ឧស្ម័នពិសេស
-
Sulfur Tetrafloride (SF4)
អែអ៊ីណេសទេ: 232-013-4
ស៍សែ្នកលេខ: 7783-60-0 -
អុកស៊ីតនីត្រាត (N2O)
អុកស៊ីតអុកស៊ីដដែលត្រូវបានគេស្គាល់ផងដែរថាជាការសើចឧស្ម័នគឺជាសារធាតុគីមីដែលមានគ្រោះថ្នាក់ជាមួយនឹងរូបមន្តគីមី n2o ។ វាគឺជាឧស្ម័នដែលគ្មានក្លិននិងមានក្លិនឈ្ងុយឆ្ងាញ់។ N2o គឺជាអុកស៊ីតកម្មមួយដែលអាចទ្រទ្រង់ការផ្សំនៅក្រោមលក្ខខណ្ឌជាក់លាក់ប៉ុន្តែមានស្ថេរភាពនៅសីតុណ្ហភាពបន្ទប់ហើយមានឥទ្ធិពលលើការប្រើថ្នាំស្ពឹកបន្តិច។ ហើយអាចធ្វើឱ្យមនុស្សសើច។ -
កាបូនតាតារ៉ាហ្វលូស (CF4)
កាបូន Tetrafluoride ដែលត្រូវបានគេស្គាល់ផងដែរថា Tetrafluoromethane គឺជាឧស្ម័នគ្មានពណ៌មួយនៅសីតុណ្ហភាពនិងសម្ពាធធម្មតារលាយក្នុងទឹក។ ឧស្ម័ន CF4 បច្ចុប្បន្នគឺជាការប្រើហ្គាស etching ដែលត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយបំផុតនៅក្នុងឧស្សាហកម្មមីក្រូទស្សន៍។ វាក៏ត្រូវបានគេប្រើជាឧស្ម័នឡាស៊ែរទូរទឹកកក CrySogric ក្រេមក្រមរបស់ Cryogenic សារធាតុរំលាយប្រេងរំអិលសម្ភារៈអ៊ីសូឡង់និងម៉ាស៊ីនត្រជាក់សម្រាប់បំពង់ឧបសគ្គអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដ។ -
ហ្វ្លុយហ្វាយហ្វ័រ័រ (F2O2S)
Sulfuryl Lcoride So2F2, ឧស្ម័នពុលត្រូវបានគេប្រើជាថ្នាំសំលាប់សត្វល្អិតមួយ។ ដោយសារតែហ្វុយហ្វ៊ីលីហ្វ្រេដហ្វ័ររីដមានលក្ខណៈពិសេសនៃការសាយភាយនិងភាពជ្រុលនិយមថ្នាំសំលាប់សត្វល្អិតដែលមានវិសាលភាពអន់ថយដែលមានភាពងាយស្រួលក្នុងល្បឿនដំណុះទំនប់ការការពារអាងស្តុកទឹកការការពារកណ្ដាលការការពារកណ្ដាលការការពារកណ្តៀរការការពារកណ្តៀងរ៉ែកណ្តាល។ ល។ -
Silane (SIH4)
Silane Sih4 គឺជាឧស្ម័នដែលមិនមានពណ៌គ្មានពណ៌ដែលមានជាតិពុលនិងសកម្មយ៉ាងសកម្មនៅសីតុណ្ហភាពនិងសម្ពាធធម្មតា។ Silane ត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងការលូតលាស់របស់ Silicon, វត្ថុធាតុដើមសម្រាប់ Polysilicon, Silicon, Silicon Nitride ។ ល។ , កោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យ, សរសៃកញ្ចក់, និងការដាក់ប្រាក់ចំហាយគីមី។ -
