 20'Container | ២៥០ ស៊ី | ៨ ស៊ីល។ |
ទំងន់សុទ្ធសរុប | 2.5 តោន | 1 តោន |
ទំងន់ស៊ីឡាំង | 52 គីឡូក្រាម | 680 គីឡូក្រាម |
វ៉ាល់ | CGA632/DISS632 |
①ជាងដប់ឆ្នាំនៅលើទីផ្សារ;
② ក្រុមហ៊ុនផលិតវិញ្ញាបនបត្រ ISO;
③ការដឹកជញ្ជូនលឿន
④ ប្រភពវត្ថុធាតុដើមមានស្ថេរភាព;
⑤ប្រព័ន្ធវិភាគលើបណ្តាញសម្រាប់ការត្រួតពិនិត្យគុណភាពនៅគ្រប់ជំហាន។
⑥ តម្រូវការខ្ពស់ និងដំណើរការល្អិតល្អន់សម្រាប់ការគ្រប់គ្រងស៊ីឡាំងមុនពេលបំពេញ។
⑦ ភាពបរិសុទ្ធ៖ ថ្នាក់អេឡិចត្រូនិចដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់;
⑧ ការប្រើប្រាស់៖ សម្ភារៈកោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យ; ផលិតប៉ូលីស៊ីលីកុន អុកស៊ីដស៊ីលីកុន និងសរសៃអុបទិក ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់; ការផលិតកញ្ចក់ពណ៌។