ឧស្ម័នពិសេស
-
ស្ពាន់ធ័រតេត្រាហ្វ្លុយអូរីត (SF4)
លេខ EINECS៖ 232-013-4
លេខ CAS៖ ៧៧៨៣-៦០-០ -
អុកស៊ីដអាសូត (N2O)
អុកស៊ីដអាសូត ដែលត្រូវបានគេស្គាល់ផងដែរថាជាឧស្ម័នសើច គឺជាសារធាតុគីមីដ៏គ្រោះថ្នាក់មួយដែលមានរូបមន្តគីមី N2O។ វាជាឧស្ម័នគ្មានពណ៌ និងមានក្លិនផ្អែម។ N2O គឺជាសារធាតុអុកស៊ីតកម្មដែលអាចទ្រទ្រង់ការចំហេះក្រោមលក្ខខណ្ឌជាក់លាក់ ប៉ុន្តែវាមានស្ថេរភាពនៅសីតុណ្ហភាពបន្ទប់ និងមានឥទ្ធិពលស្ពឹកបន្តិចបន្តួច ហើយអាចធ្វើឱ្យមនុស្សសើច។ -
កាបូនតេត្រាហ្វ្លុយអូរីត (CF4)
កាបូនតេត្រាហ្វ្លុយអូរីត ដែលត្រូវបានគេស្គាល់ផងដែរថាជាតេត្រាហ្វ្លុយអូរីតមេតាន គឺជាឧស្ម័នគ្មានពណ៌នៅសីតុណ្ហភាព និងសម្ពាធធម្មតា មិនរលាយក្នុងទឹក។ ឧស្ម័ន CF4 បច្ចុប្បន្នគឺជាឧស្ម័នឆ្លាក់ប្លាស្មាដែលប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយបំផុតនៅក្នុងឧស្សាហកម្មមីក្រូអេឡិចត្រូនិច។ វាក៏ត្រូវបានគេប្រើជាឧស្ម័នឡាស៊ែរ សារធាតុត្រជាក់សីតុណ្ហភាពទាប សារធាតុរំលាយ ប្រេងរំអិល សម្ភារៈអ៊ីសូឡង់ និងសារធាតុត្រជាក់សម្រាប់បំពង់ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដ។ -
ស៊ុលហ្វួរីល ហ្វ្លុយអូរីត (F2O2S)
ឧស្ម័នពុល ស៊ុលហ្វួរីល ហ្វ្លុយអូរីត SO2F2 ត្រូវបានគេប្រើជាថ្នាំសម្លាប់សត្វល្អិត។ ដោយសារតែស៊ុលហ្វួរីល ហ្វ្លុយអូរីត មានលក្ខណៈសាយភាយខ្លាំង និងភាពជ្រាបចូលខ្លាំង ថ្នាំសម្លាប់សត្វល្អិតវិសាលគមទូលំទូលាយ កម្រិតថ្នាំទាប បរិមាណសំណល់ទាប ល្បឿនសម្លាប់សត្វល្អិតលឿន ពេលវេលាបំបែកឧស្ម័នខ្លី ងាយស្រួលប្រើប្រាស់នៅសីតុណ្ហភាពទាប មិនមានឥទ្ធិពលលើអត្រាដំណុះ និងជាតិពុលទាប វាកាន់តែត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងឃ្លាំង កប៉ាល់ដឹកទំនិញ អគារ ទំនប់អាងស្តុកទឹក ការការពារសត្វកណ្តៀរជាដើម។ -
ស៊ីឡាន (SiH4)
ស៊ីឡាន SiH4 គឺជាឧស្ម័នដែលបានបង្ហាប់ដែលគ្មានពណ៌ មានជាតិពុល និងសកម្មខ្លាំងនៅសីតុណ្ហភាព និងសម្ពាធធម្មតា។ ស៊ីឡានត្រូវបានគេប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងការលូតលាស់ epitaxial នៃស៊ីលីកុន វត្ថុធាតុដើមសម្រាប់ប៉ូលីស៊ីលីកុន ស៊ីលីកុនអុកស៊ីដ ស៊ីលីកុននីទ្រីត ជាដើម កោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យ សរសៃអុបទិក ការផលិតកញ្ចក់ពណ៌ និងការដាក់ចំហាយគីមី។ -