OctafluorocyClobutane (C4F8)
OctaFluorocyCrobutane C4F8 ភាពបរិសុទ្ធនៃឧស្ម័ន: 99,999% ដែលជាញឹកញាប់ត្រូវបានប្រើជាក្រុមហ៊ុនផលិតប្រេង Aerosol អាហារនិងហ្គាសមធ្យម។ ជារឿយៗវាត្រូវបានគេប្រើជាញឹកញាប់នៅក្នុងអេឡិចត្រូនិច Pecvd (Plasma Enhance ។ ដំណើរការនៃអតិសុខុមប្រឿនគីមី C4F8 ត្រូវបានប្រើជំនួសសម្រាប់ CF4 ឬ C2F6 ដែលត្រូវបានប្រើជាការសម្អាតឧស្ម័នសម្អាតឧស្ម័ននិងដំណើរការអេឡិចត្រូនិច។ -
នីត្រាតអុកស៊ីដ (ទេ)
ឧស្ម័ននីត្រាតអុក្កូវគឺជាបរិវេណនៃអាសូតដែលមានរូបមន្តគីមីទេ។ វាគឺជាឧស្ម័នដែលគ្មានពណ៌ដែលគ្មានក្លិនដែលមិនរលាយក្នុងទឹក។ នីត្រាតអុកស៊ីដមានប្រតិកម្មគីមីយ៉ាងប្រតិកម្មហើយមានប្រតិកម្មជាមួយនឹងអុកស៊ីសែនបង្កើតជាឥរិយាបថឧស្ម័នដែលខូច (NOI) ។ -
ក្លរ៉ែនអ៊ីដ្រូសែន (HCL)
ឧស្ម័នក្លរ៉ន់ HCL គឺជាឧស្ម័នដែលគ្មានពណ៌ដែលមានក្លិនឈ្ងុយឆ្ងាញ់។ ដំណោះស្រាយ aqueous របស់ខ្លួនត្រូវបានគេហៅថាអាស៊ីត hydrochloric ដែលត្រូវបានគេស្គាល់ថាអាស៊ីត hydrochloric ។ ក្លរ៉ាំងអ៊ីដ្រូសែនត្រូវបានគេប្រើជាចម្បងក្នុងការធ្វើឱ្យស្បែកជ្រលក់គ្រឿងទេសឱសថចម្រុះផ្សេងៗនិងសារធាតុឱនភាពច្រោះ។ -
Hexafluoropylene (C3F6)
HexafluoroPlopyllene, រូបមន្តគីមី: C3F6 គឺជាឧស្ម័នដែលគ្មានពណ៌នៅសីតុណ្ហភាពនិងសម្ពាធធម្មតា។ វាត្រូវបានប្រើជាចម្បងក្នុងការរៀបចំផលិតផលគីមីល្អ ៗ ដែលមានផ្ទុកជាតិខ្លាញ់ផ្សេងៗគ្នាអន្តរការីពន្លត់អគ្គីភ័យភ្នាក់ងារពន្លត់អគ្គីភ័យ។ ល។ ហើយក៏អាចត្រូវបានប្រើដើម្បីរៀបចំសំភារៈវត្ថុធាតុ polymer ដែលមានផ្ទុកដោយហ្វ្លុយលីនផងដែរ។ -
អាម៉ូញាក់ (NH3)
អាម៉ូញាក់រាវ / អាម៉ូញាក់គ្មានជាតិខ្លាញ់គឺជាវត្ថុធាតុដើមគីមីដ៏សំខាន់ដែលមានកម្មវិធីជាច្រើន។ អាម៉ូញាក់រាវអាចត្រូវបានប្រើជាទូរទឹកកក។ វាត្រូវបានប្រើជាចម្បងក្នុងការផលិតអាស៊ីដនីទា, អ៊ុយ, និងជីគីមីផ្សេងទៀត, ហើយក៏អាចត្រូវបានប្រើជាវត្ថុធាតុដើមសម្រាប់វេជ្ជសាស្ត្រនិងថ្នាំសំលាប់សត្វល្អិតផងដែរ។ នៅក្នុងឧស្សាហកម្មការពារវាត្រូវបានប្រើដើម្បីធ្វើឱ្យគ្រាប់កាំភ្លើងសម្រាប់រ៉ុក្កែតនិងមីស៊ីល។