អូតាហ្វ្លុយអូរ៉ូស៊ីក្លូប៊ូតាន (C4F8)
អុកស៊ីហ្វ្លុយអូរ៉ូស៊ីក្លូប៊ូតាន C4F8 ភាពបរិសុទ្ធនៃឧស្ម័ន៖ 99.999% ត្រូវបានគេប្រើជាញឹកញាប់ជាសារធាតុជំរុញអេរ៉ូសូលអាហារ និងឧស្ម័នមធ្យម។ វាត្រូវបានគេប្រើជាញឹកញាប់នៅក្នុងដំណើរការស៊ីមីកុងដុកទ័រ PECVD (Plasma Enhance. Chemical Vapor deposition) C4F8 ត្រូវបានប្រើជាជំនួស CF4 ឬ C2F6 ដែលត្រូវបានប្រើជាឧស្ម័នសម្អាត និងឧស្ម័នឆ្លាក់ដំណើរការស៊ីមីកុងដុកទ័រ។ -
អុកស៊ីដអាសូត (NO)
ឧស្ម័ននីទ្រីកអុកស៊ីដ គឺជាសមាសធាតុនៃអាសូត ដែលមានរូបមន្តគីមី NO។ វាគឺជាឧស្ម័នពុល គ្មានពណ៌ គ្មានក្លិន និងមិនអាចរលាយក្នុងទឹក។ អុកស៊ីដនីទ្រីកមានប្រតិកម្មគីមីខ្លាំង ហើយមានប្រតិកម្មជាមួយអុកស៊ីសែន ដើម្បីបង្កើតជាឧស្ម័នច្រេះ អាសូតឌីអុកស៊ីត (NO₂)។ -
អ៊ីដ្រូសែនក្លរួ (HCl)
ឧស្ម័នអ៊ីដ្រូសែនក្លរួ HCL គឺជាឧស្ម័នគ្មានពណ៌ដែលមានក្លិនស្អុយ។ ដំណោះស្រាយទឹករបស់វាត្រូវបានគេហៅថា អាស៊ីតអ៊ីដ្រូក្លរីក ដែលត្រូវបានគេស្គាល់ផងដែរថាជាអាស៊ីតអ៊ីដ្រូក្លរីក។ អ៊ីដ្រូសែនក្លរួភាគច្រើនត្រូវបានគេប្រើសម្រាប់ធ្វើថ្នាំជ្រលក់ គ្រឿងទេស ថ្នាំពេទ្យ ក្លរួជាច្រើនប្រភេទ និងសារធាតុទប់ស្កាត់ការច្រេះ។ -
ហិចសាហ្វ្លុយអូរ៉ូប្រូភីលីន (C3F6)
ហិចសាហ្វ្លុយអូរ៉ូប្រូភីលីន រូបមន្តគីមី៖ C3F6 គឺជាឧស្ម័នគ្មានពណ៌នៅសីតុណ្ហភាព និងសម្ពាធធម្មតា។ វាត្រូវបានប្រើជាចម្បងដើម្បីរៀបចំផលិតផលគីមីល្អិតៗដែលមានផ្ទុកហ្វ្លុយអូរីនជាច្រើនប្រភេទ ឱសថកម្រិតមធ្យម សារធាតុពន្លត់អគ្គីភ័យ ជាដើម ហើយក៏អាចត្រូវបានប្រើដើម្បីរៀបចំវត្ថុធាតុ polymer ដែលមានផ្ទុកហ្វ្លុយអូរីនផងដែរ។ -
អាម៉ូញាក់ (NH3)
អាម៉ូញាក់រាវ / អាម៉ូញាក់គ្មានជាតិទឹក គឺជាវត្ថុធាតុដើមគីមីដ៏សំខាន់មួយដែលមានកម្មវិធីជាច្រើនប្រភេទ។ អាម៉ូញាក់រាវអាចត្រូវបានប្រើជាសារធាតុត្រជាក់។ វាត្រូវបានប្រើជាចម្បងដើម្បីផលិតអាស៊ីតនីទ្រីក អ៊ុយរ៉េ និងជីគីមីផ្សេងទៀត ហើយក៏អាចត្រូវបានប្រើជាវត្ថុធាតុដើមសម្រាប់ថ្នាំពេទ្យ និងថ្នាំសម្លាប់សត្វល្អិតផងដែរ។ នៅក្នុងឧស្សាហកម្មការពារជាតិ វាត្រូវបានគេប្រើដើម្បីផលិតឥន្ធនៈសម្រាប់រ៉ុក្កែត និងមីស៊ីល។
